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軟膜真空吸附平臺的氣路控制裝置的制作方法

文檔序號:12756475閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種軟膜真空吸附平臺的氣路控制裝置,包括鼓風機,其特征在于,還包括:將所述真空吸附平臺在橫向上劃分為至少兩個分區(qū),以及根據(jù)UVW平臺相對于真空吸附平臺的平移距離控制各所述分區(qū)的氣路通斷的控制模塊;其中,任意一所述分區(qū)均設有一與所述鼓風機連通的集氣孔,且同一所述分區(qū)上的吸附孔均與該分區(qū)的集氣孔連通;所集氣孔上均設有用于控制該集氣孔打開或者關閉的開關組件,所述開關組件受控端與所述控制模塊的控制信號輸出端連接;在覆膜過程中,以所述真空吸附平臺朝向移動方向一端為起點,至相對于所述UVW平臺平移距離范圍內(nèi),所述控制模塊控制該范圍內(nèi)的開關組件閉合相應的集氣孔,并控制其余分區(qū)的開關組件打開相應的集氣孔。

2.如權利要求1所述的軟膜真空吸附平臺的氣路控制裝置,其特征在于,所述真空吸附平臺劃分為九個分區(qū)。

3.如權利要求1~2任一項所述的軟膜真空吸附平臺的氣路控制裝置,其特征在于,所述開關組件包括氣缸,所述氣缸的伸縮桿可打開或者閉合相應的集氣孔,所述氣缸的受控端與所述控制模塊的控制信號輸出端連接。

4.如權利要求1所述的軟膜真空吸附平臺的氣路控制裝置,其特征在于,還包括一與所述鼓風機連通的集氣管,各所述分區(qū)的集氣孔均與所述集氣管連通。

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