本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其是一種片盒存取設(shè)備及方法。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體器件制造常常會有幾百道工藝，每道工藝都由特定的設(shè)備完成，為了滿足半導(dǎo)體制造業(yè)的高產(chǎn)率和高效率的需求，硅片和片盒需要強大的管理系統(tǒng)和智能化的片盒存取，物料管理的自動化是必然的趨勢，片盒存取設(shè)備是半導(dǎo)體廠房內(nèi)片盒存取和管理的設(shè)備，用于標準的12寸或8寸硅片片盒存取和管理。

美國專利US2008/0041694中提出了一種帶有緩存模塊的片盒存取設(shè)備，可以通過軟件系統(tǒng)進行預(yù)操作，即通過預(yù)測下一步工藝進而將要用到的片盒提前放置到緩存區(qū)域中，這樣機械手可以在緩存模塊中進行取放，能夠節(jié)省用戶的等待時間。

上述美國專利的結(jié)構(gòu)圖如圖1所示，該片盒存取設(shè)備包含一個緩存模塊60，緩存模塊60存在以下問題：片盒存取設(shè)備需要強大的軟件系統(tǒng)作為支撐，如果在一些沒有制造執(zhí)行系統(tǒng)或物料管理系統(tǒng)的情況下則不適用；另外一個缺陷就是，在用戶、OHT(Overhead Transfer System)或AGV(Automated Guided Vehicle)將片盒放置在緩存模塊后，由于上述美國專利中的緩存模塊是靜態(tài)的，于是只能依靠機械手40將片盒放置在片盒存取設(shè)備中或從片盒存取設(shè)備中取出，非常耗費時間，不具備靈活性。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種新型的具有動態(tài)緩存裝置的片盒存取設(shè)備，以有效地提高片盒的傳送效率，避免用戶或其他運輸設(shè)備無效的等待時間。

為了達到上述目的，本發(fā)明提供了一種片盒存取設(shè)備，包括：

第一支撐架，用于放置片盒；

片盒進出口，設(shè)置存放或取出片盒的工作工位；

緩存區(qū)，具有多個動態(tài)運行的工位，用于動態(tài)運輸從所述片盒進出口處放置在緩存區(qū)中的片盒或者將緩存區(qū)的工位處的片盒動態(tài)運輸至片盒進出口處；

機械手，在緩存區(qū)及第一支撐架之間搬運片盒。

進一步地，所述片盒進出口處設(shè)置存放或取出片盒的動態(tài)運行的工作工位，片盒通過在所述工作工位以及緩存區(qū)的工位之間運動實現(xiàn)進出緩存區(qū)。

進一步地，所述片盒存取設(shè)備還包括驅(qū)動模塊，通過所述驅(qū)動模塊驅(qū)使機械手運動，以及驅(qū)使緩存區(qū)的工位動態(tài)運行。

進一步地，所述緩存區(qū)包括進口緩存區(qū)和出口緩存區(qū)，所述進口緩存區(qū)用于暫存從片盒進出口處放置的片盒，所述出口緩存區(qū)用于將出口緩存區(qū)中的片盒輸出至片盒進出口處以供取出。

進一步地，所述進口緩存區(qū)和出口緩存區(qū)分離設(shè)置。

進一步地，所述進口緩存區(qū)和出口緩存區(qū)均為直線結(jié)構(gòu)。

進一步地，所述進口緩存區(qū)和出口緩存區(qū)重合設(shè)置。

進一步地，所述緩存區(qū)為直線結(jié)構(gòu)。

進一步地，所述緩存區(qū)包括傳輸裝置和支撐裝置，所述傳輸裝置設(shè)置在支撐裝置上，通過所述傳輸裝置傳輸緩存區(qū)中的片盒，所述機械手在傳輸裝置及第一支撐架之間搬運片盒。

進一步地，所述傳輸裝置為滾軸。

進一步地，所述片盒進出口的工作工位處設(shè)置有滾軸，通過所述工作工位處的滾軸及緩存區(qū)的工位處的滾軸的滾動實現(xiàn)片盒進出緩存區(qū)。

進一步地，所述工作工位處及緩存區(qū)的任一工位處滾軸的數(shù)量均為多個， 所述工作工位處及緩存區(qū)的任一工位處的多個滾軸同時運動或同時停止。

進一步地，所述片盒存取設(shè)備還包括升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，所述升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)設(shè)置在片盒進出口的工作工位處和/或緩存區(qū)的工位處，通過升降所述升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)使得放置在升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)上的片盒落在該升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)處的滾軸上，通過旋轉(zhuǎn)所述升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)調(diào)整該升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)上片盒的姿態(tài)。

進一步地，所述片盒存取設(shè)備還包括第一位置傳感器，所述第一位置傳感器設(shè)置在片盒進出口的工作工位處，用于檢測所述工作工位處的片盒存放狀態(tài)，所述第一位置傳感器還設(shè)置在支撐裝置上，所述緩存區(qū)的每個工位處均設(shè)置有第一位置傳感器，用于檢測所述緩存區(qū)的工位處的片盒存放狀態(tài)。

進一步地，所述傳輸裝置為皮帶。

進一步地，所述緩存區(qū)為循環(huán)電梯結(jié)構(gòu)，所述緩存區(qū)包括多個第三支撐架，多個所述第三支撐架兩兩間隔設(shè)置并圍設(shè)成環(huán)形結(jié)構(gòu)，通過所述機械手在片盒進出口的工作工位處及第三支撐架上來回搬運片盒以實現(xiàn)片盒的進出，通過所述驅(qū)動模塊驅(qū)動當(dāng)前一個第三支撐架移動至相鄰的下一個第三支撐架的位置。

進一步地，所述片盒存取設(shè)備還包括第二支撐架，通過在所述片盒進出口處設(shè)置第二支撐架以形成放置片盒的工作工位。

進一步地，所述片盒存取設(shè)備還包括控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)與驅(qū)動模塊連接。

進一步地，所述控制系統(tǒng)包括操作面板和控制器，所述操作面板與控制器連接，所述控制器與驅(qū)動模塊連接。

進一步地，所述片盒存取設(shè)備還包括第二位置傳感器，所述第二位置傳感器設(shè)置在第一支撐架上。

進一步地，所述片盒存取設(shè)備還包括識別模塊，所述識別模塊包括標簽和讀卡器，所述標簽設(shè)置在片盒上，所述讀卡器設(shè)置在第一支撐架上。

進一步地，所述標簽為RFID標簽或條形碼標簽。

進一步地，所述片盒存取設(shè)備還包括外部框架，所述第一支撐架固定在外 部框架上。

進一步地，所述片盒存取設(shè)備還包括機械手導(dǎo)軌，所述機械手導(dǎo)軌固定在外部框架上，所述機械手與機械手導(dǎo)軌滑動連接。

進一步地，所述機械手導(dǎo)軌包括水平導(dǎo)軌和垂直導(dǎo)軌，所述水平導(dǎo)軌固定在外部框架上，所述垂直導(dǎo)軌與水平導(dǎo)軌在水平方向上滑動連接。

進一步地，所述片盒存取設(shè)備還包括空氣凈化裝置，所述空氣凈化裝置設(shè)置在外部框架上。

進一步地，所述空氣凈化裝置為FFU過濾單元。

進一步地，所述機械手為普通機械固定式機械手或真空吸附式機械手。

進一步地，所述片盒存取設(shè)備還包括定位機構(gòu)，通過所述定位機構(gòu)將片盒定心、定位。

本發(fā)明還提供了一種片盒存取方法，采用上述的片盒存取設(shè)備進行存取，包括：

當(dāng)存片盒時，將片盒從所述片盒進出口的工作工位處放置在緩存區(qū)的工位上，選擇緩存區(qū)的一個工位為機械手工作位，通過動態(tài)運行的所述緩存區(qū)的工位將片盒輸送至設(shè)定的機械手工作位處，通過所述機械手將機械手工作位上的片盒搬運至第一支撐架上；

當(dāng)取片盒時，選擇緩存區(qū)中的一個工位為機械手工作位，通過所述機械手將放置在第一支撐架上的片盒移至機械手工作位處，通過機械手或動態(tài)運行的緩存區(qū)的工位將該片盒傳送至片盒進出口的工作工位處。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供了一種片盒存取設(shè)備及方法，通過在緩存區(qū)中設(shè)置動態(tài)運行的工位實現(xiàn)了對片盒的運輸，大大節(jié)省了用戶的等待時間，通過動態(tài)運行的工位傳輸片盒以及通過機械手搬運片盒可以同時工作，這不僅節(jié)省了時間還提高了片盒存取設(shè)備的操作靈活性；該片盒存取設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，便于操作，無需復(fù)雜的軟件系統(tǒng)支撐，降低了成本。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)提供的片盒存取設(shè)備的剖視圖；

圖2為本發(fā)明實施例一提供的片盒存取設(shè)備的剖視圖；

圖3為本發(fā)明實施例一提供的片盒存取設(shè)備的A-A向俯視圖；

圖4為本發(fā)明實施例二提供的片盒存取設(shè)備在存片盒時緩存模塊的示意圖；

圖5為本發(fā)明實施例二提供的片盒存取設(shè)備在取片盒時緩存模塊的示意圖。

圖中，10：片盒進出口，20：第一支撐架，30：空氣凈化裝置，40：機械手，50：機械手導(dǎo)軌，60：緩存區(qū)，70：操作面板，80：片盒，90：外部框架，601：支撐裝置，602：傳輸裝置，603：升降旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，604：第一位置傳感器，620：第二支撐架，621：第三支撐架，622：驅(qū)動模塊。

具體實施方式

下面將結(jié)合示意圖對本發(fā)明的具體實施方式進行更詳細的描述。根據(jù)下列描述和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。

實施例一

如圖2～3所示，本發(fā)明實施例一提供了一種片盒存取設(shè)備，可以用于半導(dǎo)體廠房內(nèi)8寸或12寸硅片片盒的存取，片盒80用于存儲硅片，片盒80的規(guī)格可以為標準FOUP(Front Opening Unified Pod，前開式晶元盒)、FOSB、SMIF(Standard Mechanical Imterface)pod，12寸片盒一般為標準FOUP，8寸片盒可以為SMIF pod，也可以為非標準的產(chǎn)品，該片盒存取設(shè)備包括：

第一支撐架20，用于放置片盒80；

片盒進出口10，設(shè)置存放或取出片盒80的工作工位，片盒進出口10為片盒存取設(shè)備與用戶或其他運輸設(shè)備的交互接口，其他運輸設(shè)備包括OHT和AGV等；

緩存區(qū)60，具有多個動態(tài)運行的工位，用于動態(tài)運輸從所述片盒進出口10處放置在緩存區(qū)中的片盒80或者將緩存區(qū)的工位處的片盒80動態(tài)運輸至片盒進出口10處，在本實施例中，所述緩存區(qū)60包括傳輸裝置602和支撐裝置601，所述傳輸裝置602設(shè)置在支撐裝置601上，通過所述傳輸裝置602傳輸緩存區(qū)60中的片盒，所述機械手40在傳輸裝置602及第一支撐架20之間搬運片盒，所述傳輸裝置602為滾軸或皮帶；

機械手40，在緩存區(qū)60及第一支撐架20之間搬運片盒80；

驅(qū)動模塊(未在圖2～3中示出)，通過所述驅(qū)動模塊驅(qū)使機械手40運動，以及驅(qū)使緩存區(qū)60的工位動態(tài)運行，在本實施例中，所述片盒進出口10處設(shè)置存放或取出片盒80的動態(tài)運行的工作工位，還通過所述驅(qū)動模塊驅(qū)使片盒進出口10處的工作工位動態(tài)運行，片盒通過在所述工作工位以及緩存區(qū)60的工位之間運動實現(xiàn)進出緩存區(qū)60；

升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)603，設(shè)置在片盒進出口10的工作工位處和/或緩存區(qū)60的工位處，在本實施例中，所述傳輸裝置602為滾軸，所述片盒進出口10的工作工位處也設(shè)置有滾軸，通過所述工作工位處的滾軸及緩存區(qū)60的工位處的滾軸的滾動實現(xiàn)片盒進出緩存區(qū)60，通過升降所述升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)603使得放置在升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)603上的片盒落在該升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)603處的滾軸上，通過旋轉(zhuǎn)所述升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)603調(diào)整該升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)603上片盒80的姿態(tài)；

第一位置傳感器604，設(shè)置在片盒進出口10的工作工位處，用于檢測所述工作工位處的片盒存放狀態(tài)，所述第一位置傳感器604還設(shè)置在支撐裝置601上，所述緩存區(qū)60的每個工位處均設(shè)置有第一位置傳感器604，用于檢測所述緩存區(qū)60的工位處的片盒存放狀態(tài)，此外，本實施例中第一位置傳感器604優(yōu)選為光電傳感器，光電傳感器設(shè)置在片盒進出口10的工作工位處的側(cè)面以及支撐裝置601的側(cè)面；

第二支撐架620，通過在所述片盒進出口10處設(shè)置第二支撐架620以形成放置片盒的工作工位；

控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)與驅(qū)動模塊連接，傳輸裝置602與所述控制系統(tǒng)連接，通過所述控制系統(tǒng)控制傳輸裝置602的啟停以控制片盒的傳送，在本實施例中，所述控制系統(tǒng)包括操作面板70和控制器，所述操作面板70與控制器連接，所述控制器與驅(qū)動模塊連接，操作面板70為用戶提供了接口，用戶可以通過操控面板對設(shè)備進行控制、命令下發(fā)以及信息獲取，操作面板可以為PC工控機也可以為觸摸式的平板電腦；

第二位置傳感器(未圖示)，所述第二位置傳感器設(shè)置在第一支撐架20上，本實施例中第二位置傳感器也優(yōu)選為光電傳感器，光電傳感器設(shè)置在第一支撐架20的側(cè)面；

識別模塊，所述識別模塊包括標簽和讀卡器，所述標簽設(shè)置在片盒80上，所述讀卡器設(shè)置在第一支撐架20上，本實施例中所述標簽為RFID標簽或條形碼(Barcode)標簽，但不限于這兩種標簽；

外部框架90，所述第一支撐架20固定在外部框架90上；

空氣凈化裝置30，所述空氣凈化裝置30設(shè)置在外部框架90上，空氣過濾單元30為片盒存取設(shè)備提供潔凈氣流，保持清潔的內(nèi)部環(huán)境，空氣過濾單元30可以為FFU過濾單元也可以為其他清潔設(shè)備，可以根據(jù)不同的潔凈等級(class100或class10)對過濾單元進行配置；

機械手導(dǎo)軌50，所述機械手導(dǎo)軌50固定在外部框架90上，所述機械手40與機械手導(dǎo)軌50滑動連接，在本實施例中，所述機械手導(dǎo)軌50包括水平導(dǎo)軌和垂直導(dǎo)軌，所述水平導(dǎo)軌固定在外部框架90上，所述垂直導(dǎo)軌與水平導(dǎo)軌在水平方向上滑動連接，所述機械手40為普通機械固定式機械手或真空吸附式機械手，其抓取位置可以為片盒80的頂部或底部；

定位機構(gòu)，通過所述定位機構(gòu)將片盒80定心、定位，在本實施例中，定位機構(gòu)為設(shè)置在升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)603上的若干多個凸起，通過所述凸起將片盒80定心、定位。

如圖3所示，所述緩存區(qū)60包括進口緩存區(qū)和出口緩存區(qū)，所述進口緩存 區(qū)用于暫存從片盒進出口10處放置的片盒，所述出口緩存區(qū)用于將出口緩存區(qū)中的片盒80輸出至片盒進出口10處以供取出。

在本實施例中，所述進口緩存區(qū)和出口緩存區(qū)分離設(shè)置，所述進口緩存區(qū)和出口緩存區(qū)的數(shù)量均為一個，所述進口緩存區(qū)和出口緩存區(qū)均為直線結(jié)構(gòu)，工位數(shù)量可以根據(jù)需求增加或減少。優(yōu)選地，如圖3所示，第一工位和第十二工位均為片盒進出口10處的工作工位，存片盒時，片盒80放置在第一工位處，取片盒時，片盒80從第十二工位處取走，一個進口緩存區(qū)和一個出口緩存區(qū)平行設(shè)置，進口緩存區(qū)和出口緩存區(qū)中均具有五個工位，進口緩存區(qū)的工位為第二工位、第三工位、第四工位、第五工位和第六工位，出口緩存區(qū)的工位為第七工位、第八工位、第九工位、第十工位和第十一工位。

在本實施例中，所述工作工位處及緩存區(qū)60的任一工位處滾軸的數(shù)量均為多個，所述工作工位處及緩存區(qū)60的任一工位處的多個滾軸同時運動或同時停止，這樣也就實現(xiàn)了對每個工位上的片盒80的獨立傳送，也就是實現(xiàn)了任一工位處(多個滾軸)的單獨驅(qū)動，可以保證緩存區(qū)60不會有工位空閑，再配合第一位置傳感器604，可以避免在片盒80傳輸時造成追尾事件。

在另一實施例中，所述進口緩存區(qū)和出口緩存區(qū)重合設(shè)置，所述緩存區(qū)為直線結(jié)構(gòu)，只要對其進行分時使用即可實現(xiàn)存片盒以及取片盒。

此外，在本實施例中，對于12寸FOUP標準的片盒，為考慮節(jié)省空間，緩存區(qū)60中的片盒朝向與放入時相對旋轉(zhuǎn)90度。

本發(fā)明實施例一還提供了一種片盒存取方法，采用上述的片盒存取設(shè)備進行存取，包括：

當(dāng)存片盒時，將片盒80從所述片盒進出口10的工作工位處放置在緩存區(qū)60的工位上，選擇緩存區(qū)60的一個工位為機械手工作位，通過動態(tài)運行的所述緩存區(qū)60的工位將片盒80輸送至設(shè)定的機械手工作位處，通過所述機械手40將機械手工作位上的片盒80搬運至第一支撐架20上；

當(dāng)取片盒時，選擇緩存區(qū)60中的一個工位為機械手工作位，通過所述機械 手40將放置在第一支撐架20上的片盒80移至機械手工作位處，通過機械手40或動態(tài)運行的緩存區(qū)60的工位將該片盒80傳送至片盒進出口10的工作工位處。在本實施例中，存片盒時，通過所述控制系統(tǒng)控制驅(qū)動模塊以驅(qū)動片盒進出口10的工作工位處的滾軸轉(zhuǎn)動，進而將該工作工位處的片盒80移至緩存區(qū)60的工位上，取片盒時，通過驅(qū)動緩存區(qū)60的工位處的滾軸轉(zhuǎn)動，進而將該緩存區(qū)60的工位上的片盒80向片盒進出口10的工作工位處傳送。

具體地，存片盒的流程為：首先，通過所述控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)片盒進出口10處的升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)603的位置，并在升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)603上放置一盒片盒80，一方面，便于用戶、AGV或OHT將片盒放在片盒進出口10處的升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)603上，另一方面，升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)603上具有凸起，可以使得片盒80放置穩(wěn)定，不易偏移；其次，通過所述控制系統(tǒng)控制驅(qū)動模塊進而驅(qū)使片盒進出口10處的升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)603降低高度，直至使得該升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)603上的片盒80落在片盒進出口10處工作工位(存片盒時，該工作工位即為第一工位)的滾軸上為止；再次，通過第二工位的第一位置傳感器604檢測第二工位是否有片盒80，如果有則等待，如果沒有則可以通過第一工位自身獨立的滾軸將片盒80傳送到第二工位，以此類推，最終傳送到緩存區(qū)60中設(shè)定的機械手工作位處，本實施例中該機械手工作位為緩存區(qū)60終端的第六工位；之后，由于傳輸會造成的片盒80中心偏移，因此，通過旋轉(zhuǎn)第六工位處的升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)603調(diào)整片盒80中心位置以符合搬運要求；最后，機械手40將片盒80搬運到第一支撐架20上。

具體地，取片盒的流程為：首先，機械手40將要取出的片盒80搬運到設(shè)定的機械手工作位處，本實施例中該機械手工作位為第七工位，且片盒80放置在第七工位的升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)603上；其次，通過調(diào)整該升降旋轉(zhuǎn)機構(gòu)603的高度進而將片盒80放置在第七工位的滾軸上；再次，通過第一位置傳感器604檢測第八工位上是否有片盒80，如果有則等待，如果沒有，則通過第七工位處獨立的滾軸將片盒80傳輸?shù)降诎斯の?，以此類推，最終傳輸?shù)狡羞M出口10的第十二工位處；之后，通過第十二工位處的升降旋轉(zhuǎn)裝置603對片盒80中心進 行調(diào)整，直至調(diào)整到符合用戶要求時為止；最后，用戶、AGV或OHT系統(tǒng)將所要獲取的片盒80取出。

在存片盒時，可以進行同時操作，即一邊傳送片盒80，一邊通過機械手40抓取片盒80，故能大大節(jié)省操作時間，提高了傳送效率。在取片盒時，只需要提前若干秒將所需要批次的片盒80編號發(fā)送至片盒存取設(shè)備，待片盒存取設(shè)備發(fā)出片盒80準備完畢信號，用戶或者其他運輸設(shè)備進行搬運，大大節(jié)省了時間，提高了傳送效率。

本實施例中，在一次性存儲六盒片盒80的過程中，假設(shè)每一盒的在第一工位升降所用時間為1s，每兩個工位之間的傳輸時間為1s，則存儲六盒的用戶總共等待時間為12s。如果沒有動態(tài)的緩存區(qū)60，而只有一個機械手40移動片盒80的片盒存取設(shè)備，那么每盒的平均傳輸時間為15s，用戶總等待時間約為100s，故相對于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明大大提高了傳送效率。

實施例二

如圖4～5所示，與實施例一不同的是，所述緩存區(qū)60為循環(huán)電梯結(jié)構(gòu)，所述緩存模塊60包括多個第三支撐架621，多個所述第三支撐架621兩兩間隔設(shè)置并圍設(shè)成環(huán)形結(jié)構(gòu)，通過所述機械手40在片盒進出口10的工作工位處及第三支撐架621上來回搬運片盒以實現(xiàn)片盒的進出，通過所述驅(qū)動模塊622驅(qū)動當(dāng)前一個第三支撐架621移動至相鄰的下一個第三支撐架621的位置。

本發(fā)明實施例二還提供了一種片盒存取方法，采用實施例二中的上述片盒存取設(shè)備進行存取，包括：

當(dāng)存片盒時，將片盒80從所述片盒進出口10的工作工位處放置在緩存區(qū)60的工位上，選擇緩存區(qū)60的一個工位為機械手工作位，通過動態(tài)運行的所述緩存區(qū)60的工位將片盒80輸送至設(shè)定的機械手工作位處，通過所述機械手40將機械手工作位上的片盒80搬運至第一支撐架20上；

當(dāng)取片盒時，選擇緩存區(qū)60中的一個工位為機械手工作位，通過所述機械手40將放置在第一支撐架20上的片盒80移至機械手工作位處，通過機械手40 或動態(tài)運行的緩存區(qū)60的工位將該片盒80傳送至片盒進出口10的工作工位處。

在本實施例中，存片盒時，通過所述控制系統(tǒng)控制驅(qū)動模塊以驅(qū)動機械手40將片盒進出口10的工作工位處的片盒80搬運至緩存區(qū)60的工位處，取片盒時，通過驅(qū)動機械手40將緩存區(qū)60的工位處的片盒80搬運至片盒進出口10的工作工位處。

存片盒時，在第三支撐架621上具有至少一盒片盒80后，驅(qū)動模塊622可以帶動所有第三支撐架621(實施例二中第三支撐架621的數(shù)量為六個)順時針或逆時針運動，此時可以一邊在第二支撐架620上放置新的片盒80，一邊將第三支撐架621上的片盒80通過機械手40存儲至第一支撐架20處，當(dāng)然也可以在所有片盒80放置完畢(指的是所有第三支撐架621已放滿片盒80)后，再通過機械手40將片盒80存儲到第一支撐架20處。取片盒時同理，在此不再贅述。在本實施例中，驅(qū)動模塊622帶動所有第三支撐架621順時針運動，存片盒時，在所有片盒80放置完畢后，再通過機械手40將片盒80存儲到第一支撐架20處。

具體地，存片盒的流程為：首先，將一片盒80置于片盒進出口10處的第二支撐架620上(即實施例二中的第一工位上)；其次，由機械手40將該片盒80傳送至第二工位處的第三支撐架621上，在驅(qū)動模塊622的順時針旋轉(zhuǎn)驅(qū)動下，片盒80被傳送到第三工位處，此時，第七工位處的第三支撐架621移動至第二工位處，將第二盒片盒80放置在第二支撐架620上，依此類推，依次可以傳輸六盒片盒；最后，在將所有第三支撐架上放滿六盒片盒80后，機械手開始將第五工位處的片盒80取下并傳送到指定的第一支撐架20處，依次將所有片盒80取完。

取片盒的流程與存片盒的方法相反。具體地，取片盒的流程為：首先，機械手40將片盒80放置在第五工位處的第三支撐架621上；其次，驅(qū)動模塊622驅(qū)動片盒80到達第六工位處，此時機械手40可以取出第二盒片盒80，并放置在緩存區(qū)60中，依此類推，進行放置片盒80的操作；最后，通過機械手40將 第二工位處的片盒80搬運到第二支撐架620處，待第二支撐架620處的片盒80被取走后可依次將剩余的片盒80全部取出。

實施例二除了可以節(jié)約用戶等待時間外，還可以在任意第三支撐架621上進行存放，不必按照順序進行執(zhí)行，為用戶提供了多樣化的選擇。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供了一種片盒存取設(shè)備及方法，通過在緩存區(qū)中設(shè)置動態(tài)運行的工位實現(xiàn)了對片盒的運輸，大大節(jié)省了用戶的等待時間，通過動態(tài)運行的工位傳輸片盒以及通過機械手搬運片盒可以同時工作，這不僅節(jié)省了時間還提高了片盒存取設(shè)備的操作靈活性；該片盒存取設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，便于操作，無需復(fù)雜的軟件系統(tǒng)支撐，降低了成本。

上述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，并不對本發(fā)明起到任何限制作用。任何所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對本發(fā)明揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動，均屬未脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。