技術總結
本發(fā)明涉及一種拋光漿料組合物，根據本發(fā)明的第一方案的拋光漿料組合物包含磨料粒子；以及氧化劑，拋光具有至厚度的鎢，且改善鎢的形貌，根據本發(fā)明的第二方案的拋光漿料組合物包含第一磨料粒子、第二磨料粒子、以及第三磨料粒子中的至少兩種以上的磨料粒子；以及氧化劑，其中，所述第一磨料粒子具有20nm至小于45nm的一次粒度，所述第二磨料粒子具有45nm至小于130nm的一次粒度，所述第三磨料粒子具有130nm至小于250nm的一次粒度。

技術研發(fā)人員：尹柱炯;洪承哲;尹永鎬;白云揆;徐智訓;金起廷;李康天
受保護的技術使用者：凱斯科技股份有限公司;IUCF-HYU-漢陽大學校產學協(xié)力團
文檔號碼：201580042750
技術研發(fā)日：2015.08.11
技術公布日：2017.05.10