專利名稱：工件搬入搬出系統(tǒng)及搬運裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將玻璃基板等工件從存放盒搬出或搬入到存放盒中的 系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
用于制造薄型顯示器的玻璃基板等方形板狀的工件以多層方式存 放在存放盒中。而且，在工件處理時從存放盒中一張張地取出而向處 理裝置等搬運，另外，處理完的工件再次被搬入存放盒。在這樣的設 備中，需要從存放盒搬出或搬入工件的搬入搬出系統(tǒng)。
作為該種搬入搬出系統(tǒng)，眾所周知例如在(日本)特開2002-167038 號公報或(日本)特開2004-155569號公報中所記載的類型，即，在 存放盒的下方配置有輥式輸送機，通過升降存放盒，從下層側(cè)順次用 輥式輸送機把工件向存放盒外搬出或者搬入。
然而，現(xiàn)有的搬入搬出系統(tǒng)只能處理相同尺寸的工件，而為了處 理不同大小的工件，需要系統(tǒng)整體的改進。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種可以處理多種尺寸的工件的搬入搬出 系統(tǒng)及搬運裝置。
根據(jù)本發(fā)明，提供一種工件搬入搬出系統(tǒng)，其包括搬運機構(gòu)， 其在以大致水平姿勢從其下面?zhèn)戎С蟹叫伟鍫畹墓ぜ耐瑫r，沿大致 水平方向搬運該工件；存放盒，其具備多個放置部、側(cè)部和底部，該 多個放置部沿上下方向形成多層并具有所述搬運機構(gòu)能通過的開口部 且以大致水平姿勢放置所述工件，該側(cè)部形成所述工件的搬入搬出口 ， 該底部形成所述搬運機構(gòu)能通過的進入口 ，該存放盒配置在所述搬運機構(gòu)的上方；以及升降機構(gòu)，其使所述存放盒和所述搬運機構(gòu)相對地上下升降；所述工件搬入搬出系統(tǒng)通過所述升降機構(gòu)產(chǎn)生的升降動作使所述搬運機構(gòu)進入所述存放盒內(nèi)，用所述搬運機構(gòu)把所述放置部上 的所述工件向所述存放盒外部搬出，及從所述存放盒外部向所述放置部上搬入所述工件；其特征在于，所述搬運機構(gòu)通過平面地配設被獨 立驅(qū)動的多個搬運部而構(gòu)成，所述多個搬運部根據(jù)所搬運的所述工件 的大小和作為該工件的搬運源或搬運地的所述放置部上的位置而有選 擇地受到驅(qū)動。在本發(fā)明的工件搬入搬出系統(tǒng)中，由于所述搬運機構(gòu)通過以平面 的方式配設受到獨立驅(qū)動的多個搬運部而構(gòu)成，所述多個搬運部根據(jù) 所搬運的所述工件的大小和作為該工件的搬運源及搬運地的所述放置 部上的位置而有選擇地進行驅(qū)動，所以，可以搬入搬出不同大小的工 件。因而，可以處理多種尺寸的工件。另外，也可以在所述存放盒的 各放置部上放置多個小尺寸的工件，分別逐個地進行搬入搬出，提高 所述存放盒的工件存放效率。在本發(fā)明的優(yōu)選實施方式中，采用以下結(jié)構(gòu)，即，所述存放盒具 有與形成所述搬入搬出口的所述側(cè)部相向的另一側(cè)部，而且，該另一 側(cè)部也形成所述搬入搬出口 ，所述搬運機構(gòu)可以經(jīng)由所述側(cè)部及所述 另 一側(cè)部各自的所述搬入搬出口來搬運所述工件，所述多個搬運部根 據(jù)搬運的所述工件的大小、作為該工件搬運源及搬運地的所述放置部 上的位置及使該工件通過的所述搬入搬出口有選擇地受到驅(qū)動。根據(jù) 該結(jié)構(gòu)，可以從兩個搬入搬出口分別搬入搬出工件，提高工件搬入搬 出的效率。另外，在本發(fā)明的優(yōu)選實施方式中，采用以下結(jié)構(gòu)，即，所述多 個搬運部包括第一搬運部、和與所述工件的搬運方向正交的方向的寬 度為所述第一搬運部的寬度的大致一半的第二搬運部，所述第一搬運 部和所述第二搬運部在與所述工件的搬運方向正交的方向上配置成如 下形式兩個所述第二搬運部位于兩個所述笫一搬運部之間。根據(jù)該 結(jié)構(gòu)，可以處理在所述寬度方面有至少三種尺寸的工件。另外，在本發(fā)明的優(yōu)選實施方式中，采用以下結(jié)構(gòu)，即，所述升 降機構(gòu)使所述存放盒上下升降，所述搬運機構(gòu)固定配置，所述存放盒 呈長方體形狀，所述升降機構(gòu)以夾著所述存放盒的方式分別配設在所 述存放盒的彼此相向的兩側(cè)部上，由以懸臂方式支承所述存放盒的一 對升降單元構(gòu)成。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可以使系統(tǒng)整體的設置空間更小，而 且，可以確保工件的搬入搬出口、所述搬運機構(gòu)的空間更為寬闊。另外，在本發(fā)明的優(yōu)選實施方式中，采用以下結(jié)構(gòu)，即，所述升 降單元裝備有用于檢測相互的升降高度的偏差的檢測機構(gòu)。根據(jù)該結(jié) 構(gòu)，可以在升降時防止所述存放盒傾倒，使所述存放盒更加穩(wěn)定地進 行升降。另外，根據(jù)本發(fā)明，提供一種搬運裝置，其構(gòu)成工件搬入搬出系統(tǒng)，該工件搬入搬出系統(tǒng)包括搬運裝置，其在以大致水平姿勢從其 下面?zhèn)戎С蟹叫伟鍫畹墓ぜ耐瑫r，沿大致水平方向搬運該工件；存 放盒，其具備多個放置部、側(cè)部和底部，該多個放置部沿上下方向形 成多層并具有所述搬運裝置能通過的開口部且以大致水平姿勢放置所 述工件，該側(cè)部形成所述工件的搬入搬出口，該底部形成所述搬運裝 置能通過的進入口，該存放盒配置在所述搬運裝置的上方；以及升降 機構(gòu)，其使所述存放盒和所述搬運裝置相對地上下升降；通過所述升 降機構(gòu)產(chǎn)生的升降動作使所述搬運裝置進入所述存放盒內(nèi)，用所述搬 運裝置把所述放置部上的所述工件向所述存放盒外部搬出，及從所述 存放盒外部向所述放置部上搬入所述工件；其特征在于，所述搬運裝 置通過平面地配設被獨立驅(qū)動的多個搬運部而構(gòu)成，所述多個搬運部 根據(jù)所搬運的所述工件的大小和作為該工件的搬運源或搬運地的所述 放置部上的位置而有選擇地受到驅(qū)動。


圖l是表示使用了本發(fā)明的一個實施方式的工件搬入搬出系統(tǒng)A 的工件處理設備的布置的平面圖。圖2是工件搬入搬出系統(tǒng)A的外觀立體圖。圖3是存放盒20的外觀立體圖以及表示一層部分的放置部的圖。 圖4是表示不同大小的玻璃基板的放置狀態(tài)的圖。 圖5是升降裝置30的外觀立體圖。 圖6是升降裝置30的分解立體圖。 圖7是搬運裝置10的外觀立體圖。圖8是表示工件搬入搬出系統(tǒng)A的控制部40的結(jié)構(gòu)的方框圖。圖9是工件搬入搬出系統(tǒng)A的動作說明圖。圖IO是工件搬入搬出系統(tǒng)A的動作說明圖。圖11是空的存放盒20和搬運裝置10的平面視圖以及表示特別規(guī) 定各輥式輸送機單元ll、 12的平面觀看的位置的編號的圖。圖12是搬出尺寸最大的玻璃基板W時的動作說明圖。圖13A是搬出尺寸為玻璃基板W的1/2的玻璃基板Wl及W2時 的動作說明圖。圖13B是搬出尺寸為玻璃基板W的1/2的玻璃基板W1及W2時 的動作說明圖。圖14A是搬出1/4大小的玻璃基板Wl至W4時的動作說明圖。 圖14B是搬出1/4大小的玻璃基板W1至W4時的動作說明圖。 圖14C是搬出1/4大小的玻璃基板Wl至W4時的動作說明圖。 圖15A是搬出1/6大小的玻璃基板W1至W6時的動作說明圖。 圖15B是搬出1/6大小的玻璃基板Wl至W6時的動作說明圖。 圖16是表示在一層的放置部上放置了不同大小的玻璃基板的例 子的圖。圖17A是搬出大小不同的玻璃基板Wl至3和W4及W5時的動 作說明圖。圖17B是搬出大小不同的玻璃基板Wl至3和W4及W5時的動作說明圖。圖17C是搬出大小不同的玻璃基板Wl至3和W4及W5時的動 作說明圖。圖18A是在同時進行玻璃基板的搬出和搬入時的動作說明圖。圖18B是在同時進行玻璃基板的搬出和搬入時的動作說明圖。
具體實施方式
<設備的整體結(jié)構(gòu)>圖l是表示使用了本發(fā)明的一個實施方式的工件搬入搬出系統(tǒng)A 的、工件處理設備100的布置的平面圖。另外，在各圖中X、 Y表示 相互正交的水平方向，Z表示鉛直方向。工件處理設備100是作為工 件處理方形板狀的玻璃基板的設備，包括工件搬入搬出系統(tǒng)A、處理 裝置B、帶式輸送機C、移載裝置D。在本實施方式中，用同一個工 件處理設備100處理大小不同的玻璃基板W1、 W2。另外，作為工件， 對于玻璃基板以外的工件也可以適用。帶式輸送機C在工件搬入搬出系統(tǒng)A的X方向兩側(cè)分別各設置 兩臺，各帶式輸送機C包括其行進方向沿Y方向設定的兩根環(huán)形皮 帶1、驅(qū)動纏繞環(huán)形皮帶1的驅(qū)動輪轉(zhuǎn)動的馬達2、轉(zhuǎn)動自由地支承纏 繞環(huán)形皮帶1的從動輪的支承部3，控制成在+Y方向、-Y方向環(huán)形 皮帶1的上側(cè)部分往復行進。工件搬入搬出系統(tǒng)A能沿X方向搬入搬出玻璃基板。在該實施方 式的情況下，在于其X方向兩側(cè)分別各設置兩臺的兩組帶式輸送機C 彼此之間能搬入搬出玻璃基板，在+X方向、-X方向雙方能搬入搬出 玻璃基板。對工件搬入搬出系統(tǒng)A的詳細情況將于后面敘述。處理裝 置B，在該實施方式的情況下，配置在帶式輸送機C的-X側(cè)，接受由 帶式輸送機C搬運的玻璃基板，實施規(guī)定的處理后交接給帶式輸送機 C。圖1中圖示了多個處理裝置B，但各處理裝置B的處理內(nèi)容既可 以為不同的內(nèi)容，也可以是相同的內(nèi)容。移載裝置D分別設在帶式輸送機C和工件搬入搬出系統(tǒng)A或處 理裝置B之間，由配置在各環(huán)形皮帶l之間或環(huán)形皮帶和工件搬入搬 出系統(tǒng)A及處理裝置B之間的多個升降型的輥式輸送機單元4a、 4b 構(gòu)成。各輥式輸送機單元4a、 4b是與構(gòu)成后述的工件搬入搬出系統(tǒng)A 的搬運裝置10的輥式輸送機單元11、 12相同的結(jié)構(gòu)，可以分別獨立控制，是通過輥的轉(zhuǎn)動可以沿+x方向及-x方向搬運玻璃基板的單元， 同時是可以利用沒有圖示的升降裝置沿z方向升降的單元。在從工件搬入搬出系統(tǒng)A或處理裝置B向帶式輸送機C移載玻璃基板時，移 載裝置D上升向+X方向或-X方向搬運玻璃基板，其后，下降向環(huán)形 皮帶l上移載玻璃基板。之后，使帶式輸送機C動作，讓環(huán)形皮帶l 行進，搬運玻璃基板。另外，在從帶式輸送機C向工件搬入搬出系統(tǒng) A或處理裝置B移載玻璃基板時，移載裝置D上升，舉起環(huán)形皮帶l 上的玻璃基板，之后，沿+X方向及-X方向?qū)ぜ崛氚岢鱿到y(tǒng)A或 處理裝置B搬運玻璃基板。在由有關(guān)結(jié)構(gòu)組成的工件處理設備100中，未處理的玻璃基板從 工件搬入搬出系統(tǒng)A通過移載裝置D及帶式輸送機C向處理裝置B 搬運，而且，處理完成的玻璃基板從處理裝置B通過移載裝置D及帶 式輸送機C返回工件搬入搬出系統(tǒng)A。<工件搬入搬出系統(tǒng)A的構(gòu)成>圖2是工件搬入搬出系統(tǒng)A的外觀立體圖。工件搬入搬出系統(tǒng)A 包括搬運裝置10、配置在搬運裝置10上方的存放盒20和升降裝置30。 <存放盒>在圖3中，圖3-1是存放盒20的外觀立體圖。存放盒20是能在 上下方向(Z方向)上以多層的方式存放玻璃基板的盒。另外，圖2 及圖3-1表示未存放玻璃基板的狀態(tài)。在該實施方式的情況下，存放 盒20由多個柱構(gòu)件21a、 21b和梁構(gòu)件22a至22g構(gòu)成大致立方體形 的構(gòu)架體。柱構(gòu)件21b沿X方向配置多個，同時，沿Y方向分開i殳置相同個 數(shù)，在Y方向的各柱構(gòu)件21b之間沿上下方向(Z方向)按規(guī)定的間 距張設多個絲構(gòu)件23。利用該絲構(gòu)件23在上下方向上形成多層以大 致水平姿勢放置玻璃基板的放置部。圖3-2是表示一層部分的放置部 的圖。各層的放置部由以相同高度沿X方向分開設置多個的絲構(gòu)件23 形成。各絲構(gòu)件23之間和X方向兩端的絲構(gòu)件23的外方分別形成后 述的搬運裝置10能通過的開口部23a。在該實施方式中，由絲構(gòu)件形成放置部，當然也可以采用其它方式。但是，通過使用絲構(gòu)件可以使所存放的基板間的間隔變小，可以提高存放盒200的存放效率。在圖3中，圖3-2表示存放盒20能存放的最大尺寸的玻璃基板W (用虛線表示)放在絲構(gòu)件23上的形態(tài)，但在該實施方式中，可以在 一層放置部上放置多種玻璃基板。圖4是表示放置不同大小的玻璃基 板的狀態(tài)的圖。圖4-l表示放置圖3-2的1/2大小的玻璃基板W的狀 態(tài)，各玻璃基板W放在兩個絲構(gòu)件23上。圖4-2表示放置了圖3-2 的1/4大小的玻璃基板W的狀態(tài)，各玻璃基板W放在兩個絲構(gòu)件23 上。圖4-3表示放置了圖3-2的1/6大小的玻璃基板W的狀態(tài)，各玻 璃基板W放在兩個絲構(gòu)件23上。返回圖3-1，存放盒20的彼此相向的X方向的兩側(cè)部分別通過梁 構(gòu)件22a和柱構(gòu)件21a呈門形開放，形成玻璃基板的搬入搬出口 24。 在該實施方式中，把存放盒20的X方向的兩側(cè)部作為搬入搬出口 24， 通過各自的搬入搬出口可以搬運玻璃基板，但也可以只把任意 一 個側(cè) 部作為搬入搬出口。不過，通過使存放盒20具有兩個搬入搬出口，可 以從各個搬入搬出口搬入搬出玻璃基板，提高了玻璃基板搬入搬出的 效率。其次，存放盒20的底部由一對梁構(gòu)件22d、多個梁構(gòu)件22b及 一個梁構(gòu)件22f構(gòu)成，在它們之間形成后述的搬運裝置10能通過的進 入口 25。<升降裝置>圖5是升降裝置30的外觀立體圖，圖6是升降裝置30的分解立 體圖。升降裝置30是使存放盒20和搬運裝置IO相對地上下升降的裝 置。在該實施方式中，把搬運裝置10固定，使存放盒20升降，但也 可以采用固定存放盒20，使搬運裝置IO升降的結(jié)構(gòu)。在該實施方式的情況下，升降裝置30以夾著存放盒20的方式分 別配置在存放盒20相互相向的Y方向的兩側(cè)部，由以懸臂方式支承 存放盒20的一對升降單元31構(gòu)成。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可以使升降單元31 更薄型化，能使工件搬入搬出系統(tǒng)A整體的設置空間更小。另外，可 以確保玻璃基板的搬入搬出口和搬運裝置10的空間更寬闊。升降單元31裝備有放置存放盒20底部的梁構(gòu)件22d的橫梁部件 311。各升降單元31的各橫梁部件311通過同步地在上下方向(Z方 向)上移動而使存放盒20升降。升降單元31裝備有沿上下方向延伸 的支柱312，在支柱312的內(nèi)側(cè)表面上固定有沿上下方向延伸的一對 軌道部件313及齒軌314。在各升降單元31之間，梁構(gòu)件32架設在 支柱312的上端。橫梁部件311通過托架315a被固定支承在支承板315的一個側(cè)面 上。在支承板315的另一個側(cè)面上固定能沿著軌道部件313移動的四 個滑動部件316，橫梁部件311及支承板315通過軌道部件313的引 導而上下移動。驅(qū)動單元317由馬達317a和減速機317b構(gòu)成，固定 支承在支承板318的一個側(cè)面上。減速機317b的輸出軸貫通支承板 318而與配置在支承板318的另一側(cè)面上的小齒輪319a連接。支承板315和支承板318隔開規(guī)定間隔地被相互固定，在支承板 315和支承板318的空隙中配置小齒輪319b至319d。小齒輪319b至 319d可轉(zhuǎn)動地軸支承在支承板315和支承板318之間，小齒輪319b 及319d跟隨小齒輪419a的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動。小齒輪319c跟隨小齒輪319b 的轉(zhuǎn)動而轉(zhuǎn)動。小齒輪319b至319d是彼此少見格相同的小齒輪，兩個 小齒輪319c及319d與各齒軌314嚙合。于是，當驅(qū)動單元317驅(qū)動時，小齒輪319a轉(zhuǎn)動，由其驅(qū)動力使 驅(qū)動單元317、支承板315及318、滑動部件316及橫梁部件311呈一 體地向上方或下方移動，可以使放置在橫梁部件311上的存放盒20 升降。在各升降單元31中，檢測橫梁部件311升降高度相互的偏差的 傳感器311a設在橫梁部件311的端部。傳感器311a例如是裝備有發(fā)光部和受光部的光傳感器，如圖5 所示，判定是否互相向Y方向照射光并接受了光。在接受了光時，橫 梁部件311相互間的升降高度沒有偏差，而在沒有接受到光時，升降 高度則存在偏差。若用傳感器311a檢測出升降高度的偏差，則可以利 用馬達317a的控制來進行控制以消除偏差。通過設置傳感器311a來 控制橫梁部件311的升降高度的偏差，可以防止在升降時存放盒20傾斜，使存放盒20更穩(wěn)定地升降。另外，設在各橫梁部件311上的兩個傳感器311a也可以做成這樣 的構(gòu)成，即，其中一方具有發(fā)光部和受光部中的任意一方，而其另一 方具有發(fā)光部和受光部的另一方。另外，不限于光傳感器，也可以采 用其它的傳感器。<搬運裝置>圖7是搬運裝置10的外觀立體圖。在該實施方式中，搬運裝置 10如此構(gòu)成，即，構(gòu)成被獨立驅(qū)動的搬運部的多個輥式輸送機單元11、 12在X-Y平面上以平面方式配設。在該實施方式中，采用了輥式輸送 機方式，但也可以用其它搬運方式，例如帶式輸送機方式。各輥式輸 送機單元ll、 12各自具備驅(qū)動箱lla、 12a,軸承座llb、 12b，轉(zhuǎn) 動自由地支承在驅(qū)動箱lla、 12a和軸承座llb、 12b之間的多個輥llc、 12c。各輥llc、 12c由軸部和圓盤部構(gòu)成，其軸方向被設定在與玻璃 基板的搬運方向(X方向)正交的Y方向上，繞Y方向的軸芯正轉(zhuǎn)、 反轉(zhuǎn)。各輥llc、 12c的圓盤部的上面形成搬運玻璃基板的搬運面，以大 致水平姿勢對玻璃基板從其下面?zhèn)冗M行支承，同時，通過其轉(zhuǎn)動沿大 致水平方向(在該實施方式中為+X方向、-X方向)搬運玻璃基板。 在驅(qū)動箱11a、12a中內(nèi)裝有沒有圖示的馬達和把該馬達的驅(qū)動力傳遞 給各輥llc、 12c的動力傳遞機構(gòu)。另外，在驅(qū)動箱lla、 12a上面的 X方向兩端部設有檢測玻璃基板的傳感器lla'、 12a'。傳感器lla'、 12a'例如是反射型的光傳感器，根據(jù)由傳感器lla'、 12a'得到的玻 璃基板的檢測結(jié)果并以此為契機，開始或停止輥llc、 12c的轉(zhuǎn)動。各輥式輸送機單元11、 12分別以不與存放箱20干涉的方式設有 適當空隙而配置，通過由升降裝置30進行的存放箱20的下降，從存 放箱20的進入口 25進入存放箱20內(nèi)，另外，穿過由絲構(gòu)件23形成 的各放置部的開口部23a到達成為搬運對象的層的放置部。另外，輥式輸送機12將與玻璃基板的搬運方向(X方向)正交的 Y方向的寬度設定為輥式輸送機單元11的Y方向的寬度的大致一半，輥式輸送機單元11和輥式輸送機單元12在與玻璃基板的搬運方向(X 方向)正交的Y方向上配設成在兩個輥式輸送機單元11之間定位兩 個輥式輸送機單元12。若向+Y方向觀看，則為如下排列輥式輸送 機單元11 —輥式輸送機單元12 —輥式輸送機單元12 —輥式輸送機單 元11。由此，如圖3-2及圖4-l至圖4-3所示，可以用一個搬運裝置IO 搬運Y方向?qū)挾炔煌母鞣N尺寸的玻璃基板，可以處理至少三種Y方 向?qū)挾鹊墓ぜ?。即，若?qū)動所有的輥式輸送機單元11、 12，就可以搬 運圖3-2或圖4-1所示的Y方向的寬度的玻璃基板。其次，若在Y方 向分割成兩個，按輥式輸送機單元11及12的兩個組合各自獨立驅(qū)動， 就可以個別地搬運圖4-2中所示的Y方向?qū)挾鹊牟ＡЩ?。進而，若在Y方向分割成三個，通過輥式輸送機單元ll、兩個輥 式輸送機單元12和輥式輸送機單元11各自獨立驅(qū)動，就可以個別地 搬運圖4-3中所示的Y方向?qū)挾鹊牟ＡЩ?。另外，與玻璃基板接觸 的輥的數(shù)量相同，可以以均等的搬運力搬運各玻璃基板，可以穩(wěn)定地 搬運各玻璃基板。<控制部>圖8是表示工件搬入搬出系統(tǒng)A的控制部40的結(jié)構(gòu)的方框圖。 控制部40具有掌管工件搬入搬出系統(tǒng)A的整體控制的CPU41、在提 供CPU41的工件區(qū)域的同時存儲可變數(shù)據(jù)等的RAM42、和存儲控制 程序、控制數(shù)據(jù)等固定數(shù)據(jù)的ROM43。 RAM42、 ROM43也可以采 用其它的存儲手段。輸入接口 (1/F)44是CPU41與各種傳感器(傳感器311a、 lla'、 12a')的接口， CPU41通過輸入I/F44取得各種傳感器的檢測結(jié)果。輸出接口 ( I/F ) 45是CPU41與各種馬達(馬達317a、驅(qū)動箱lla 及12a內(nèi)的馬達)的接口， CPU41通過輸出1/F45控制各種馬達。在此，輥式輸送機單元11、 12的輥llc、 12c的轉(zhuǎn)速控制、即驅(qū) 動箱11a及12a內(nèi)的馬達的轉(zhuǎn)速控制可以采用變換器控制或伺服控制 等。通過采用變換器控制和伺服控制，可以微調(diào)各馬達的轉(zhuǎn)速，通過控制可以修正控制各輥式輸送機單元11、 12的機械誤差。由此，可以 更加正確地同步控制輥式輸送機單元11、 12的輥llc、 12c的轉(zhuǎn)速。另外，升降單元31的馬達317a的轉(zhuǎn)速控制也可以采用變換器控 制或伺服控制。由于要求同步控制，即一對升降單元31相對于與存放 盒20的各放置部對應的多個停止位置頻繁且同步地反復停止、移動， 故特別希望釆用沿著空間上的連續(xù)的線移動的控制方法(所謂的CP (Continuous Path)控制)。另外，在該實施方式中，作為升降單元 31的驅(qū)動源使用馬達，但也可以利用油壓或空氣壓等流體壓動作的致 動器。通信接口( I/F )46是控制工件處理設備100整體的主機5和CPU41 的接口 ， CPU41根據(jù)來自主機5的指令來控制工件搬入搬出系統(tǒng)A。 <工件搬入搬出系統(tǒng)A的動作>對由工件搬入搬出系統(tǒng)A進行的玻璃基板的搬入搬出動作進行說 明。首先，對用升降裝置30產(chǎn)生的存放盒20的升降動作和伴隨升降 動作的由搬運裝置10產(chǎn)生的玻璃基板的搬入搬出動作進行說明。在該 實施方式中，用由升降裝置30產(chǎn)生的升降動作使搬運裝置10進入存 放盒20內(nèi)，由搬運裝置10向存放盒20外部搬出放置部上(即各層絲 構(gòu)件23上)的玻璃基板，以及從存放盒20外部向放置部上搬入玻璃 基板。圖9-1及圖IO是工件搬入搬出系統(tǒng)A的動作說明圖。在此，對 玻璃基板的搬出動作進行說明，而關(guān)于搬入動作大概上為與其相反的 順序。圖9-1表示存放盒20位于搬運裝置10的上方、搬運裝置10尚未 進入存放盒20的狀態(tài)。在存放盒20的各層上放置玻璃基板W。玻璃 基板W從較下層搬出。在圖9-1狀態(tài)的場合，最下層的玻璃基板W 被最早搬出。因此，由升降裝置30使存放盒20如圖9-2所示那樣下降，使搬 運裝置10進入存放盒20內(nèi)，搬運裝置10的搬運面做成位于比最下層 的放置部更高一些的位置。由此，最下層的玻璃基板利用搬運裝置10 被從最下層的放置部抬起而被放置在搬運裝置10上。此后，使搬運裝置10的輥llc、 12c轉(zhuǎn)動，以大致水平姿勢搬運玻璃基板。圖9-3表 示沿+X方向搬出玻璃基板的中途的形態(tài)，圖9-4表示沿-X方向搬出 玻璃基板的中途的形態(tài)。利用同樣的順序，在各層單位中反復進行存放盒20的下降、玻璃 基板的搬出。圖10-1表示反復進行存放盒20的下降和玻璃基板的搬 出、存放盒20下降到搬運裝置10進入存放盒20的中程位置后的形態(tài)， 圖10-2表示在圖10-1的位置沿-X方向搬出玻璃基板的中途的形態(tài)。另外，圖10-3表示進一步反復進行存放盒20的下降、玻璃基板 的搬出、存放盒20下降到搬運裝置10進入存放盒20的上方的位置的 形態(tài)，圖10-4表示在圖10-3的位置沿+X方向搬出玻璃基板的中途的 形態(tài)。這樣就會搬出直到最上層的玻璃基板。在把玻璃基板搬入空的 存放盒20中時，從最上層的放置部起按順序搬入玻璃基板，存放盒 20會順次上升。其次，對大小不同的各種玻璃基板搬入搬出時的動作進行說明。 在該實施方式中，根據(jù)搬運的玻璃基板的大小和作為該玻璃基板搬運 源(搬出時)或搬運地(搬入時)的放置部上的位置以及使該玻璃基 板通過的搬入搬出口 ，有選擇地驅(qū)動各輥式輸送機單元11、 12。另外， 把搬入搬出口做成一處時，根據(jù)搬運的玻璃基板的大小和作為該玻璃 基板搬運源(搬出時)或搬運地(搬入時)的放置部上的位置，有選 擇地驅(qū)動各輥式輸送機單元11、 12。在此，對玻璃基板的搬出動作進行說明，而關(guān)于搬入動作大概為 與其相反的順序。在圖11中，圖11-1是空的存放盒20和搬運裝置10 的平面視圖。另外，梁構(gòu)件22c的位置是平面視時的絲構(gòu)件23的配置 位置。為便于說明，對各輥式輸送機單元ll、 12,如圖11-2那樣賦予 編號11 ~ 16(輥式輸送機單元11 )、編號21 ~ 26(輥式輸送機單元12 )、 編號31 ~ 36(輥式輸送機單元12 )、編號41 ~ 46(輥式輸送機單元11 )， 以下按圖11-2的編號特別規(guī)定各輥式輸送機單元11、 12來進行說明。圖12是搬出最大尺寸的玻璃基板W時的動作說明圖。圖12-1表 示玻璃基板W放置在某一層的放置部(絲構(gòu)件23)上的狀態(tài)。由于玻璃基板w位于所有編號的輥式輸送機單元上，故在該搬出中，所有的輥式輸送機單元都成為驅(qū)動對象。圖12-2表示從+X方向側(cè)的搬入 搬出口搬出玻璃基板W時的搬運中途的動作，圖12-3表示從-X方向 側(cè)的搬入搬出口搬出玻璃基板W時的搬運中途的動作。根據(jù)搬運方向 來決定輥式輸送機單元的輥的轉(zhuǎn)動方向。玻璃基板W通過的輥式輸送 機單元可以順次停止其驅(qū)動。例如圖12-2的場合，編號11、 21、 31 及41的輥式輸送機單元可以停止驅(qū)動。圖13A及圖13B是搬出圖12-1中表示的玻璃基板W的1/2大小 的玻璃基板Wl及W2時的動作說明圖。在圖13A中，圖13-1表示兩 張玻璃基板Wl及W2放置在某一層的放置部(絲構(gòu)件23 )上的狀態(tài)， 玻璃基板Wl位于放置部的左半部位置上，玻璃基板W2位于放置部 的右半部位置上。由此，玻璃基板Wl位于編號11 ~ 13、編號21 ~ 23、 編號31~33、編號41~43的輥式輸送機單元上，玻璃基板W2位于 編號14~16、編號24~26、編號34~36、編號44 ~ 46的輥式輸送才幾 單元上。作為搬出的方式，大致區(qū)分為在+X方向側(cè)的搬入搬出口和-X方 向側(cè)的搬入搬出口各自分別搬出玻璃基板Wl及W2的方式(反方向 搬運)、和從任意一個搬入搬出口搬出玻璃基板Wl及W2的方式(同 方向搬運)。另外，也可大致區(qū)分為一張張搬出玻璃基板Wl及W2 的方式(逐次搬運)、和同時搬出玻璃基板Wl及W2的方式(同時搬 運)。這些搬出方式可以任意組合。在圖13A中，圖13-2及圖13-3是表示按反方向搬運逐次搬運的 例子的圖。此時，首先向任意方向(+X方向、-X方向)搬運任意一 個玻璃基板W1及W2。在圖13-2的例子中，選擇編號11~13、編號 21~23、編號31~33、編號41~43的輥式輸送機單元作為驅(qū)動對象， 向-X方向搬出玻璃基板Wl。玻璃基板Wl的搬出完成時，如圖13-3 的例子所示，選擇編號14~16、編號24~26、編號34~36、編號44 ~ 46的輥式輸送機單元作為驅(qū)動對象，向+X方向搬出玻璃基板W2。在 同時搬運時，同時驅(qū)動編號11~13、編號21~23、編號31~33、編號41 ~ 43的輥式輸送機單元和編號14 ~ 16、編號24 ~ 26、編號34 ~ 36、編號44~46的輥式輸送機單元，且使輥的轉(zhuǎn)動方向相反。在圖13B中，圖13-4及圖13-5是表示按同方向搬運逐次搬運的 例子的圖。此時，首先向任意方向(+X方向、-X方向)搬運任意一 個玻璃基板W1及W2。在圖13-4的例子中，選擇編號11~13、編號 21~23、編號31~33、編號41~43的輥式輸送機單元作為驅(qū)動對象， 向-X方向搬出玻璃基板Wl。玻璃基板Wl的搬出完成時，如圖13-5 的例子所示，選擇編號14~16、編號24~26、編號34~36、編號44~ 46的輥式輸送機單元和編號11 ~ 13、編號21~23、編號31~33、編 號41~43的輥式輸送機單元、即所有的輥式輸送機單元作為驅(qū)動對 象，也向-X方向搬出玻璃基板W2。在同時搬運時，同時驅(qū)動編號11 ~ 13、編號21~23、編號31~33、編號41 ~ 43的輥式輸送機單元和編 號14~16、編號24~26、編號34~36、編號44 ~ 46的輥式輸送機單 元，iM吏輥的轉(zhuǎn)動方向相同。圖14A至圖14C是搬出圖12-1中所示的玻璃基板W的1/4大小 的玻璃基板W1至W4時的動作說明圖。在圖14A中，圖14-1表示四 張玻璃基板Wl至W4放置在某一層的放置部(絲構(gòu)件23)上的狀態(tài)， 玻璃基板Wl位于放置部的左上半部位置上，玻璃基板W2位于放置 部的左下半部位置上，玻璃基板W3位于放置部的右上半部位置上， 玻璃基板W4位于放置部的右下半部位置上。而且，玻璃基板W1位 于編號11~13、編號21~23的輥式輸送機單元上，玻璃基板W2位 于編號31~33、編號41~43的輥式輸送機單元上，玻璃基板W3位 于編號14~16、編號24~26的輥式輸送才幾單元上，玻璃基板W4位 于編號34~36、編號44~46的輥式輸送機單元上。作為搬出方式，有上述的反方向搬運、同方向搬運、逐次搬運和 同時搬運。同時搬運進一步分為所有四張同時搬運的情況和兩張或三 張同時搬運的情況。在圖14A中，圖14-2及圖14-3是表示按反方向搬運同時搬運兩 張的例子的圖。此時，首先如圖14-2所示那樣，玻璃基板Wl從-X方向的搬入搬出口 、玻璃基板W4從+X方向的搬入搬出口分別搬出。 為此，選擇編號11~13、編號21~23的輥式輸送才幾單元作為驅(qū)動對 象向-X方向搬出玻璃基板Wl，另外，選擇編號34~36、編號44~46 的輥式輸送機單元作為驅(qū)動對象向+X方向搬出玻璃基板W4。接著，如圖14-3所示，選擇編號31~33、編號41~43的輥式輸 送機單元作為驅(qū)動對象向-X方向搬出玻璃基板W2，選擇編號14~ 16、 編號24~26的輥式輸送機單元作為驅(qū)動對象向+X方向搬出玻璃基板 W3。在圖14B中，圖14-4是表示按反方向搬運同時搬運四張的例子的 圖。在該例子的場合，選擇所有的輥式輸送機單元作為驅(qū)動對象，且 在驅(qū)動編號11~13、編號21~23、編號31~33、編號41 43的輥式 輸送機單元和編號14~ 16、編號24~26、編號34~36、編號44~46 的輥式輸送機單元中驅(qū)動輥向反方向轉(zhuǎn)動。玻璃基板Wl及W2從-X 方向側(cè)的搬入搬出口搬出，玻璃基板W3及W4從+X方向側(cè)的搬入搬 出口*出。圖14B的圖14-5及圖14C的圖14-6是表示按同方向搬運逐次搬 運的例子的圖。在該例子的情況下，按玻璃基板W3 —玻璃基板W4 —玻璃基板W1 —玻璃基板W2的順序從+X方向側(cè)的搬入搬出口搬 出，在玻璃基板W1搬出的中途開始玻璃基板W2的搬出。之后，首 先選擇編號14~16、編號24~26的輥式輸送機單元作為驅(qū)動對象搬 出玻璃基板W3。其次，選擇編號34~36、編號44~46的輥式輸送才幾 單元作為驅(qū)動對象，搬出玻璃基板W4。接著，選擇編號11~13、編 號21 ~ 23的輥式輸送機單元和編號14 ~ 16、編號24 ~ 26的輥式輸送 機單元作為驅(qū)動對象，搬出玻璃基板Wl。在其搬出中途，進一步選 擇編號31~33、編號41~43的輥式輸送才幾單元和編號34~36、編號 44~46的輥式輸送機單元作為驅(qū)動對象，搬出玻璃基板W2。圖14C的圖14-7是表示按同方向搬運同時搬運兩張的例子的圖。 在該例子的情況下，按玻璃基板W3及W4 —玻璃基板Wl及W2的 順序從+X方向側(cè)的搬入搬出口搬出。之后，首先選擇編號14 16、送機單元和編號34 ~ 36、編號44 ~ 46的輥式輸 送機單元作為驅(qū)動對象，同時搬出玻璃基板W3及W4。接著，選擇 所有的輥式輸送機單元作為驅(qū)動對象，同時搬出玻璃基板Wl及W2。圖15A及圖15B是搬出圖12-1中表示的玻璃基板W的1/6大小 的玻璃基板Wl及W6時的動作說明圖。在圖15A中，圖15-1表示六 張玻璃基板Wl至W6放置在某一層的放置部(絲構(gòu)件23)上的狀態(tài)， 玻璃基板Wl位于放置部的左上層的位置上，玻璃基板W2位于放置 部的左中層的位置上，玻璃基板W3位于放置部的左下層的位置上， 玻璃基板W4位于放置部的右上層的位置上，玻璃基板W5位于放置 部的右中層的位置上，玻璃基板W6位于放置部的右下層的位置上。而且，玻璃基板Wl位于編號11 ~ 13的輥式輸送機單元上，玻璃 基板W2位于編號21~23、 31~33的輥式輸送機單元上，玻璃基板 W3位于編號41~43的輥式輸送機單元上，玻璃基板W4位于編號 14~ 16的輥式輸送機單元上，玻璃基板W5位于編號24~26、 34 ~ 36 的輥式輸送機單元上，玻璃基板W6位于編號44 ~ 46的輥式輸送機單 元上。作為搬出方式，有上述的反方向搬運、同方向搬運、逐次搬運和 同時搬運。同時搬運進一步分為六張同時搬運的情況和同時搬運兩張 到五張的情況。在圖15A中，圖15-2是表示按反方向搬運同時搬運兩張的例子的 圖。在該例子的情況下，首先向反方向同時搬運兩張玻璃基板Wl和 W4，其次是搬運玻璃基板W2和W5，最后是搬運玻璃基板W3和 W6。為此，首先選擇編號11 ~ 13的輥式輸送才幾單元和編號14 ~ 16的 輥式輸送機單元作為驅(qū)動對象，向-X方向搬出玻璃基板Wl，向+X 方向搬出玻璃基板W4。其次，選擇編號21~23及編號31~33的輥 式輸送機單元和編號24 ~ 26及編號34 ~ 36的輥式輸送機單元作為驅(qū) 動對象，向-X方向搬出玻璃基板W2，向+X方向搬出玻璃基板W5。 最后，選擇編號41~43的輥式輸送機單元和編號44~46的輥式輸送 機單元作為驅(qū)動對象，向-X方向搬出玻璃基板W3,向+X方向搬出玻璃基板W6。在圖15B中，圖15-3是表示在按反方向搬運同時搬運六張的例子 的圖。在該例子的情況下，玻璃基板Wl至W3向-X方向、玻璃基板 W4至W6向+X方向同時搬出。為此，選擇所有的輥式輸送機單元作 為驅(qū)動對象，利用編號11~13、編號21~23、編號31~33、編號41 ~ 43的輥式輸送機單元和編號14~ 16、編號24~26、編號34~36、編 號44~46的輥式輸送才幾單元驅(qū)動輥向反方向轉(zhuǎn)動。在圖15B中，圖15-4是表示按同方向搬運逐次搬運的例子的圖。 在該例的情況下，按玻璃基板W4 —玻璃基板W5 —玻璃基板W6 —玻 璃基板W1 —玻璃基板W2 —玻璃基板W3的順序從+X方向側(cè)的搬入 搬出口搬出，在一個前面的玻璃基板搬出的中途開始下一個玻璃基板 的搬出。之后，首先選擇編號14~16的輥式輸送機單元作為驅(qū)動對象，搬 出玻璃基板W4。其次，選擇編號24~26及編號34~36的輥式輸送 機單元作為驅(qū)動對象，搬出玻璃基板W5。再次，選擇編號44 46的 輥式輸送機單元作為驅(qū)動對象，搬出玻璃基板W6。接著，選擇編號 11~16的輥式輸送機單元作為驅(qū)動對象，搬出玻璃基板W1。其次， 選擇編號21 ~ 26及編號31 ~ 36的輥式輸送機單元作為驅(qū)動對象，搬 出玻璃基板W2。最后，選擇編號41~46的輥式輸送機單元作為驅(qū)動 對象，搬出玻璃基板W3。在圖15B中，圖15-5是表示按同方向搬運同時搬運三張的例子的 圖。在該例子的情況下，按玻璃基板W4至6 —玻璃基板Wl至3的 順序從+X方向側(cè)的搬入搬出口搬出。之后，首先選擇編號14~16、 編號24~26、編號34~36、編號44 ~ 46的輥式輸送機單元作為驅(qū)動 對象，同時搬運玻璃基板W4至W6。接著，選擇所有的輥式輸送機 單元作為驅(qū)動對象，同時搬運玻璃基板Wl至W3。其次，在上述各例子中，表示了在一層放置部搬出相同尺寸的玻 璃基板的例子，但也可以在一層放置部放置不同尺寸的玻璃基板，分 別進行搬出。圖16是表示的例子的圖，圖16-1至圖16-3表示放置兩種的情況，圖16-4表示放 置三種的情況。在圖16-1的例子中，在一層放置部上混合放置有圖12-1中所示 的玻璃基板W的1/6大小的玻璃基板Wl至W3和圖12-1中所示的玻 璃基板W的1/4大小的玻璃基板W4及W6。在圖16-2的例子中，在 一層放置部上混合放置有圖12-1中所示的玻璃基板W的1/6大小的 玻璃基板W1至W3和圖12-1中所示的玻璃基板W的1/2大小的玻璃 基板W4。在圖16-3的例子中，在一層放置部上混合放置有圖12-1中 所示的玻璃基板W的1/2大小的玻璃基板Wl和圖12-1中所示的玻 璃基板W的1/4大小的玻璃基板W2及W3。在圖16-4的例子中，在 一層放置部上混合放置有圖12-1中所示的玻璃基板W的1/6大小的 玻璃基板Wl、圖12-1中所示的玻璃基板W的1/4大小的玻璃基板 W2和圖12-1中所示的玻璃基板W的1/2大小的玻璃基板W3。參照圖17A到圖17C說明這樣在一層放置部上放置不同尺寸的玻 璃基板時的搬出動作。在此，以圖16-1的情況為例進行說明。在圖17A中，如圖17-1所示那樣，玻璃基板Wl位于編號11 ~ 13的輥式輸送機單元上，玻璃基板W2位于編號21 ~23、 31~33的 輥式輸送機單元上，玻璃基板W3位于編號41 ~ 43的輥式輸送機單元 上，玻璃基板W4位于編號14~ 16、編號24~26的輥式輸送機單元 上，玻璃基板W5位于編號34~36、 44~46的輥式輸送機單元上。作為搬出方式，具有上述的反方向搬運、同方向搬運、逐次搬運、 同時搬運。同時搬運進一步可以分為同時搬運全部五張的情況和同時 搬運兩張到四張的情況。在圖17A中，圖17-2是表示按反方向搬運進行逐次搬運的例子。 在該例子中，玻璃基板W1至W3在-X方向逐次搬運，玻璃基板W4 及W5在+X方向逐次搬運。作為驅(qū)動對象凈皮選擇的輥式輸送機單元， 玻璃基板W1是編號11~13，玻璃基板W2是編號21~23、 31~33， 玻璃基板W3是編號41 ~ 43，玻璃基板W4是編號14 ~ 16、編號24 ~ 26，玻璃基板W5是編號34~36、 44~46。在圖17B中，圖17-3是表示按反方向搬運進行同時搬運的例子。 在該例子中，玻璃基板W1至W3在-X方向同時搬運，玻璃基板W4 及W5在+X方向同時搬運。作為驅(qū)動對象被選擇的輥式輸送機單元， 玻璃基板W1是編號11~13，玻璃基板W2是編號21~23、 31~33， 玻璃基板W3是編號41 ~ 43，玻璃基板W4是編號14 ~ 16、編號24 ~ 26，玻璃基板W5是編號34~36、 44~46。在圖17B中，圖17-4是表示按同方向搬運逐次搬運的例子的圖。 該例子的情況下，按玻璃基板W4 —玻璃基板W5 —玻璃基板Wl —玻 璃基板W2 —玻璃基板W3的順序從+X方向側(cè)的搬入搬出口搬出，在 一個前面的玻璃基板搬出的中途開始下一個玻璃基板的搬出。之后，首先選擇編號14~ 16和24~26的輥式輸送機單元作為驅(qū) 動對象，搬出玻璃基板W4。其次，選擇編號34~36及編號44~46 的輥式輸送機單元作為驅(qū)動對象，搬出玻璃基板W5。接著，選擇編 號11 ~ 16的輥式輸送機單元作為驅(qū)動對象，搬出玻璃基板Wl。再次， 選擇編號21 ~ 26及編號31 ~ 36的輥式輸送機單元作為驅(qū)動對象，搬 出玻璃基板W2。最后，選擇編號41~46的輥式輸送機單元作為驅(qū)動 對象，搬出玻璃基板W3。在圖17C中，圖17-5是表示按同方向搬運同時搬運兩張、三張的 例子的圖。在該例子的情況下，按玻璃基板W4及5 —玻璃基板Wl 至3的順序從+X方向側(cè)的搬入搬出口搬出。之后，首先選擇編號14 ~ 16、編號24~26、編號34~36、編號44 ~ 46的輥式輸送機單元作為 驅(qū)動對象，同時搬運玻璃基板W4及W5。接著，選擇所有的輥式輸 送機單元作為驅(qū)動對象，同時搬運玻璃基板Wl至W3。在圖17C中，圖17-6是表示按反方向搬運同時搬運四張的例子的 圖。在該例子的情況下，按玻璃基板Wl至W4 —玻璃基板W5的順 序從-X方向側(cè)的搬入搬出口搬出玻璃基板Wl至W3及W5,從+X方 向側(cè)的搬入搬出口搬出玻璃基板W4。并且，首先選擇編號11~13、 編號21~23、編號31~33及編號41~43的輥式輸送機單元和編號 14~16、編號24~26輥式輸送機單元作為驅(qū)動對象，搬運玻璃基板Wl至玻璃基板W4。接著，選擇編號31~36及編號44~46的輥式輸 送機單元作為驅(qū)動對象，搬運玻璃基板W5。這樣，在該實施方式中，通過根據(jù)所搬運的玻璃基板的大小、作 為該玻璃基板的搬運源的放置部的位置和使該玻璃基板通過的搬入搬 出口，有選擇地驅(qū)動各輥式輸送機單元11、 12，從而可以搬出各種大 小的玻璃基板，其搬運方式也可以選擇各種方式。在向存放盒20搬入 玻璃基板時，只要確定玻璃基板的大小和成為搬運地的放置部上的位 置及搬入搬出口 ，就可以確定玻璃基板所應通過的各輥式輸送機單元 11、 12，通過有選擇地驅(qū)動所確定的各輥式輸送機單元11、 12，可以 搬入各種大小的玻璃基板。其次，對同時進行玻璃基板的搬出和搬入的情況進行說明。圖18A 及圖18B是在同時進行玻璃基板的搬出和搬入時的動作說明圖。在此， 舉例說明圖12-1所示的玻璃基板W的1/6大小的玻璃基板。在圖18A中，圖18-1表示玻璃基板W4至W6放置在放置部上、 此后向存放盒20外搬出的玻璃基板，示出了玻璃基板Wl至W3此后 向存放盒20內(nèi)的左半部的位置搬入的形態(tài)。玻璃基板W4及W6各自放置在編號14 ~ 16、編號24 ~ 26及編 號34~36、編號44~46的輥式輸送機單元上。玻璃基板Wl至W3 各自被搬入到編號11~13、編號21~23及編號31~33、編號41~43 的輥式輸送機單元上。首先，對通過同時搬運進行搬運的情況進行說明，作為驅(qū)動對象 選擇所有的輥式輸送機單元，向同方向轉(zhuǎn)動驅(qū)動。在圖18A中，圖18-2 表示通過向+X方向搬運玻璃基板而搬出玻璃基板W4至W6、搬入玻 璃基板Wl至W3的途中的形態(tài)。在圖18A中，圖18-3表示搬運后的 形態(tài)，玻璃基板W4至W6向存》t盒20外搬出，玻璃基板W1至W3 向存放盒20內(nèi)搬入。在圖18B中，圖18-4及圖18-5表示同時進行玻璃基板的搬出和 搬入時的其它的動作例，搬出玻璃基板W1、 W2、 W4及W6，向左 下層搬入玻璃基板W3，向右中層搬入玻璃基板W5。此時，為了搬出玻璃基板W1、 W2、 W4及W6，選擇編號11~ 13、編號21 ~ 23及編號31 ~ 33、編號14 ~ 16、編號44 ~ 46的輥式輸 送機單元作為驅(qū)動對象。另外，為了搬入玻璃基板W3及W5，選擇 編號41 ~ 43、編號24 ~ 26及編號34 ~ 36的輥式輸送機單元作為驅(qū)動 對象。并且，玻璃基板W1、 W2及W5向-X方向搬運，玻璃基板W3、 W4及W6向+X方向搬運。由此，玻璃基板Wl及W2向-X方向搬出， 玻璃基板W4及W6向+X方向搬出。另外，玻璃基板W3及W5分別 向左下層、右中層搬入。如以上所述那樣，在本實施方式中，搬運裝置IO通過平面地配置 了被獨立驅(qū)動的多個輥式輸送機單元11、 12而構(gòu)成，由于多個輥式輸 送機單元11、12根據(jù)所搬運的玻璃基板的大小和作為玻璃基板的搬運 源(搬出時)或搬運地(搬入時)的放置部上的位置有選擇地進行驅(qū) 動，故可以搬入搬出不同大小的玻璃基板。因而，可以處理多種大小 的工件。另外，在存放盒20的各放置部上也可以如圖4-1至圖4-3所 示那樣放置多個小尺寸的工件，各自個別地進行搬入搬出，提高存放 盒20的玻璃基板的存放效率。
權(quán)利要求
1.一種工件搬入搬出系統(tǒng)，該工件搬入搬出系統(tǒng)包括搬運機構(gòu)，該搬運機構(gòu)以大致水平姿勢對方形板狀的工件從其下面?zhèn)冗M行支承，而且，沿大致水平方向搬運該工件；存放盒，該存放盒具備多個放置部、側(cè)部和底部；該多個放置部沿上下方向形成多層，具有所述搬運機構(gòu)能通過的開口部，而且以大致水平姿勢放置所述工件；該側(cè)部形成所述工件的搬入搬出口；該底部形成所述搬運機構(gòu)能通過的進入口；所述存放盒配置在所述搬運機構(gòu)的上方；以及升降機構(gòu)，該升降機構(gòu)使所述存放盒和所述搬運機構(gòu)相對地上下升降；通過由所述升降機構(gòu)產(chǎn)生的升降動作使所述搬運機構(gòu)進入所述存放盒內(nèi)，利用所述搬運機構(gòu)將所述放置部上的所述工件向所述存放盒外部搬出，以及從所述存放盒外部向所述放置部上搬入所述工件；其特征在于，所述搬運機構(gòu)通過平面地配設被獨立驅(qū)動的多個搬運部而構(gòu)成；所述多個搬運部根據(jù)所搬運的所述工件的大小和作為該工件的搬運源或搬運地的所述放置部上的位置而有選擇地受到驅(qū)動。
2. 如權(quán)利要求l所述的工件搬入搬出系統(tǒng)，其特征在于，所述存 放盒具有與形成所述搬入搬出口的所述側(cè)部相向的另一側(cè)部，而且， 該另一側(cè)部也形成所述搬入搬出口；所述搬運機構(gòu)能夠經(jīng)由所述側(cè)部以及所述另一側(cè)部各自的所述搬 入搬出口搬運所述工件；所述多個搬運部根據(jù)所搬運的所述工件的大小、作為該工件搬運 源或搬運地的所述放置部上的位置以及使該工件通過的所述搬入搬出 口而有選擇地受到驅(qū)動。
3. 如權(quán)利要求l所述的工件搬入搬出系統(tǒng)，其特征在于，所述多 個搬運部包括第一搬運部、和與所述工件的搬運方向正交的方向的寬度為所述第一搬運部寬度的大致一半的第二搬運部；所述第一搬運部和所述第二搬運部在與所述工件的搬運方向正交 的方向上如此配置，即，使兩個所述第二搬運部位于兩個所述第一搬 運部之間。
4. 如權(quán)利要求l所述的工件搬入搬出系統(tǒng)，其特征在于，所述升 降機構(gòu)使所述存放盒上下升降，所述搬運機構(gòu)被固定配置；所述存放盒呈長方體形狀；所述升降機構(gòu)以夾著所述存放盒的方式分別配設在所述存放盒的 相互相向的兩側(cè)部，由以懸臂方式支承所述存放盒的一對升降單元構(gòu) 成。
5. 如權(quán)利要求4所述的工件搬入搬出系統(tǒng)，其特征在于，所述升 降單元裝備有檢測相互的升降高度的偏差的檢測機構(gòu)。
6. —種搬運裝置，該搬運裝置構(gòu)成工件搬入搬出系統(tǒng)，所述工件 搬入搬出系統(tǒng)包括所述搬運裝置，該搬運裝置以大致水平姿勢對方形板狀的工件從 其下面?zhèn)冗M行支承，而且，沿大致水平方向搬運該工件；存放盒，該存放盒具備多個放置部、側(cè)部和底部；該多個放置部 沿上下方向形成多層，具有所述搬運裝置能通過的開口部，而且以大 致水平姿勢放置所述工件；該側(cè)部形成所述工件的搬入搬出口；該底部形成所述搬運裝置能通過的進入口 ；所述存放盒配置在所述搬運裝 置的上方；以及升降機構(gòu)，該升降機構(gòu)使所述存放盒和所述搬運裝置相對地上下升降；通過由所述升降機構(gòu)產(chǎn)生的升降動作使所述搬運裝置進入所述存 放盒內(nèi)，利用所述搬運裝置將所述放置部上的所述工件向所述存放盒外部搬出，以及從所述存放盒外部向所述放置部上搬入所述工件；其 特征在于，所述搬運裝置通過平面地配設被獨立驅(qū)動的多個搬運部而構(gòu)成； 所述多個搬運部根據(jù)所搬運的所述工件的大小和作為該工件的搬運源或搬運地的所述放置部上的位置而有選擇地受到驅(qū)動。
全文摘要
本發(fā)明的工件搬入搬出系統(tǒng)包括搬運裝置，在以大致水平姿勢從下面?zhèn)戎С蟹叫伟鍫畹墓ぜ?，并沿大致水平方向搬運該工件；存放盒，具備沿上下方向形成多層并具有搬運裝置能通過的開口部且以大致水平姿勢放置所述工件的多個放置部、形成工件的搬入搬出口的側(cè)部和形成搬運裝置能通過的進入口的底部，配置在搬運裝置的上方；升降機構(gòu)，使存放盒和搬運裝置相對地上下升降。通過升降機構(gòu)的升降動作使搬運裝置進入存放盒內(nèi)，用搬運裝置把放置部上的工件向存放盒外部搬出，及從存放盒外部向放置部上搬入所述工件。搬運裝置平面配置獨立驅(qū)動的多個搬運部，多個搬運部根據(jù)所搬運的工件的大小和作為工件的搬運源及搬運地的放置部上的位置有選擇地受到驅(qū)動。
文檔編號B65G49/06GK101253113SQ20068003181
公開日2008年8月27日 申請日期2006年6月27日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月2日
發(fā)明者三露道生, 山本洋一郎, 橘勝義 申請人:平田機工株式會社