技術(shù)編號(hào)：12567203
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其是一種片盒存取設(shè)備及方法。背景技術(shù)半導(dǎo)體器件制造常常會(huì)有幾百道工藝，每道工藝都由特定的設(shè)備完成，為了滿足半導(dǎo)體制造業(yè)的高產(chǎn)率和高效率的需求，硅片和片盒需要強(qiáng)大的管理系統(tǒng)和智能化的片盒存取，物料管理的自動(dòng)化是必然的趨勢，片盒存取設(shè)備是半導(dǎo)體廠房內(nèi)片盒存取和管理的設(shè)備，用于標(biāo)準(zhǔn)的12寸或8寸硅片片盒存取和管理。美國專利US2008/0041694中提出了一種帶有緩存模塊的片盒存取設(shè)備，可以通過軟件系統(tǒng)進(jìn)行預(yù)操作，即通過預(yù)測下一步工藝進(jìn)而將要用到的片盒提前放置到緩存區(qū)域中...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。