技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種能夠切實(shí)地除去模具與被成型物之間的氣體的壓印裝置以及壓印方法。用于將模具（100）的成型圖案轉(zhuǎn)印到被成型物（200）的壓印裝置包括：加壓部（5），其具有用于利用流體對模具（100）與被成型物（200）加壓的加壓室（51）；載物臺（2），其支撐受到加壓部（5）的壓力的模具（100）以及被成型物（200）；加壓機(jī)構(gòu)（6），其用于調(diào)節(jié)加壓室（51）內(nèi)的流體的壓力；減壓部（9），其具有用于對模具（100）與被成型物（200）的周圍環(huán)境進(jìn)行減壓的減壓室（91）；以及分離機(jī)構(gòu)（7），其用于在減壓室91內(nèi)將模具（100）與被成型物（200）分離。

技術(shù)研發(fā)人員：河口宏輔;田村裕宣;田中覺
受保護(hù)的技術(shù)使用者：SCIVAX股份有限公司
文檔號碼：201280027116
技術(shù)研發(fā)日：2012.05.24
技術(shù)公布日：2016.12.07