專利名稱：涂布裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將涂布液涂布在基板上的涂布裝置。
技術(shù)背景以往，在制造液晶顯示面板時(shí)，采用將密封液晶用的糊膏(paste) 涂布在玻璃基板上的糊膏涂布裝置。在這樣的糊膏涂布裝置中，將玻璃 基板搭載在操作臺(tái)上，通過(guò)將填充于糊膏筒中的糊膏從噴嘴中排出，從 而將該糊膏涂布在玻璃基板上。在涂布糊膏時(shí)，需要將糊膏適當(dāng)?shù)赝坎?在玻璃基板上。 一般來(lái)說(shuō)，糊膏具有其粘度隨時(shí)間增長(zhǎng)而增大的特性(搖 變性)。因此，即使是通過(guò)保證噴嘴前端與玻璃基板的距離固定等使糊膏 涂布裝置的涂布條件相同，涂布在玻璃基板上的糊膏的量還是會(huì)出現(xiàn)差升°因而，例如專利文獻(xiàn)1中記載的糊膏涂布裝置通過(guò)光學(xué)距離計(jì)來(lái)測(cè) 量其到涂布于基板上的糊膏的距離，從而測(cè)定該糊膏的截面形狀，以此 能夠確認(rèn)該截面形狀是否適當(dāng)，進(jìn)而能夠確認(rèn)糊膏的量是否適當(dāng)。專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)平7-275770號(hào)公報(bào)然而，在上述現(xiàn)有的糊膏涂布裝置中，在涂布糊膏時(shí)通過(guò)伺服控制 使操作臺(tái)和噴頭移動(dòng)的情況下，會(huì)產(chǎn)生如下的問(wèn)題。即，就伺服控制來(lái) 說(shuō)，根據(jù)用于使操作臺(tái)和噴頭移動(dòng)的伺服電機(jī)的旋轉(zhuǎn)量來(lái)檢測(cè)所述操作 臺(tái)和噴頭的位置，進(jìn)而根據(jù)該位置來(lái)控制伺服電機(jī)的驅(qū)動(dòng)，從而使操作 臺(tái)和噴頭對(duì)齊即所謂反饋控制。在這樣的伺服控制下，操作臺(tái)和噴頭在預(yù)定位置保持停止?fàn)顟B(tài)，在 使操作臺(tái)和噴頭停止在預(yù)定位置以使光學(xué)距離計(jì)能夠測(cè)定距離時(shí)，伺服 電機(jī)交替重復(fù)正轉(zhuǎn)和反轉(zhuǎn)地進(jìn)行振動(dòng)，產(chǎn)生被稱作脈動(dòng)(panting)的現(xiàn) 象，因而有時(shí)操作臺(tái)和噴頭會(huì)產(chǎn)生微小的振動(dòng)。因?yàn)楹嗟慕孛娣浅Ｐ。虼思词故沁@樣微小的振動(dòng)，也會(huì)妨礙到光學(xué)距離計(jì)進(jìn)行準(zhǔn)確的距離測(cè) 定。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述情況而作出的，提供一種能夠適當(dāng)?shù)貙?duì)涂布于基 板上的涂布液的截面面積和截面形狀進(jìn)行測(cè)定的涂布裝置。本發(fā)明所述的將涂布液涂布在基板上的涂布裝置包括操作臺(tái)，其 用于搭載所述基板；噴頭，其具有朝向所述基板排出所述涂布液的噴嘴; 測(cè)定裝置，其對(duì)從所述噴嘴中排出并涂布在所述基板上的涂布液的截面面積或者截面形狀進(jìn)行測(cè)定；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其通過(guò)伺服控制使所述操作臺(tái) 和所述噴頭中的至少任一方移動(dòng)；以及控制裝置，其在利用所述測(cè)定裝 置對(duì)所述涂布液的截面面積或者截面形狀進(jìn)行測(cè)定時(shí)，使所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) 的伺服控制停止。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在測(cè)定被涂布在基板上的涂布液的截面面積或者截面 形狀的時(shí)刻，通過(guò)使用于移動(dòng)操作臺(tái)和噴頭的伺服控制停止，從而在想 要將操作臺(tái)和噴頭停留在預(yù)定位置的情況下，不會(huì)伴隨著用于對(duì)位的伺 服控制而產(chǎn)生微小振動(dòng)，從而能夠適當(dāng)?shù)貙?duì)涂布液的截面面積或者截面 形狀進(jìn)行測(cè)定。此外，本發(fā)明所述的涂布裝置的特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有伺服 電機(jī)，并且利用供給來(lái)的電力驅(qū)動(dòng)所述伺服電機(jī)進(jìn)行伺服控制，所述控 制裝置在利用所述測(cè)定裝置對(duì)所述涂布液的截面面積或者截面形狀進(jìn)行 測(cè)定時(shí)，停止對(duì)所述伺服電機(jī)供給電力。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過(guò)停止對(duì)伺服電機(jī)供給電力，從而能夠停止伺服控制。此外，本發(fā)明所述的涂布裝置的特征在于，所述涂布裝置具有驅(qū)動(dòng) 軸，所述驅(qū)動(dòng)軸安裝在所述操作臺(tái)和所述噴頭的至少任一方上，并且所 述伺服電機(jī)使所述驅(qū)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)。此外，本發(fā)明所述的涂布裝置的特征在于，所述控制裝置對(duì)所述驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，停止對(duì)所述操作臺(tái)和所述噴頭中的預(yù)先確定的一方進(jìn)行伺服控制，所述預(yù)先確定的一方是所述操作臺(tái)和所述噴頭中的會(huì)因振 動(dòng)而使所述涂布液的截面面積或者截面形狀的測(cè)定產(chǎn)生誤差的一方。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，僅停止對(duì)操作臺(tái)和噴頭中的因振動(dòng)而使涂布液的截面 面積或者截面形狀的測(cè)定產(chǎn)生誤差的部分的伺服控制，從而能夠?qū)⒃撍?服控制的停止限制在必要的最小限度內(nèi)。根據(jù)本發(fā)明，在測(cè)定被涂布在基板上的涂布液的截面面積或者截面 形狀時(shí)，在想要使操作臺(tái)和噴頭停留在預(yù)定位置的情況下，不會(huì)伴隨著 對(duì)位用的伺服控制而產(chǎn)生微小振動(dòng)，能夠適當(dāng)?shù)貙?duì)涂布液的截面面積或 者截面形狀進(jìn)行測(cè)定。由此，能夠適當(dāng)?shù)嘏卸ㄍ坎家旱耐坎紶顟B(tài)，從而 能夠提高涂布液的涂布質(zhì)量的可靠性。


圖1是應(yīng)用了本發(fā)明的實(shí)施方式所述的涂布裝置的糊膏涂布系統(tǒng)的 俯視圖。圖2是涂布單元的外觀立體圖，以及表示用于說(shuō)明涂布單元內(nèi)的各部分的移動(dòng)方向的坐標(biāo)空間的圖。圖3是示出涂布噴嘴部的結(jié)構(gòu)的圖。圖4是截面面積傳感器測(cè)定其到涂布于玻璃基板上的糊膏的距離的 一個(gè)例子的立體圖。圖5是截面面積傳感器測(cè)定其到涂布于玻璃基板上的糊膏的距離的 一個(gè)例子的側(cè)視圖。圖6是截面面積傳感器測(cè)定其到涂布于玻璃基板上的糊膏的距離的 一個(gè)例子的側(cè)視放大圖。圖7是示出與涂布單元的伺服控制相關(guān)的部分的結(jié)構(gòu)的圖。圖8是示出涂布單元進(jìn)行糊膏截面面積的測(cè)定時(shí)的動(dòng)作的流程圖。標(biāo)號(hào)說(shuō)明10:糊膏涂布系統(tǒng)；20-1、 20-2、 20-3、 20-4:涂布單元(涂布裝置);30:基板傳送機(jī)構(gòu)；32:上游端； 34:下游端； 40:搬送機(jī)械手； 50:玻璃基板； 60:糊膏；110-1、 110-2:噴頭； 111:箱體；112- 1、 112-2:涂布噴嘴部；113- 1、 113-2:激光傳感器；114- 1、 114-2:照相機(jī)； 115:立柱；116:基板操作臺(tái)；118: XY0移動(dòng)裝置；120-1、 120-2:截面面積傳感器；121:光出入口；140:糊膏筒；142:噴嘴；143:排出口；202、 206、 210:伺服電機(jī)；203、 207、 211:編碼器；204、 208、 212:驅(qū)動(dòng)軸； 220:系統(tǒng)控制器；222:伺服驅(qū)動(dòng)器； 222a:伺服控制部；222b:伺服電源電路部。
具體實(shí)施方式
下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。圖1是應(yīng)用了本發(fā) 明的實(shí)施方式所述的涂布裝置的糊膏涂布系統(tǒng)的俯視圖。圖1所示的糊 膏涂布系統(tǒng)10用于在制造液晶顯示面板時(shí)將作為涂布液的密封液晶用糊膏呈環(huán)狀地涂布在玻璃基板50上。糊膏涂布系統(tǒng)10由構(gòu)成本發(fā)明的實(shí) 施方式所述的涂布裝置的涂布單元20-l、 20-2、 20-3、 20-4、基板傳送機(jī) 構(gòu)30、以及搬送機(jī)械手40構(gòu)成。作為糊膏涂布對(duì)象的玻璃基板50配置于基板傳送機(jī)構(gòu)30的上游端 32。搬送機(jī)械手40能夠沿基板傳送機(jī)構(gòu)30的延伸方向(圖1中的方向A) 移動(dòng)，并且能夠沿圖1中的方向B旋轉(zhuǎn)。該搬送機(jī)械手40用于搬送被配 置于基板傳送機(jī)構(gòu)30的上游端32的玻璃基板50，并隨時(shí)將玻璃基板50 配置到涂布單元20-l、 20-2、 20-3、 20-4上。涂布單元20-l、 20-2、 20-3、 20-4向被配置的玻璃基板50的表面涂 布糊膏。涂布糊膏比利用搬送機(jī)械手40搬送玻璃基板50等更耗時(shí)間， 因此通過(guò)并行驅(qū)動(dòng)所述涂布單元20-l、 20-2、 20-3、 20-4能夠縮短時(shí)間， 并提高生產(chǎn)效率。在將糊膏涂布到玻璃基板50上后，搬送機(jī)械手40隨時(shí)將由涂布單 元20-l、 20-2、 20-3、 20-4涂布了糊膏后的玻璃基板50取出進(jìn)行搬送， 并將其配置到基板傳送機(jī)構(gòu)30的下游端34。通過(guò)這樣一連串的動(dòng)作，從 而將糊膏涂布在玻璃基板50表面上。圖2 (a)為涂布單元20-1、 20-2、 20-3、 20-4 (以下，將所述涂布 單元20-l、 20-2、 20-3、 20-4適當(dāng)?shù)亟y(tǒng)稱作"涂布單元20")的外觀立體 圖。此外，圖2 (b)為用于說(shuō)明涂布單元20內(nèi)的各部件的移動(dòng)方向的坐 標(biāo)空間。圖2 (a)所示的涂布單元20由箱體111、涂布噴嘴部112-1、 112-2、 激光傳感器113-1、 113-2、照相機(jī)114-1、 114-2、立柱115、基板操作臺(tái) 116、 XYe移動(dòng)裝置118、和截面面積傳感器120-1、 120-2構(gòu)成。在箱體111上安裝有立柱115。涂布噴嘴部112-1、激光傳感器113-1、 照相機(jī)114-1以及截面面積傳感器120-1 —體地構(gòu)成噴頭110-1，該噴頭 110-l被安裝成能夠相對(duì)于立柱115沿圖2 (b)所示的X方向以及Z方 向移動(dòng)。同樣，涂布噴嘴部112-2、激光傳感器113-2、照相機(jī)114-2以 及截面面積傳感器120-2 —體地構(gòu)成噴頭110-2，該噴頭110-2被安裝成 能夠相對(duì)于立柱115沿圖2 (b)所示的X方向以及Z方向移動(dòng)。通過(guò)像這樣設(shè)置多個(gè)噴頭110-1、 110-2，將玻璃基板50分成多個(gè)子基板，在分別對(duì)各子基板涂布糊膏時(shí)，能夠通過(guò)使噴頭110-1、 110-2 (以下，將噴頭110-1、 110-2適當(dāng)?shù)亟y(tǒng)稱作"噴頭110")同時(shí)并行地工作來(lái)縮短時(shí)間，從而能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)效率的提高。
基板操作臺(tái)116的下表面被安裝在XY0移動(dòng)裝置118的上表面上，使得其能夠沿圖2 (b)的X方向和Y方向移動(dòng)，且能夠沿e方向進(jìn)行微小旋轉(zhuǎn)。在該基板操作臺(tái)116的上表面形成有未圖示的吸附孔。通過(guò)圖1所示的搬送機(jī)械手40搬送來(lái)的玻璃基板50被真空吸附于基板操作臺(tái)116的上表面。
XYe移動(dòng)裝置118的上表面與基板操作臺(tái)116的下表面連接。并且，
xYe移動(dòng)裝置118的下表面安裝在箱體iii的上表面上，使得XYe移動(dòng)
裝置118能夠沿圖2 (b)的X方向和Y方向移動(dòng)，且能夠沿e方向進(jìn)行
微小旋轉(zhuǎn)。
在進(jìn)行糊膏涂布之前，照相機(jī)114-1、 114-2分別對(duì)玻璃基板50的表面進(jìn)行拍照，檢測(cè)出形成于該表面上的用于定位的標(biāo)記(定位標(biāo)記)。通過(guò)照相機(jī)114-1、 114-2的拍照檢測(cè)出定位標(biāo)記后，確定出玻璃基板50的表面上待涂布糊膏的位置相對(duì)于該定位標(biāo)記的相對(duì)位置。然后，噴頭110-1、 110-2分別在伺服控制下，根據(jù)玻璃基板50的子基板的排列間距，沿圖2 (b)所示的X方向分別獨(dú)立地進(jìn)行適當(dāng)移動(dòng)。對(duì)于噴頭110移動(dòng)時(shí)的伺服控制在后面進(jìn)行詳細(xì)敘述。
確定了待涂布糊膏的位置后，涂布噴嘴部112-1、 112-2從噴嘴的前端朝向配置于其正下方的玻璃基板50的表面排出糊膏。
圖3是示出涂布噴嘴部112-1的結(jié)構(gòu)的圖。圖3所示的涂布噴嘴部112-1由糊膏筒140和噴嘴142構(gòu)成。另外，涂布噴嘴部112-2也是同樣的結(jié)構(gòu)。糊膏筒140為填充糊膏的容器。填充于糊膏筒140內(nèi)的糊膏在該糊膏筒140內(nèi)的氣壓增大時(shí)被擠向噴嘴142。噴嘴142以能夠裝卸的方式配置于糊膏筒140下端，并且噴嘴142被配置成其前端的排出口 143與基板操作臺(tái)116上的玻璃基板50對(duì)置。該噴嘴142將從糊膏筒140中被擠出的糊膏從其前端的排出口 143朝向玻璃基板50排出。此外，涂布噴嘴部112-1沿圖2 (b)的Z方向上下移動(dòng)。同樣地，涂布噴嘴部112-2也沿圖2 (b)的Z方向上下移動(dòng)。
在涂布糊膏時(shí)，XY6移動(dòng)裝置118在伺服控制下，沿圖2 (b)的X方向和Y方向適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行移動(dòng)，并且沿e方向適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行微小旋轉(zhuǎn)。由此，安裝于XYe移動(dòng)裝置118上表面的基板操作臺(tái)116移動(dòng)，進(jìn)而吸附在基板操作臺(tái)116上的玻璃基板50也與待涂布成的糊膏涂布圖案相應(yīng)地進(jìn)行移動(dòng)。對(duì)于基板操作臺(tái)116移動(dòng)時(shí)的伺服控制在后面詳細(xì)敘述。
激光傳感器113-1用于測(cè)定其到玻璃基板50的距離，并且根據(jù)該測(cè)定值能夠檢測(cè)出噴嘴142的排出口 143與玻璃基板50表面之間的距離。同樣地，激光傳感器113-2用于測(cè)定其到玻璃基板50的距離，并且根據(jù)該測(cè)定值能夠檢測(cè)出噴嘴142的排出口 143與玻璃基板50表面之間的距離。在檢測(cè)值不在預(yù)先設(shè)定的預(yù)定范圍內(nèi)的情況下，所涂布的糊膏的截面面積不是預(yù)期的截面面積的可能性較高。通過(guò)使涂布噴嘴部112-1、112-2沿圖2 (b)的Z方向移動(dòng)，從而能夠?qū)娮?42的前端與玻璃基板50之間的距離控制在預(yù)定范圍內(nèi)。
截面面積傳感器120-1構(gòu)成測(cè)定裝置的一部分，用于測(cè)定其到涂布于玻璃基板50上的糊膏的距離，根據(jù)該測(cè)定值能夠檢測(cè)出糊膏的截面面積。同樣地，截面面積傳感器120-2構(gòu)成測(cè)定裝置的一部分，用于測(cè)定其到涂布于玻璃基板50上的糊膏的距離，根據(jù)該測(cè)定值能夠檢測(cè)出糊膏的截面面積。
圖4是截面面積傳感器120-1測(cè)定其到涂布于玻璃基板50上的糊膏的距離的一個(gè)例子的立體圖，圖5為側(cè)視圖，圖6為側(cè)視放大圖。如所述圖4至圖6所示，截面面積傳感器120-1在被涂布于玻璃基板50上的糊膏60位于其正下方的時(shí)刻，從光出入口 121照射激光。此時(shí)，如圖6所示，截面面積傳感器120-1從光出入口 121向糊膏60表面的多個(gè)部位照射激光，并且朝向該糊膏60周圍的玻璃基板50的上表面照射激光。
進(jìn)而，截面面積傳感器120-1通過(guò)光出入口 121向玻璃基板50上的糊膏60照射激光，被糊膏60反射來(lái)的光再次經(jīng)由光出入口 121被檢測(cè)出來(lái)，該檢測(cè)值輸出到后述的系統(tǒng)控制器220。該截面面積傳感器120-1能夠釆用年一工乂7公司制造的LT-9000系列或者LJ-G系列。截面面積 傳感器120-2也是同樣的。所述截面面積傳感器120-1、 120-2以及系統(tǒng) 控制器220構(gòu)成測(cè)定裝置。
接著，對(duì)噴頭110和基板操作臺(tái)116移動(dòng)時(shí)的伺服控制進(jìn)行詳細(xì)說(shuō) 明。圖7為示出與涂布單元20的伺服控制相關(guān)的部分的結(jié)構(gòu)的圖。另外， 以下對(duì)包括噴頭110-1在內(nèi)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明，而包括噴頭110-2在內(nèi)的結(jié) 構(gòu)也是同樣的。
如圖7所示，涂布單元20包括構(gòu)成驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的伺服電機(jī)202、編碼 器203、驅(qū)動(dòng)軸204、伺服電機(jī)206、編碼器207、驅(qū)動(dòng)軸208、伺服電機(jī) 210、編碼器211、驅(qū)動(dòng)軸212、伺服驅(qū)動(dòng)器222、以及對(duì)應(yīng)于控制裝置和 測(cè)定裝置的系統(tǒng)控制器220。伺服驅(qū)動(dòng)器222具有伺服控制部222a和伺 服電源電路部222b，來(lái)自系統(tǒng)控制器220的位置指令信號(hào)被發(fā)送到伺服 控制部222a。接收到位置指令信號(hào)的伺服控制部222a基于上述位置指令 信號(hào)，從伺服電源電路部222b向各伺服電機(jī)202、 206、 210供給用于實(shí) 現(xiàn)指令的電力。
涂布單元20通過(guò)作業(yè)者接通未圖示的主電源來(lái)從外部電源向各部 分(系統(tǒng)控制器220、伺服驅(qū)動(dòng)器222等)供給電力。向伺服驅(qū)動(dòng)器222 供給電力后，伺服控制部222a開(kāi)始對(duì)各伺服電機(jī)202、 206、 210進(jìn)行伺 服控制。具體來(lái)說(shuō)，沒(méi)有來(lái)自系統(tǒng)控制器220的位置指令信號(hào)時(shí)，伺服 控制部222a基于來(lái)自各編碼器203、 207、 211的輸出信號(hào)控制各伺服電 機(jī)202、 206、 210維持當(dāng)前位置，當(dāng)系統(tǒng)控制器220發(fā)出位置指令信號(hào) 時(shí)，伺服控制部222a讀取來(lái)自編碼器203、 207、 211的輸出信號(hào)，并且 控制對(duì)各伺服電機(jī)202、 206、 210的驅(qū)動(dòng)以使它們按照指令位置移動(dòng)。 在該伺服控制中，伺服控制部222a向伺服電源電路部222b輸出預(yù)定電 力的供給指令。此外，在停止伺服控制時(shí)，系統(tǒng)控制器220停止從伺服 電源電路部222b向伺服電機(jī)202、 206、 210供給電力。所述操作例如可 以通過(guò)如下方式進(jìn)行在外部電源和伺服電源電路部222b之間設(shè)置未圖 示的切斷開(kāi)關(guān)，系統(tǒng)控制器220控制該切斷開(kāi)關(guān)，從而切斷從外部電源 向伺服電源電路部222b供給電力；或者，在伺服控制部222a中接入用于將該伺服控制部222a與伺服電源電路部222b之間的通信切斷的切斷 電路，并且伺服控制部222a基于系統(tǒng)控制器220的指令對(duì)該切斷電路進(jìn) 行控制，從而切斷從伺服電源電路部222b向各伺服電機(jī)202、 206、 210
供給電力。
伺服電機(jī)202和驅(qū)動(dòng)軸204使基板操作臺(tái)116沿圖2 (b)所示的Y 方向移動(dòng)。根據(jù)來(lái)自伺服驅(qū)動(dòng)器222的指令驅(qū)動(dòng)伺服電機(jī)202后，安裝 在該伺服電機(jī)202上的驅(qū)動(dòng)軸204轉(zhuǎn)動(dòng)。并且，與驅(qū)動(dòng)軸204連接的基 板操作臺(tái)116沿圖2 (b)所示的Y方向滑移。
伺服電機(jī)206和驅(qū)動(dòng)軸208使基板操作臺(tái)116沿圖2 (b)所示的X 方向移動(dòng)。根據(jù)來(lái)自伺服驅(qū)動(dòng)器222的指令驅(qū)動(dòng)伺服電機(jī)206后，安裝 在該伺服電機(jī)206上的驅(qū)動(dòng)軸208轉(zhuǎn)動(dòng)。進(jìn)而，與驅(qū)動(dòng)軸208連接的基 板操作臺(tái)116沿圖2 (b)所示的X方向滑移。
伺服電機(jī)210和驅(qū)動(dòng)軸212使包括涂布噴嘴部112-1和截面面積傳 感器120-1在內(nèi)的噴頭110-1沿圖2 (b)所示的X方向移動(dòng)。通過(guò)來(lái)自 伺服驅(qū)動(dòng)器222的指令驅(qū)動(dòng)伺服電機(jī)210后，安裝在該伺服電機(jī)210上 的驅(qū)動(dòng)軸212轉(zhuǎn)動(dòng)。進(jìn)而，安裝在驅(qū)動(dòng)軸212上的噴頭110-1沿圖2 (b) 所示的X方向滑移。
編碼器203對(duì)伺服電機(jī)202的旋轉(zhuǎn)量進(jìn)行檢測(cè)并將其輸出到伺服驅(qū) 動(dòng)器222。同樣地，編碼器207對(duì)伺服電機(jī)206的旋轉(zhuǎn)量進(jìn)行檢測(cè)并將其 輸出到伺服驅(qū)動(dòng)器222，編碼器211對(duì)伺服電機(jī)210的旋轉(zhuǎn)量進(jìn)行檢測(cè)并 將其輸出到伺服驅(qū)動(dòng)器222。
伺服驅(qū)動(dòng)器222基于來(lái)自編碼器203的輸出值和來(lái)自編碼器207的 輸出值來(lái)計(jì)算基板操作臺(tái)116的X方向位置和Y方向位置。進(jìn)而，伺服 驅(qū)動(dòng)器222基于計(jì)算出的各個(gè)位置來(lái)控制伺服電機(jī)202、 206以對(duì)基板操 作臺(tái)116進(jìn)行位置調(diào)節(jié)。例如，當(dāng)伺服電機(jī)202至此被正轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，而基 板操作臺(tái)116超過(guò)了系統(tǒng)控制器220所指定的指令位置的情況下，控制 伺服電機(jī)202使其反轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。
同樣地，伺服驅(qū)動(dòng)器222輸入了來(lái)自編碼器211的輸出值后，基于 該輸出值來(lái)計(jì)算噴頭110-1內(nèi)的涂布噴嘴部112-1的噴嘴142的排出口143的位置和截面面積傳感器120-1的光出入口 121的位置。進(jìn)而，伺服 驅(qū)動(dòng)器222基于計(jì)算出的位置來(lái)控制伺服電機(jī)210以對(duì)吐出孔143和光 出入口 121進(jìn)行位置調(diào)節(jié)。
通過(guò)這種作為反饋控制式的伺服控制來(lái)調(diào)節(jié)基板操作臺(tái)116 、涂布噴 嘴部112-1的噴嘴142的排出口 143、以及截面面積傳感器120-1的光出 入口 121的位置。
接著，參照流程圖對(duì)利用涂布單元20測(cè)定糊膏60的截面面積時(shí)的 動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。圖8是示出利用涂布單元20測(cè)定糊膏60的截面面積時(shí) 的動(dòng)作的流程圖。另外，在下面對(duì)具有截面面積傳感器120-1的噴頭110-1 進(jìn)行說(shuō)明，而具有截面面積傳感器120-2的噴頭110-2也是同樣的。
通過(guò)作業(yè)者接通未圖示的主電源，開(kāi)始從外部電源向伺服驅(qū)動(dòng)器222 供給電力。伺服驅(qū)動(dòng)器222在外部電力開(kāi)始供給后，開(kāi)始伺服控制(S101)。
此后，基于系統(tǒng)控制器220的指令，照相機(jī)114-1對(duì)玻璃基板50表 面進(jìn)行拍照從而檢測(cè)出定位標(biāo)記后，確定出玻璃基板50的表面上待涂布 糊膏的位置距該定位標(biāo)記的相對(duì)位置。接著，噴頭110-1在伺服控制下移 動(dòng)直至噴嘴142的排出口 143正下方為玻璃基板50的待涂布糊膏60的 位置為止，然后排出糊膏60，通過(guò)基板操作臺(tái)116的X方向和Y方向的 移動(dòng)，從而按照預(yù)定圖案在玻璃基板50上涂布糊膏60 (S102)。
此后，系統(tǒng)控制器220判斷是否已到測(cè)定被涂布于玻璃基板50的糊 膏60的截面面積的時(shí)刻(S103)。例如，每當(dāng)對(duì)預(yù)定數(shù)量的玻璃基板50 涂布完糊膏60后，系統(tǒng)控制器220判定為已到測(cè)定糊膏60的截面面積 的時(shí)刻。
在未到測(cè)定糊膏60的截面面積的時(shí)刻的情況下，繼續(xù)S102的涂布 糊膏60的作業(yè)。
另一方面，在已到測(cè)定糊膏60的截面面積的時(shí)刻的情況下，系統(tǒng)控 制器220向伺服驅(qū)動(dòng)器222輸出位置指令信號(hào)，以使噴頭110-1和基板操 作臺(tái)116移動(dòng)直到截面面積傳感器120-1的光出入口 121的正下方為涂布 于玻璃基板50上的糊膏60的截面面積測(cè)定部位為止。接收到位置指令 信號(hào)的伺服驅(qū)動(dòng)器222控制伺服電機(jī)202、 206、 210使它們正轉(zhuǎn)或者反轉(zhuǎn)以實(shí)現(xiàn)指令。
通常，對(duì)于一個(gè)玻璃基板50，被涂布在該玻璃基板50上的糊膏60 的截面面積測(cè)定部位存在多個(gè)。因此，系統(tǒng)控制器220向伺服驅(qū)動(dòng)器222 輸出位置指令信號(hào)，以使截面面積傳感器120-1的光出入口 121的正下方 為被涂布在玻璃基板50上的糊膏60的截面面積測(cè)定部位中的未測(cè)定的 任一測(cè)定部位。
伺服驅(qū)動(dòng)器222根據(jù)該指令向伺服電機(jī)202、 206、 210供給預(yù)定電 力以使所述伺服電機(jī)202、 206、 210正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)。由此，通過(guò)伺服控制， 使伺服電機(jī)202、 206正轉(zhuǎn)或者反轉(zhuǎn)，以使基板操作臺(tái)116移動(dòng)，并且使 伺服電機(jī)210正轉(zhuǎn)或者反轉(zhuǎn)，以移動(dòng)噴頭110-1，從而截面面積傳感器 120-1的光出入口 121的正下方為被涂布在玻璃基板50上的糊膏60的截 面面積測(cè)定部位(S104)。
接著，系統(tǒng)控制器220控制上述切斷開(kāi)關(guān)或者切斷電路，以停止向 伺服電機(jī)202、 206、 210供給電力。由此，伺服控制(S105)停止。另 外，繼續(xù)對(duì)編碼器203、 207、 211供給電力。
此后，截面面積傳感器120-1從光出入口 121朝向糊膏60表面的多 個(gè)部位以及該糊膏60周圍的玻璃基板50的上表面照射激光，并通過(guò)光 出入口 121接收被反射來(lái)的激光。截面面積傳感器120-1將此時(shí)的距離測(cè) 定值輸出給系統(tǒng)控制器220。
系統(tǒng)控制器220基于所述距離計(jì)算值來(lái)測(cè)定被涂布于玻璃基板50上 的糊膏60的截面面積(S106)。其中，參照?qǐng)D6，系統(tǒng)控制器220將距離 計(jì)算值比周圍小的部分判定為糊膏60的部分，并將該距離計(jì)算值比周圍 小的部分的水平方向長(zhǎng)度作為糊膏60的寬度。此外，系統(tǒng)控制器220將
距離計(jì)算值比周圍小的部分中的最小距離計(jì)算值與周圍的距離計(jì)算值的 差作為糊膏60的高度。這樣，系統(tǒng)控制器220基于所述糊膏60的寬度 和高度能夠計(jì)算出該糊膏60的截面面積。
在本次測(cè)定部位測(cè)定完糊膏60的截面面積后，系統(tǒng)控制器220控制 上述切斷開(kāi)關(guān)或者切斷電路，再次開(kāi)始伺服控制(S107)。另外，即使是 在伺服控制停止時(shí)也處于繼續(xù)對(duì)編碼器203、 207、 211供給電力的狀態(tài)，因此編碼器203、 207、 211的輸出值被輸入到伺服驅(qū)動(dòng)器的伺服控制部 222a中，因此不會(huì)出現(xiàn)基板操作臺(tái)116或噴頭110-1的位置不明的情況。
接著，系統(tǒng)控制器220判斷被涂布在玻璃基板50上的糊膏60的截 面面積測(cè)定部位中是否還存在未測(cè)定的測(cè)定部位(S108)。存在未測(cè)定的 測(cè)定部位的情況下，進(jìn)行如下的S104的動(dòng)作使噴頭110-1和基板操作 臺(tái)116移動(dòng)直至截面面積傳感器120-1的光出入口 121的正下方為該未測(cè) 定的測(cè)定部位為止，然后重復(fù)S104至S107的動(dòng)作。
另一方面，在不存在未測(cè)定的測(cè)定部位的情況下，返回向玻璃基板 50涂布糊膏60的步驟(S102)，重復(fù)以后的動(dòng)作。另夕卜，系統(tǒng)控制器220 能夠根據(jù)上述S106中的糊膏60的截面面積的計(jì)算結(jié)果進(jìn)行控制。例如， 系統(tǒng)控制器220分別判斷在多個(gè)測(cè)定部位分別計(jì)算出的糊膏60的截面面 積是否在允許值內(nèi)，即使在有一個(gè)測(cè)定部位偏出允許值的情況下也判斷 為異常，并進(jìn)行如下控制此后中斷對(duì)玻璃基板50涂布糊膏60，或者向 作業(yè)者報(bào)告截面面積發(fā)生異常的信息。此外，系統(tǒng)控制器220對(duì)在多個(gè) 測(cè)定部位分別計(jì)算出的糊膏60的截面面積取平均，通過(guò)將該平均值與基 準(zhǔn)值進(jìn)行比較也能夠進(jìn)行控制，以增減被供給到糊膏筒140內(nèi)的氣體壓 力。該情況下，糊膏60的截面面積的平均值比基準(zhǔn)值大時(shí)，使供給到糊 膏筒140內(nèi)的氣體壓力下降，由此減少?gòu)膰娮?42排出的糊膏60的排出 量。此外，在糊膏60的截面面積的平均值比基準(zhǔn)值小時(shí)，使供給到糊膏 筒140內(nèi)的氣體壓力升高，由此增加從噴嘴142排出的糊膏60的排出量。
像這樣，在本實(shí)施方式中，涂布單元20在測(cè)定被涂布于玻璃基板 50上的糊膏60的截面面積的時(shí)刻，停止對(duì)用于使基板操作臺(tái)116和噴頭 110移動(dòng)的伺服電機(jī)202、 206、 210的伺服控制，即，通過(guò)停止對(duì)伺服電 機(jī)202、 206、 210供給電力，在想要使所述基板操作臺(tái)116和噴頭110 停留在預(yù)定位置的情況下，能夠防止伴隨著用于對(duì)位的伺服控制而在伺 服電機(jī)202、 206、 210上產(chǎn)生微小振動(dòng)。因此，通過(guò)截面面積傳感器120-1 測(cè)定到的從光出入口 121到糊膏60表面的距離以及從光出入口 121到糊 膏60周邊的玻璃基板50的上表面的距離不會(huì)因振動(dòng)而變化，能夠適當(dāng) 地對(duì)糊膏60的截面面積進(jìn)行測(cè)定。由此，能夠適當(dāng)?shù)貙?duì)涂布于玻璃基板50上的糊膏60的涂布狀態(tài)進(jìn)行判定，因此能夠提高糊膏60的涂布質(zhì)量， 從而能夠?qū)崿F(xiàn)制造出的液晶顯示面板的質(zhì)量的穩(wěn)定化。
另外，在上述實(shí)施方式中，對(duì)使噴頭110和基板操作臺(tái)116雙方都 在伺服控制下移動(dòng)的涂布單元20進(jìn)行了說(shuō)明，然而僅使其中任一方在伺 服控制下移動(dòng)的涂布單元也同樣能夠適用本發(fā)明。
此外，在上述實(shí)施方式中，在測(cè)定糊膏60的截面面積時(shí)，雖然停止 了用于使噴頭110和基板操作臺(tái)116雙方移動(dòng)的伺服控制，然而在因振 動(dòng)而使糊膏60的截面面積測(cè)定產(chǎn)生誤差的部分僅為噴頭110和基板操作 臺(tái)116中的任一方的情況下，也可以將使該一方移動(dòng)的伺服控制預(yù)先確 定為在測(cè)定糊膏60的截面面積時(shí)被停止的伺服控制并保存到存儲(chǔ)器等的 存儲(chǔ)部中，從而在測(cè)定糊膏60的截面面積時(shí)，僅停止使預(yù)先確定的那一 方移動(dòng)的伺服控制。
此外，在上述的實(shí)施方式中，系統(tǒng)控制器220測(cè)定了糊膏60的截面 面積，然而在測(cè)定糊膏的截面形狀的情況下，也同樣能夠停止伺服控制 進(jìn)行測(cè)定，從而適當(dāng)?shù)貙?duì)糊膏60的截面形狀進(jìn)行測(cè)定。另外，該情況下， 參照?qǐng)D6，系統(tǒng)控制器220將距離計(jì)算值比周圍小的部分判定為糊膏60 的部分，并將該距離計(jì)算值比周圍小的部分的水平方向長(zhǎng)度作為糊膏60 的寬度。此外，系統(tǒng)控制器220將距離計(jì)算值比周圍小的部分中的最小 距離計(jì)算值與周圍距離計(jì)算值的差作為糊膏60的高度。進(jìn)而，系統(tǒng)控制 器220基于所述糊膏60的寬度和高度能夠測(cè)定出該糊膏60的截面形狀。 此外，對(duì)在生產(chǎn)用玻璃基板50上以預(yù)定圖案涂布的糊膏60的截面面積 進(jìn)行了測(cè)定，然而并不限定于此，也可以對(duì)在檢查用基板上涂布的預(yù)定 圖案的截面面積進(jìn)行測(cè)定。此外，作為涂布液以密封液晶用的糊膏為例 進(jìn)行了說(shuō)明，然而并不限定于此，例如也可以是導(dǎo)電性糊膏或液晶等其 他涂布液。此外，作為噴頭以通過(guò)供給壓力氣體而從噴嘴中排出涂布液 的氣動(dòng)式噴頭為例進(jìn)行了說(shuō)明，然而并不限定于此，例如也可以采用噴 墨式噴頭或者螺旋式噴頭等機(jī)械式噴頭。此外，作為測(cè)定截面面積或者 截面形狀的測(cè)定裝置以截面面積傳感器120-1、 120-2為例進(jìn)行了說(shuō)明， 然而并不限定于此，也可以采用其他傳感器，例如用于檢測(cè)噴嘴142的排出口 143與玻璃基板50表面之間的距離的激光傳感器113-1、 113-2。 即，使激光傳感器在沿Y軸方向呈線狀地涂布的糊膏上以沿X軸方向橫 穿的方式移動(dòng)。并且，激光傳感器在該移動(dòng)中的輸出值不斷地被系統(tǒng)控 制器220等具有計(jì)算功能的裝置(計(jì)算裝置)讀取，例如根據(jù)該輸出值 的變化求得所涂布的糊膏的寬度和高度，并通過(guò)將寬度和高度的乘積乘 以系數(shù)，從而計(jì)算出糊膏的截面面積。另外，激光傳感器113-1、 113-2 在伺服電機(jī)210的驅(qū)動(dòng)下沿X軸方向移動(dòng)，因此在測(cè)定截面面積時(shí)，停 止對(duì)用于使基板操作臺(tái)116移動(dòng)的伺服電機(jī)202、 206的伺服控制即可。 產(chǎn)業(yè)上的可利用性
本發(fā)明所述的涂布裝置能夠適當(dāng)?shù)貙?duì)涂布在基板上的涂布液的截面 面積和截面形狀進(jìn)行測(cè)定，作為涂布裝置是有用的。
權(quán)利要求
1.一種涂布裝置，該涂布裝置將涂布液涂布在基板上，其特征在于，該涂布裝置包括操作臺(tái)，其用于搭載所述基板；噴頭，其具有朝向所述基板排出所述涂布液的噴嘴；測(cè)定裝置，其對(duì)從所述噴嘴中排出并涂布在所述基板上的涂布液的截面面積或者截面形狀進(jìn)行測(cè)定；驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其通過(guò)伺服控制使所述操作臺(tái)和所述噴頭中的至少任一方移動(dòng)；以及控制裝置，其在利用所述測(cè)定裝置對(duì)所述涂布液的截面面積或者截面形狀進(jìn)行測(cè)定時(shí)，使所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的伺服控制停止。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布裝置，其特征在于， 所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有伺服電機(jī)，并且利用供給來(lái)的電力來(lái)驅(qū)動(dòng)所述伺服電機(jī)進(jìn)行伺服控制，所述控制裝置在利用所述測(cè)定裝置對(duì)所述涂布液的截面面積或者截 面形狀進(jìn)行測(cè)定時(shí)，停止對(duì)所述伺服電機(jī)供給電力。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的涂布裝置，其特征在于， 所述涂布裝置具有驅(qū)動(dòng)軸，所述驅(qū)動(dòng)軸安裝在所述操作臺(tái)和所述噴頭的至少任一方上，所述伺服電機(jī)使所述驅(qū)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的涂布裝置，其特征在于， 所述控制裝置對(duì)所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制，停止對(duì)所述操作臺(tái)和所述 噴頭中的預(yù)先確定的一方進(jìn)行伺服控制，所述預(yù)先確定的一方是所述操 作臺(tái)和所述噴頭中的因振動(dòng)而使所述涂布液的截面面積或者截面形狀的 測(cè)定產(chǎn)生誤差的一方。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠適當(dāng)?shù)貙?duì)涂布在基板上的涂布液的截面面積或者截面形狀進(jìn)行測(cè)定的涂布裝置。涂布單元(20)內(nèi)的系統(tǒng)控制器(220)和伺服驅(qū)動(dòng)器(222)構(gòu)成為在對(duì)涂布于玻璃基板(50)上的糊膏(60)的截面面積進(jìn)行測(cè)定的時(shí)刻，停止對(duì)通過(guò)伺服控制使基板操作臺(tái)(116)和噴頭(110)移動(dòng)的伺服電機(jī)(202、206、210)供給電力，從而使伺服控制停止。由此，在想要使基板操作臺(tái)(116)和噴頭(110)停留在預(yù)定位置的情況下，不會(huì)伴隨用于對(duì)位的伺服控制而產(chǎn)生微小振動(dòng)，能夠適當(dāng)?shù)貙?duì)糊膏(60)的截面面積進(jìn)行測(cè)定。
文檔編號(hào)B05C5/00GK101628273SQ20091014025
公開(kāi)日2010年1月20日 申請(qǐng)日期2009年7月13日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月14日
發(fā)明者小嶋純一 申請(qǐng)人:芝浦機(jī)械電子裝置股份有限公司