專(zhuān)利名稱(chēng)：一種涂布系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及液晶顯示器中彩膜的制造設(shè)備，特別地，涉及所述制造設(shè)備中所用到的涂布系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
圖1和圖2中所示的是生產(chǎn)液晶顯示器中的彩膜(即，Color Filter, CF)時(shí)所用到的涂布系統(tǒng)的示意圖。其中，圖1是涂布系統(tǒng)的主視圖示意圖，圖2是圖1中所示的涂布系統(tǒng)的俯視圖。該涂布系統(tǒng)包括噴頭10和依次排列的預(yù)涂布平臺(tái)20、廢液池30和涂布平臺(tái)50，噴頭10可以從預(yù)涂布平臺(tái)20的上方移動(dòng)至所述涂布平臺(tái)的上方，預(yù)涂布平臺(tái)20包括安裝平臺(tái)21、設(shè)置在該安裝平臺(tái)21上表面上的預(yù)涂布板22和可以從該預(yù)涂布板22的一端移動(dòng)至另一端的刮刀(未示出)。在噴涂光刻膠時(shí)，噴頭10從預(yù)涂布平臺(tái)20的一側(cè)開(kāi)始移動(dòng)并向預(yù)涂布板22上噴涂光刻膠。隨后噴頭10移動(dòng)經(jīng)過(guò)廢液池30，到達(dá)所述涂布平臺(tái)時(shí)，噴頭10噴涂的光刻膠比較均勻。向預(yù)涂布板22上噴涂光刻膠的過(guò)程稱(chēng)為預(yù)涂布。預(yù)涂布完成后，所述刮刀從預(yù)涂布板22的一端移動(dòng)至該預(yù)涂布板22的另一端，將預(yù)涂布板22上的廢液刮除，并將該廢液導(dǎo)流至廢液池30內(nèi)。廢液池30底部設(shè)置有排液孔，該排液孔和排液管連通，以將廢液引導(dǎo)至廢液池30外部。通常，預(yù)涂布板22是通過(guò)安裝平臺(tái)21上的真空吸附孔吸附在安裝平臺(tái)21上的，可是在利用所述刮刀·刮除預(yù)涂布板22上的廢液的過(guò)程中，廢液非常容易殘留在預(yù)涂布板22的邊緣上，從而被抽真空系統(tǒng)吸入抽真空管路中或者粘附在預(yù)涂布板22的背面，并因此導(dǎo)致預(yù)涂布板松動(dòng)或者高低不平，需頻繁進(jìn)行水平度校準(zhǔn)。因此，如何防止光刻膠廢液被抽真空系統(tǒng)吸入真空管路中成為本領(lǐng)域亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種涂布系統(tǒng)，利用該涂布系統(tǒng)進(jìn)行預(yù)涂布的過(guò)程時(shí)，光刻膠不會(huì)殘留在預(yù)涂布板的邊緣上，從而不會(huì)被吸入抽真空系統(tǒng)的真空管路中。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種涂布系統(tǒng)，所述涂布系統(tǒng)包括噴頭和依次排列的預(yù)涂布平臺(tái)、廢液池和涂布平臺(tái)，所述噴頭能夠從所述預(yù)涂布平臺(tái)的上方移動(dòng)至所述涂布平臺(tái)的上方，所述預(yù)涂布平臺(tái)包括安裝平臺(tái)、設(shè)置在所述安裝平臺(tái)上表面上的預(yù)涂布板和能夠從所述預(yù)涂布板的第一端移動(dòng)至第二端的刮刀，其中，所述預(yù)涂布板的第二端設(shè)置有向上延伸的第一擋板。優(yōu)選地，所述預(yù)涂布板的兩側(cè)分別延伸超過(guò)所述安裝平臺(tái)的兩個(gè)側(cè)面，且所述預(yù)涂布板的兩側(cè)中的至少一側(cè)設(shè)置有向下延伸的第二擋板。優(yōu)選地，所述預(yù)涂布板的兩側(cè)中靠近所述廢液池的一側(cè)延伸至所述廢液池的上方，所述預(yù)涂布板的兩側(cè)中的另一側(cè)設(shè)置有所述第二擋板。優(yōu)選地，所述廢液池的深度從一端至另一端逐漸增加，所述廢液池的較深的一端的側(cè)壁底部設(shè)置有與所述廢液池外部相通的排液孔。優(yōu)選地，所述排液孔為多個(gè)，多個(gè)所述排液孔沿所述廢液池的寬度方向均勻分布。優(yōu)選地，所述涂布系統(tǒng)還包括能夠提供清洗液的清洗裝置，所述廢液池的較淺的一端的側(cè)壁上設(shè)置有進(jìn)液孔，所述清洗液通過(guò)所述進(jìn)液孔進(jìn)入所述廢液池中。優(yōu)選地，所述清洗裝置包括與所述進(jìn)液孔連通的清洗液供應(yīng)管，所述清洗液供應(yīng)管上設(shè)置有第一開(kāi)關(guān)閥。優(yōu)選地，所述進(jìn)液孔為多個(gè)，多個(gè)所述進(jìn)液孔沿所述廢液池的寬度方向均勻分布。優(yōu)選地，所述清洗液供應(yīng)管包括進(jìn)液管和與該進(jìn)液管連通的多個(gè)分配管，所述分配管與所述進(jìn)液孔一一對(duì)應(yīng)，且所述第一開(kāi)關(guān)閥連接在所述進(jìn)液管和所述分配管之間。優(yōu)選地，所述清洗裝置還包括第二開(kāi)關(guān)閥和控制空氣供應(yīng)管，所述第一開(kāi)關(guān)閥為氣動(dòng)閥，所述第一開(kāi)關(guān)閥的控制口與所述控制空氣供應(yīng)管相連，所述第二開(kāi)關(guān)閥設(shè)置在所述控制空氣供應(yīng)管上，以控制所述空氣供應(yīng)管的通斷。通過(guò)在預(yù)涂布板上設(shè)置第一擋板可以防止利用刮刀刮出預(yù)涂布板上的光刻膠時(shí)，光刻膠不會(huì)殘留在預(yù)涂布板的邊緣上，從而可以防止光刻膠被吸入抽真空系統(tǒng)的真空管路中。

附圖是用來(lái)提供對(duì)本實(shí)`用新型的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說(shuō)明書(shū)的一部分，與下面的具體實(shí)施方式
一起用于解釋本實(shí)用新型，但并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的限制。在附圖中:圖1是現(xiàn)有的涂布系統(tǒng)的一部分的主視圖示意圖；圖2是圖1中所示的涂布系統(tǒng)的一部分的俯視圖示意圖；圖3是本實(shí)用新型所提供的涂布系統(tǒng)的一部分的主視圖示意圖；圖4是圖3中所示的涂布系統(tǒng)的c-c剖視圖；圖5是圖3中所示的涂布系統(tǒng)的一部分的俯視圖示意圖；圖6是圖3中所示的涂布系統(tǒng)的一部分的A-A剖視圖；圖7是圖3中所示的涂布系統(tǒng)的一部分的B向視圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明10:噴頭 20:預(yù)涂布平臺(tái)21:安裝平臺(tái)22:預(yù)涂布板23:第一擋板24:第二擋板30:廢液池 31:排液孔32:進(jìn)液孔 40:清洗裝置41:清洗液供應(yīng)管42:第一開(kāi)關(guān)閥43:第二開(kāi)關(guān)閥 44:控制空氣供應(yīng)管45:控制器 50:涂布平臺(tái)
具體實(shí)施方式
[0036]
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的具體實(shí)施方式
僅用于說(shuō)明和解釋本實(shí)用新型，并不用于限制本實(shí)用新型。如圖3至圖7中所示，本實(shí)用新型提供一種涂布系統(tǒng)，所述涂布系統(tǒng)包括噴頭10和依次排列的預(yù)涂布平臺(tái)20、廢液池30和涂布平臺(tái)50，噴頭10能夠從預(yù)涂布平臺(tái)20的上方移動(dòng)至所述涂布平臺(tái)的上方，噴頭10呈長(zhǎng)條狀，長(zhǎng)度方向與該噴頭10的移動(dòng)方向相垂直。預(yù)涂布平臺(tái)20包括安裝平臺(tái)21、設(shè)置在安裝平臺(tái)21上表面上的預(yù)涂布板22和能夠從預(yù)涂布板22的第一端移動(dòng)至第二端的刮刀，其中，預(yù)涂布板22的第二端設(shè)置有向上延伸的第一擋板23。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所述的“第一端、第二端”分別位于預(yù)涂布板22長(zhǎng)度方向上的兩端(即，圖3和圖5中的左右方向，同時(shí)也是預(yù)涂布板22的長(zhǎng)度方向)，此處所述的預(yù)涂布板22的長(zhǎng)度方向垂直于噴頭10的移動(dòng)方向。由于預(yù)涂布板22的第二端上設(shè)置了向上延伸的第一擋板23，因此，在所述刮刀從預(yù)涂布板22的第一端移動(dòng)到預(yù)涂布板22的第二端時(shí)，第一擋板23擋住被所述刮刀甩出的光刻膠，進(jìn)而可以防止被所述刮刀刮除的光刻膠廢液因慣性作用而被甩到預(yù)涂布板22的外部，并殘留在預(yù)涂布板22的第二端的邊緣上，從而降低了光刻膠廢液被抽真空系統(tǒng)吸入真空管路中的機(jī)率，并因此可以降低出現(xiàn)預(yù)涂布板22吸附不良的機(jī)率。此外，由于設(shè)置第一擋板23可以防止所述刮刀將光刻膠廢液從預(yù)涂布板22的第二端甩出，因此，第一擋板23還可以避免光刻膠廢液污染周?chē)h(huán)境。為了保證噴頭10均勻地噴出光刻膠，優(yōu)選地看，可以利用兩塊高精密的鋼片拼合形成噴頭10，如圖4所示，這樣，在噴涂時(shí)，光刻膠從兩片鋼片之間的縫隙中噴出。從圖4中可以看出兩片鋼片以及兩片鋼片之間的縫隙。如圖5和圖7所示，預(yù)涂布板22的兩側(cè)可以分別延伸超過(guò)安裝平臺(tái)21的兩個(gè)側(cè)面。在本實(shí)用新型中，可以在預(yù)涂布板22的至少一側(cè)設(shè)置有向下延伸的第二擋板。應(yīng)當(dāng)理解的是，預(yù)涂布板22的兩側(cè)是指該預(yù)涂布板22寬度方向的兩側(cè)(即，圖5中的上下方向)，此處所述的預(yù)涂布板22的·寬度方向與噴頭10的移動(dòng)方向一致。如圖7中所示，預(yù)涂布板22的兩側(cè)中靠近廢液池30的一側(cè)延伸至廢液池30的上方，預(yù)涂布板22的兩側(cè)中的一另側(cè)設(shè)置有向下延伸的第二擋板24。預(yù)涂布板22設(shè)置為上述結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)在于:其一，第二擋板24可以引導(dǎo)由所述刮刀刮除的光刻膠廢液向下流動(dòng)，防止所述光刻膠廢液進(jìn)入預(yù)涂布板22和安裝平臺(tái)21之間的間隙，從而可以防止光刻膠廢液被抽真空系統(tǒng)吸入真空管路中；其二，預(yù)涂布板22的另一側(cè)延伸至廢液池30的上方，可以確保光刻膠廢液全部流入廢液池30中，而非流入廢液池30和安裝平臺(tái)21之間的間隙。當(dāng)然，可以在預(yù)涂布板22的兩側(cè)都設(shè)置第二擋板，這樣可以防止光刻膠廢液從預(yù)涂布板22任意一側(cè)的邊緣流向預(yù)涂布板22的底面，從而防止光刻膠廢液被抽吸進(jìn)入真空
管道中。在本實(shí)用新型中，對(duì)廢液池30的具體結(jié)構(gòu)沒(méi)有特殊的要求，只要能夠儲(chǔ)存由所述刮刀從預(yù)涂布板22上刮除的光刻膠廢液并將該光刻膠廢液排出即可。例如，本實(shí)用新型所提供的涂布系統(tǒng)可以利用圖2中所示的廢液池30。優(yōu)選地，廢液池30可以設(shè)置為該廢液池30的深度從一端至另一端逐漸增加(即，廢液池30的底表面是傾斜的)，廢液池30的較深的一端的側(cè)壁底部設(shè)置有與廢液池30外部相通的排液孔31 (如圖6所示)，這樣可以防止光刻膠廢液在廢液池30中沉積凝固。所述刮刀將光刻膠廢液從預(yù)涂布板22上刮除進(jìn)入廢液池30之后，所述光刻膠廢液可沿廢液池30的底表面從較淺的一端流動(dòng)至該廢液池30較深的一端，并通過(guò)排液孔31流出廢液池30。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所述的廢液池30的“一端、另一端”分別位于廢液池30長(zhǎng)度方向上的兩端(即，圖3和圖5中的左右方向，同時(shí)也是廢液池30長(zhǎng)度方向)，此處所述的廢液池30的長(zhǎng)度方向垂直于噴頭10的移動(dòng)方向。雖然圖5和圖6中僅示出了設(shè)置一個(gè)排液孔31的情況，但是應(yīng)當(dāng)理解的是，為了將廢液池30中的光刻膠廢液徹底排出，優(yōu)選地，可以在廢液池30上設(shè)置多個(gè)排液孔31。進(jìn)一步優(yōu)選地，多個(gè)排液孔31沿廢液池30的寬度方向(即圖5中的上下方向)均勻分布。此處，廢液池30的寬度方向與噴頭10的移動(dòng)方向一致，垂直于刮刀的移動(dòng)方向。為了防止所述光刻膠廢液在廢液池30中凝固，優(yōu)選地，如圖5和圖6所示，所述涂布系統(tǒng)還可以包括能夠提供清洗液的清洗裝置40，此時(shí)，可以在廢液池30的較淺的一端的側(cè)壁上設(shè)置進(jìn)液孔32，所述清洗液通過(guò)進(jìn)液孔32進(jìn)入所述廢液池30中。為了節(jié)約清洗液，可以定時(shí)對(duì)廢液池30進(jìn)行清洗。例如，可以在進(jìn)行完一次噴涂工序后再對(duì)廢液池30進(jìn)行清洗。為了便于控制，優(yōu)選地，清洗裝置40可以包括與進(jìn)液孔32連通的清洗液供應(yīng)管41，清洗液供應(yīng)管41上設(shè)置有第一開(kāi)關(guān)閥42?？梢酝ㄟ^(guò)控制第一開(kāi)關(guān)閥42的開(kāi)關(guān)來(lái)控制清洗廢液池30的時(shí)間間隔。可以人工地控制第一開(kāi)關(guān)閥42的開(kāi)關(guān)，也可以通過(guò)自動(dòng)控制裝置來(lái)控制第一開(kāi)關(guān)閥42的開(kāi)關(guān)，具體在下文中進(jìn)行介紹。雖然圖5和圖6中 僅示出了設(shè)置一個(gè)進(jìn)液孔32的情況，但是應(yīng)當(dāng)理解的是，為了使清洗液均勻地覆蓋廢液池30的底表面，優(yōu)選地，可以設(shè)置多個(gè)進(jìn)液孔32。進(jìn)一步優(yōu)選地，多個(gè)進(jìn)液孔32沿廢液池30的寬度方向均勻分布?？梢栽诿總€(gè)進(jìn)液孔32上都設(shè)置一根清洗液供應(yīng)管41，并且在每根清洗液供應(yīng)管41上都設(shè)置一個(gè)第一開(kāi)關(guān)閥42。為了簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)，優(yōu)選地，清洗液供應(yīng)管41可以包括進(jìn)液管和與該進(jìn)液管連通的多個(gè)分配管(未示出)，所述分配管與所述進(jìn)液孔一一對(duì)應(yīng)，且第一開(kāi)關(guān)閥42連接在所述進(jìn)液管和所述分配管之間。清洗液通過(guò)所述進(jìn)液管流入，并通過(guò)第一開(kāi)關(guān)閥42分配給多個(gè)分配管，然后由該多個(gè)分配管進(jìn)入廢液池30中。通常，操作第一開(kāi)關(guān)閥42都需要較大的力。為了便于控制第一開(kāi)關(guān)閥42，優(yōu)選地，清洗裝置40還可以包括第二開(kāi)關(guān)閥43和控制空氣供應(yīng)管44，此時(shí)，第一開(kāi)關(guān)閥42為氣動(dòng)閥，第一開(kāi)關(guān)閥42的控制口與控制空氣供應(yīng)管44相連，第二開(kāi)關(guān)閥43設(shè)置在控制空氣供應(yīng)管44上，以控制空氣供應(yīng)管44的通斷。當(dāng)?shù)诙_(kāi)關(guān)閥43打開(kāi)時(shí)，控制空氣供應(yīng)管44中的控制空氣流向第一開(kāi)關(guān)閥42的控制口，第一開(kāi)關(guān)閥42被控制空氣打開(kāi)，從而允許清洗液流入廢液池30中。當(dāng)?shù)诙_(kāi)關(guān)閥43關(guān)閉時(shí)，控制空氣供應(yīng)管44被切斷，第一開(kāi)關(guān)閥42也關(guān)閉，清洗液不會(huì)流入廢液池30中。為了控制清洗廢液池30的間隔時(shí)間和持續(xù)時(shí)間，優(yōu)選地，所述涂布系統(tǒng)還可以包括控制器45，第二開(kāi)關(guān)閥43為電磁閥，控制器45與所述第二開(kāi)關(guān)閥43電連接。控制器45間隔預(yù)定時(shí)間后控制第二開(kāi)關(guān)閥43打開(kāi)，從而允許第一開(kāi)關(guān)閥42打開(kāi)，并允許清洗液進(jìn)入廢液池30中。優(yōu)選地，控制器45可以為PLC控制器。[0057]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說(shuō)明本實(shí)用新型的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本實(shí)用新型并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實(shí)用新型的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍 。
權(quán)利要求1.一種涂布系統(tǒng)，所述涂布系統(tǒng)包括噴頭和依次排列的預(yù)涂布平臺(tái)、廢液池和涂布平臺(tái)，所述噴頭能夠從所述預(yù)涂布平臺(tái)的上方移動(dòng)至所述涂布平臺(tái)的上方，所述預(yù)涂布平臺(tái)包括安裝平臺(tái)、設(shè)置在所述安裝平臺(tái)上表面上的預(yù)涂布板和能夠從所述預(yù)涂布板的第一端移動(dòng)至第二端的刮刀，其特征在于，所述預(yù)涂布板的第二端設(shè)置有向上延伸的第一擋板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，所述預(yù)涂布板的兩側(cè)分別延伸超過(guò)所述安裝平臺(tái)的兩個(gè)側(cè)面，且所述預(yù)涂布板的兩側(cè)中的至少一側(cè)設(shè)置有向下延伸的第二擋板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，所述預(yù)涂布板的兩側(cè)中靠近所述廢液池的一側(cè)延伸至所述廢液池的上方，所述預(yù)涂布板的兩側(cè)中的另一側(cè)設(shè)置有所述第二擋板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，所述廢液池的深度從一端至另一端逐漸增加，所述廢液池的較深的一端的側(cè)壁底部設(shè)置有與所述廢液池外部相通的排液孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，所述排液孔為多個(gè)，多個(gè)所述排液孔沿所述廢液池的寬度方向均勻分布。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，所述涂布系統(tǒng)還包括能夠提供清洗液的清洗裝置，所述廢液池的較淺的一端的側(cè)壁上設(shè)置有進(jìn)液孔，所述清洗液通過(guò)所述進(jìn)液孔進(jìn)入所述廢液池中。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，所述清洗裝置包括與所述進(jìn)液孔連通的清洗液供應(yīng)管，所述清洗液供應(yīng)管上設(shè)置有第一開(kāi)關(guān)閥。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，所述進(jìn)液孔為多個(gè)，多個(gè)所述進(jìn)液孔沿所述廢液池的寬度方向均勻分布。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，所述清洗液供應(yīng)管包括進(jìn)液管和與該進(jìn)液管連通的多個(gè)分配管，所述分配管與所述進(jìn)液孔一一對(duì)應(yīng)，且所述第一開(kāi)關(guān)閥連接在所述進(jìn)液管和所述分配管之間。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的涂布系統(tǒng)，其特征在于，所述清洗裝置還包括第二開(kāi)關(guān)閥和控制空氣供應(yīng)管，所述第一開(kāi)關(guān)閥為氣動(dòng)閥，所述第一開(kāi)關(guān)閥的控制口與所述控制空氣供應(yīng)管相連，所述第二開(kāi)關(guān)閥設(shè)置在所述控制空氣供應(yīng)管上，以控制所述空氣供應(yīng)管的通斷。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供一種涂布系統(tǒng)，所述涂布系統(tǒng)包括噴頭和依次排列的預(yù)涂布平臺(tái)、廢液池和涂布平臺(tái)，所述噴頭能夠從所述預(yù)涂布平臺(tái)的上方移動(dòng)至所述涂布平臺(tái)的上方，所述預(yù)涂布平臺(tái)包括安裝平臺(tái)、設(shè)置在所述安裝平臺(tái)上表面上的預(yù)涂布板和能夠從所述預(yù)涂布板的一端移動(dòng)至另一端的刮刀，其中，所述預(yù)涂布板的另一端設(shè)置有向上延伸的第一擋板。通過(guò)在預(yù)涂布板上設(shè)置第一擋板可以防止利用刮刀刮出預(yù)涂布板上的光刻膠時(shí)光刻膠殘留在預(yù)涂布板的邊緣上，從而可以防止光刻膠被吸入抽真空系統(tǒng)的真空管路中。
文檔編號(hào)B05C5/00GK203140244SQ20132013586
公開(kāi)日2013年8月21日 申請(qǐng)日期2013年3月22日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月22日
發(fā)明者余忠興, 徐先華, 尹冬冬, 李志強(qiáng), 王志強(qiáng), 鄭翔, 王文須 申請(qǐng)人:合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司