技術(shù)編號：11984972
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及擴散爐技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種擴散爐暫存區(qū)冷卻裝置。背景技術(shù)在光伏電池行業(yè)中，暫存區(qū)指的是擴散爐或PECVD設(shè)備內(nèi)設(shè)置在機械手立柱上、用于待工藝舟和已工藝舟存放的一套機械結(jié)構(gòu)。暫存區(qū)的作用有多種，例如：1、提高機械手傳輸舟的效率，減少已工藝石英舟與待工藝石英舟輸送替換的時間；2、用于已工藝舟的自然冷卻，由于已工藝舟從石英管出來后溫度非常高，當(dāng)設(shè)備為側(cè)向出舟方式時，已工藝的舟需先放置在暫存區(qū)上冷卻至一定溫度后，方可通過人工取放或側(cè)向出舟機構(gòu)傳送至自動插片機內(nèi)?，F(xiàn)有技術(shù)中的擴散爐暫存區(qū)一...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。