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流體壓印裝置以及壓印方法與流程

文檔序號:11808608閱讀:來源:國知局
流體壓印裝置以及壓印方法與流程

技術(shù)特征:
1.一種用于將模具的成型圖案轉(zhuǎn)印到被成型物的壓印裝置,其特征在于,該壓印裝置包括:加壓部,其具有加壓室,該加壓室用于通過流體對所述模具與所述被成型物進行加壓;載物臺,其用于支撐受到所述加壓部的壓力的所述模具以及所述被成型物;加壓機構(gòu),其用于調(diào)節(jié)所述加壓室內(nèi)的流體的壓力;減壓部,其具有用于對所述模具與所述被成型物的周圍環(huán)境進行減壓的減壓室;以及分離機構(gòu),其位于所述減壓室,用于在所述減壓室內(nèi)對所述模具與所述被成型物的周圍環(huán)境進行減壓時使所述模具與所述被成型物之間分離。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印裝置,其特征在于,具有向空隙噴射流體的流體噴射機構(gòu),所述空隙通過所述分離機構(gòu)形成在所述模具與所述被成型物的端部。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓印裝置,其特征在于,所述加壓部包括:加壓室用箱體,其與所述模具或所述被成型物一起形成所述加壓室;密閉機構(gòu),其將所述加壓室用箱體與所述模具之間或所述加壓室用箱體與所述被成型物之間密閉;以及開閉機構(gòu),其用于使所述加壓用箱體與所述模具之間或所述加壓用箱體與所述被成型物之間開閉。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓印裝置,其特征在于,所述加壓部包括:具有可撓性的膜,其被配置于與所述模具或所述被成型物接觸的面;以及加壓室用箱體,其與所述膜一起形成所述加壓室。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓印裝置,其特征在于,具備用于調(diào)節(jié)所述模具或所述被成型物的溫度的調(diào)溫機構(gòu)。6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓印裝置,其特征在于,具備用于向所述被成型物照射規(guī)定波長的光的光照射機構(gòu)。7.一種用于將模具的成型圖案轉(zhuǎn)印到被成型物的壓印方法,其特征在于,該壓印方法包括:減壓工序,用于在將模具與被成型物分離后的狀態(tài)下,對所述模具與所述被成型物的周圍環(huán)境進行減壓;密接工序,用于將所述模具與所述被成型物之間緊密連接;以及加壓工序,用于在將所述模具與所述被成型物之間緊密連接后的狀態(tài)下,利用流體來進行加壓。
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