技術編號：11808608
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于將模具的圖案連續(xù)地轉印到被成型物的壓印裝置以及壓印方法。背景技術近年來，作為一種形成微指令、納米指令的超微細的圖案的方法，納米壓印技術受到注目。這是一種將具有微細圖案的模具壓向樹脂等被成型物，并將該圖案轉印到被成型物的方法（例如，參照專利文獻1）。在這種轉印技術中，為了實現(xiàn)轉印面積的擴大，考慮使用一種利用流體壓力的壓印裝置（例如，參照專利文獻2）。專利文獻1：國際公開號WO2004/062886專利文獻2：日本國特開2009-154393發(fā)明的內容（發(fā)明要解決的課題）這里，在以...
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