技術總結
本發(fā)明提供了一種片盒存取設備及方法，所述片盒存取設備包括：第一支撐架，用于放置片盒；片盒進出口，設置存放或取出片盒的工作工位；緩存區(qū)，具有多個動態(tài)運行的工位，用于動態(tài)運輸從所述片盒進出口處放置在緩存區(qū)中的片盒或者將緩存區(qū)的工位處的片盒動態(tài)運輸至片盒進出口處；機械手，在緩存區(qū)及第一支撐架之間搬運片盒。本發(fā)明提供了一種片盒存取設備及方法，通過在緩存區(qū)中設置動態(tài)運作的工位傳輸片盒，大大節(jié)省了用戶的等待時間。

技術研發(fā)人員：馮日盛;許琦欣
受保護的技術使用者：上海微電子裝備有限公司
文檔號碼：201510406186
技術研發(fā)日：2015.07.10
技術公布日：2017.01.11