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機(jī)臺(tái)裝置的制作方法

文檔序號(hào):3774180閱讀:108來源:國知局
專利名稱:機(jī)臺(tái)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及機(jī)臺(tái)裝置的技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及可分解的機(jī)臺(tái)裝置。
背景技術(shù)
圖9的符號(hào)105顯示了現(xiàn)有技術(shù)的機(jī)臺(tái)裝置。 該機(jī)臺(tái)裝置105具有底座板lll,底座板111由配置于背面的四角的腳部112a 112d載置于地面上。 在底座板111的表面上鋪設(shè)有軌道117、118,在其上方承載有吐出裝置113。在吐 出裝置113的與底座板111面對(duì)的面,配置有印刷頭。印刷頭連接于箱129,并從箱129將 吐出液供給至印刷頭,如果使基板107承載于底座板111上并從印刷頭將吐出液吐出,則吐 出液著陸于基板107上。 吐出裝置113構(gòu)成為可在軌道117、 118上移動(dòng),如圖10所示,如果在基板107的 上方將吐出液吐出,則能夠使吐出液著陸于基板107表面的期望位置。
該吐出液例如為液晶取向膜用的有機(jī)薄膜的原料,或液晶顯示裝置的間隔件的分 散液、有機(jī)EL元件的發(fā)光層的原料等,機(jī)臺(tái)裝置105用于將吐出液吐出至大的基板。
然而,吐出對(duì)象的基板一直向大型化發(fā)展,與此相對(duì)應(yīng)地,機(jī)臺(tái)裝置也大型化,從 成本的問題或法規(guī)上的問題看,難以將在工廠中所制造的機(jī)臺(tái)裝置搬運(yùn)至設(shè)置場(chǎng)所。
因此,在現(xiàn)有技術(shù)中也采取對(duì)策,嘗試將底座板分割搬運(yùn)。
專利文獻(xiàn)1 :日本特開2007-73688號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
然而,當(dāng)在設(shè)置場(chǎng)所組裝暫時(shí)分割的底座板時(shí),需要花費(fèi)極大的人工進(jìn)行對(duì)位,或
者組裝精度惡化,仍期望加以解決。 為了解決上述問題,在本發(fā)明的機(jī)臺(tái)裝置中,設(shè)置于主載置臺(tái)的主底座板和設(shè)置
于副載置臺(tái)且比上述主底座板小的副底座板可裝卸地水平連接,在上述副載置臺(tái)設(shè)置有
承載有上述副底座板的臺(tái)車、變更上述臺(tái)車和上述副底座板的相對(duì)位置的調(diào)整機(jī)構(gòu)。 此外,在本發(fā)明的機(jī)臺(tái)裝置中,在上述主載置臺(tái)設(shè)置有主定位部件,在上述副載置
臺(tái)設(shè)置有能夠與上述主定位部件接觸的副定位部件,上述主定位部件和上述主底座板之間
的位置關(guān)系以及上述副定位部件和上述副底座板之間的位置關(guān)系中的至少一方的位置關(guān)
系構(gòu)成為能夠變更且能夠固定。 此外,在本發(fā)明的機(jī)臺(tái)裝置中,上述主定位部件和上述副定位部件嵌合,決定上述 副載置臺(tái)相對(duì)于上述主載置臺(tái)的位置。 此外,在本發(fā)明的機(jī)臺(tái)裝置中,上述副定位部件設(shè)置在上述臺(tái)車。 此外,在本發(fā)明的機(jī)臺(tái)裝置中,在上述主載置臺(tái)的上述主底座板,設(shè)置有主軌道,
在上述副載置臺(tái)的上述副底座板上,設(shè)置有與上述主軌道聯(lián)接的副軌道。 在正式設(shè)置場(chǎng)所的主底座板和副底座板的對(duì)位精度提高。
3
在正式設(shè)置場(chǎng)所的作業(yè)變簡單。


圖1(a)是用于說明暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所的主載置臺(tái)的俯視圖,(b)為其側(cè)視圖。 圖2(a)是用于說明暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所的副載置臺(tái)的俯視圖,(b)為其側(cè)視圖。 圖3是用于說明在暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所相對(duì)于主載置臺(tái)而聯(lián)接副載置臺(tái)的順序的內(nèi)部 俯視圖。 圖4是用于說明在暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所或正式設(shè)置場(chǎng)所聯(lián)接的主載置臺(tái)和副載置臺(tái)的 狀態(tài)的內(nèi)部俯視圖。 圖5(a)是本發(fā)明的一個(gè)示例的機(jī)臺(tái)裝置的俯視圖,(b)為其側(cè)視圖。 圖6(a)是用于說明該機(jī)臺(tái)裝置的動(dòng)作狀態(tài)的俯視圖,(b)為其側(cè)視圖。 圖7是用于說明在正式設(shè)置場(chǎng)所將副載置臺(tái)聯(lián)接于主載置臺(tái)的順序的俯視圖。 圖8是用于說明本發(fā)明的其它示例的機(jī)臺(tái)裝置的俯視圖。 圖9(a)是現(xiàn)有技術(shù)的機(jī)臺(tái)裝置的俯視圖(1) , (b)為其側(cè)視圖(1)。 圖10(a)是現(xiàn)有技術(shù)的機(jī)臺(tái)裝置的俯視圖(2) , (b)為其側(cè)視圖(2)。 符號(hào)說明 5 :機(jī)臺(tái)裝置 10 :主載置臺(tái) 11 :主底座板 13:吐出裝置 16 :主定位部件 20a 20f:副載置臺(tái) 21 、41 :副底座板 24p242 :副定位部件 30 :調(diào)整機(jī)構(gòu) 33 :聯(lián)接部件
具體實(shí)施例方式
圖5(a)、(b)的符號(hào)5顯示了本發(fā)明的機(jī)臺(tái)裝置。同圖(a)為俯視圖,同圖(b)為 側(cè)視圖。 該機(jī)臺(tái)裝置5具有主載置臺(tái)10以及多個(gè)副載置臺(tái)20a 20d。 主載置臺(tái)10和副載置臺(tái)20a 20d分別具有表面平坦的主底座板11和副底座板
21。主底座板11和副底座板21的表面分別以在相同的高度成為水平的方式配置。 主底座板11的俯視形狀為矩形,沿著其四邊之中的互相平行的兩邊鋪設(shè)有主軌
道17a、17b。 在副底座板21上配置有副軌道18。 主軌道17a、 17b的兩端部連接于副軌道18的端部,由兩條副軌道18以及夾在其 間的主軌道17a或17b形成連續(xù)的一條軌道19a或19b。 在軌道19a、19b上,設(shè)置有可移動(dòng)的移動(dòng)部件(在此,為起重機(jī)架),在起重機(jī)架上承載有吐出裝置13。 在該吐出裝置13的底面部分,設(shè)置有印刷頭(圖中未顯示)。配置有吐出液的箱 29連接于吐出裝置13,并構(gòu)成為,如果一邊從箱29供給吐出液, 一邊使印刷頭進(jìn)行動(dòng)作,則 從印刷頭將吐出液吐出。 在位于主底座板11的主軌道17a、17b之間的部分之上,配置有基板7。
吐出裝置13構(gòu)成為可在軌道19a、19b上行走,如圖6(a)、(b)所示,如果在吐出裝 置13位于基板7上的狀態(tài)下,從印刷頭將吐出液吐出,則吐出液著陸于基板7表面。如果 移動(dòng)吐出裝置13,則能夠使吐出液著陸于基板7表面的期望位置。 該機(jī)臺(tái)裝置5配置在對(duì)基板7進(jìn)行吐出作業(yè)的正式設(shè)置場(chǎng)所,但由于主底座板11 較大,因而如圖5、6所示,在將副載置臺(tái)20a 20d聯(lián)接于主載置臺(tái)10并組裝了主底座板 11和副底座板21的狀態(tài)下,無法從制造機(jī)臺(tái)裝置5時(shí)進(jìn)行組裝的暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所搬送至正式 設(shè)置場(chǎng)所。 本發(fā)明的機(jī)臺(tái)裝置5構(gòu)成為副載置臺(tái)20a 20d相對(duì)于主載置臺(tái)10可裝卸,并如 下所述,在暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所進(jìn)行對(duì)位后分離,從暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所搬迭至正式設(shè)置場(chǎng)所,并在正式 設(shè)置場(chǎng)所復(fù)原經(jīng)過對(duì)位的狀態(tài),連接主底座板11和副底座板21。 圖1 (a)顯示了不放置在正式設(shè)置場(chǎng)所而是放置在暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所的狀態(tài)的主載置
臺(tái)10的俯視圖,同圖(b)顯示了該主載置臺(tái)10的側(cè)視圖。 在主底座板11的背面的四角附近,配置有腳部12a 12d。 在同圖(a)(以及后述的圖3(a)、圖4(a))中,以兩點(diǎn)劃線表示主底座板11和主軌
道17a、17b,以實(shí)線表示腳部12a 12d。腳部12a 12d固定于主底座板11的背面。 接著,圖2(a)為副載置臺(tái)20a 20d的俯視圖,同圖(b)為其側(cè)視圖。 副載置臺(tái)20a 20d分別具有臺(tái)車22,副底座板21承載于臺(tái)車22上。 在臺(tái)車22上設(shè)置有多個(gè)搬送車輪23。在此,臺(tái)車22具有臺(tái)座27,搬送車輪23設(shè)
置于臺(tái)座27的底面的四處。 主底座板11和副底座板21為長方形或正方形形狀。副底座板21為主底座板11
的一半以下的大小,副底座板21在主底座板11的兩旁,能夠分別在每側(cè)連接兩個(gè)。 搬迭車輪23設(shè)置在副底座板21以連接于主底座板11的部分為先頭而至少能夠
前進(jìn)和后退的方向,如果使搬送車輪23接觸于地面并向著前進(jìn)方向或后退方向施加力,則
搬送車輪23旋轉(zhuǎn),副載置臺(tái)20a 20d沿施加力的方向在地面上行走。 在臺(tái)座27上,設(shè)置有一個(gè)乃至多個(gè)由輥和旋轉(zhuǎn)軸形成的副定位部件2^、242。 在此,副定位部件24"242設(shè)置有兩個(gè),在臺(tái)座27上的副載置臺(tái)20a 20d的前進(jìn)
方向先頭,互相離開地配置在行進(jìn)方向的兩側(cè)位置。 腳部12a 12d接觸于地面,并具有支撐主底座板11的支撐部15和設(shè)置于支撐 部15的外周側(cè)面的板狀的主定位部件16。主定位部件16配置于離地面一定距離的上方, 在主定位部件16和地面之間形成有間隙。 副定位部件241、242構(gòu)成為相對(duì)于臺(tái)座27能夠移動(dòng)和固定,預(yù)先增大副定位部件 24p242之間的距離,如圖3的副載置臺(tái)20b所示,如果以主軌道17a或17b和副軌道18成 為一條直線的方式使副載置臺(tái)20b的先頭部分向著腳部12b前進(jìn),則如同圖的副載置臺(tái)20a 所示,臺(tái)座27插入主定位部件16和地面之間。
主定位部件16配置于腳部12a 12d的側(cè)面之中的與主軌道17a、17b平行的側(cè)面。 主定位部件16配置在與副定位部件24p242相同的高度,但副定位部件24p242的間隔,預(yù)先形成為比主定位部件16的寬度更寬,臺(tái)座27在副定位部件24p242和主定位部件16不接觸的情況下,插入主定位部件16的下方,如同圖的副載置臺(tái)20b所示,副底座板21和主底座板ll接觸。 在該狀態(tài)下,偏離主底座板11和副底座板21之間的理想位置關(guān)系的誤差較大。
在副載置臺(tái)20a 20d上設(shè)置有能夠變更副底座板21的高度、斜率以及水平方向的位置和方向的調(diào)整機(jī)構(gòu)30。 該調(diào)整機(jī)構(gòu)30具有能夠粗略變更副底座板21的高度、斜率、水平面內(nèi)的位置、方向的粗調(diào)整機(jī)構(gòu)31以及能夠比粗調(diào)整機(jī)構(gòu)31更精密地變更的微調(diào)整機(jī)構(gòu)32。
粗調(diào)整機(jī)構(gòu)31構(gòu)成為能夠比微調(diào)整機(jī)構(gòu)32更大幅地變更副底座板21的高度、斜率、水平方向的位置,首先,由粗調(diào)整機(jī)構(gòu)31對(duì)每個(gè)副載置臺(tái)20a 20d進(jìn)行副底座板21相對(duì)于主底座板11的粗略的對(duì)位。 如果暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所的地面為水平,且主底座板11由設(shè)置于主載置臺(tái)10的主調(diào)整機(jī)構(gòu)(圖中未顯示)預(yù)先使表面水平,則由粗調(diào)整機(jī)構(gòu)31使副底座板21在與主底座板11的表面大致相同的高度成為水平,并且,粗調(diào)整與主底座板ll相對(duì)的位置和方向,進(jìn)行粗略的對(duì)位。 接著,固定粗調(diào)整機(jī)構(gòu)31 (的粗調(diào)整螺絲等), 一邊使經(jīng)過粗調(diào)整的副底座板21和主底座板11的相對(duì)位置不變化, 一邊移動(dòng)副定位部件24p242,如果在接觸于主定位部件16的狀態(tài)下,將副定位部件2^、242固定于臺(tái)座27,則主定位部件16被副定位部件24p242夾著。 由此,決定了經(jīng)過粗調(diào)整的狀態(tài)下的主載置臺(tái)IO和副載置臺(tái)20a 20d之間的位
置關(guān)系。 支撐部1 5比主底座板11的外周更位于內(nèi)側(cè),主定位部件16形成為遠(yuǎn)離主底座板11的外周的部分的寬度寬,接近主底座板11的外周的部分的寬度窄,在由副定位部件2^、242夾著主定位部件16的狀態(tài)下,副載置臺(tái)20a 20d能夠向主底座板11的外側(cè)方向移動(dòng)(后退方向),但無法相對(duì)于腳部12a 2d前進(jìn),也無法向左右方向移動(dòng)。
因此,如果不解除粗調(diào)整機(jī)構(gòu)31的固定,或者副定位部件24p242相對(duì)于臺(tái)座27的固定,那么,即使將副載置臺(tái)20a 20d從主載置臺(tái)10分離,但只要移動(dòng)副載置臺(tái)20a 20d,就能夠容易地再現(xiàn)經(jīng)過粗調(diào)整的狀態(tài),使得與分離前相同,由副定位部件24"242夾著主定位部件16。 在臺(tái)座27和副底座板21之間,配置有架臺(tái)25。副底座板21固定于架臺(tái)25。在該架臺(tái)25上設(shè)置有聯(lián)接部件33,如果由該聯(lián)接部件33將架臺(tái)25固定于腳部12a 12d,則主底座板11和副底座板21在經(jīng)過粗調(diào)整的狀態(tài)下,經(jīng)由架臺(tái)25和腳部12a 12d而固定相對(duì)位置。 接著,由微調(diào)整機(jī)構(gòu)32調(diào)整副底座板21的高度、斜率、水平方向的位置和方向,并
對(duì)每個(gè)副載置臺(tái)20a 20d微調(diào)整副底座板21相對(duì)于主底座板11的位置。 通過以上的順序,使得副底座板21和主底座板11成為經(jīng)過對(duì)位的狀態(tài),副軌道18筆直地連接于主軌道17a、17b的兩端,獲得直線狀的軌道19a、19b。 如果在暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所進(jìn)行了該暫時(shí)組裝后,卸下聯(lián)接部件33,解除主載置臺(tái)10和 副載置臺(tái)20a 20d之間的聯(lián)接,使副載置臺(tái)20a 20d后退,分離主載置臺(tái)10和副載置 臺(tái)20a 20d,則成為能夠分別搬送的狀態(tài)。 此時(shí),不解除副定位部件2^、242對(duì)臺(tái)座27的固定,使副定位部件2^、242之間的 距離不變更。此外,也固定粗調(diào)整機(jī)構(gòu)31和微調(diào)整機(jī)構(gòu)32的粗動(dòng)螺絲和微動(dòng)螺絲,從而使 經(jīng)過粗調(diào)整和微調(diào)整的狀態(tài)不變化。 將主載置臺(tái)10和副載置臺(tái)20a 20d分別搭載于車輛等,通過陸路或海路等而搬 送至正式設(shè)置場(chǎng)所,并首先將主載置臺(tái)10配置于正式設(shè)置場(chǎng)所的規(guī)定位置。
接著,向著腳部12a 12d而配置副載置臺(tái)20a 20d,如圖7所示,以能夠復(fù)原在 暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所將各副載置臺(tái)20a 20d組裝的狀態(tài)的方式,使副載置臺(tái)20a 20d分別向 著腳部12a 12d前進(jìn)。 由于主定位部件16的寬度向著副載置臺(tái)20a 20d的行進(jìn)方向的縱深方向擴(kuò)大, 因而,如果各副載置臺(tái)20a 20d的臺(tái)座27進(jìn)入主定位部件16的下方,則主定位部件16 插入副定位部件2^、242之間,如果副定位部件2^、242和主定位部件16接觸,貝幅U載置臺(tái) 20a 20d的前進(jìn)停止。 該狀態(tài)與圖4所示的狀態(tài)相同,由聯(lián)接部件33聯(lián)接固定副載置臺(tái)20a 20d的架 臺(tái)25和主載置臺(tái)10的腳部12a 12d之間,并相對(duì)于腳部12a 12d而將臺(tái)座27固定。
當(dāng)暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所和正式設(shè)置場(chǎng)所的地面為水平,副定位部件2^、242和主定位部 件16在與位于暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所中所接觸的位置相同的位置處接觸時(shí),副載置臺(tái)20a 20d和
主載置臺(tái)io在暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所的位置關(guān)系復(fù)原。 即,副底座板21和主底座板11變得與經(jīng)過粗調(diào)整和微調(diào)整的狀態(tài)相同。
然而,由于暫時(shí)解除副載置臺(tái)20a 20d和主載置臺(tái)10之間的聯(lián)接,再分離搬送 副載置臺(tái)20a 20d和主載置臺(tái)10,因而有時(shí)候因搬送時(shí)的振動(dòng)或溫度變化等而產(chǎn)生小的 對(duì)位誤差。此外,有時(shí)候在設(shè)置場(chǎng)所具有誤差,或者當(dāng)在正式設(shè)置場(chǎng)所將主底座板ll的表 面重新設(shè)定為水平時(shí),也產(chǎn)生對(duì)位誤差。 該對(duì)位誤差為與微調(diào)整誤差相同的程度的大小,被維持在經(jīng)過粗調(diào)整的狀態(tài)。因 此,即使進(jìn)行再次調(diào)整,其調(diào)整量也少,并可迅速地進(jìn)行調(diào)整。 所以,在主底座板ll的表面為水平后,如果由微調(diào)整機(jī)構(gòu)32對(duì)副載置臺(tái)20a 20d的上下方向的高度、斜率以及水平方向的位置和方向進(jìn)行微調(diào)整,則副底座板21相對(duì) 于主底座板11的位置變更,對(duì)位誤差E4變小,能夠使主底座板11和副底座板21的對(duì)位誤 差成為與搬送前的微調(diào)整誤差E3相同的程度的大小。 圖5 (a) 、 (b)是通過以上順序而在正式設(shè)置場(chǎng)所組裝的機(jī)臺(tái)裝置5的俯視圖和側(cè) 視圖,主底座板11上的主軌道17a、17b和副底座板21上的副軌道18直線狀地連接,筆直 地鋪設(shè)軌道19a、19b。 在同圖中,吐出裝置13位于主載置臺(tái)10的外側(cè)位置的副載置臺(tái)20b、20c上,在該 位置,能夠進(jìn)行印刷頭的清潔等。此外,由于吐出裝置13不位于基板上,因而能夠更換主載 置臺(tái)10上的基板7。 由于主底座板11和副底座板21之間的對(duì)位精度高,因而如圖6(a) 、 (b)所示,即使在副載置臺(tái)20a 20d上和主載置臺(tái)10上之間使吐出裝置13移動(dòng),也不產(chǎn)生振動(dòng)。
架臺(tái)25可從臺(tái)車22分離,如果通過聯(lián)接部件33而將架臺(tái)25固定于腳部12a 12d,則如同圖(b)所示,即使從架臺(tái)25的下方拔去臺(tái)車22,副底座板21也成為相對(duì)于主底 座板ll而固定的狀態(tài)。 如上所述,依照本發(fā)明,在正式設(shè)置場(chǎng)所組裝副載置臺(tái)20a 20d和主載置臺(tái)10 之前,預(yù)先在制造該機(jī)臺(tái)裝置5的工廠內(nèi)等的暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所,進(jìn)行副底座板21和主底座板 11的對(duì)位,然后,以能夠復(fù)原該狀態(tài)的方式進(jìn)行分離、搬送,并能夠在正式設(shè)置場(chǎng)所進(jìn)行組 裝。 另外,組裝中所用的聯(lián)接部件33可以設(shè)置于副載置臺(tái)20a 20d,也可以設(shè)置于主
載置臺(tái)10。此外,也可以從副載置臺(tái)20a 20d和主載置臺(tái)10的兩者卸下。 在上述實(shí)施例中,由板狀的部件構(gòu)成主定位部件16,由接觸于其側(cè)面的輥構(gòu)成副
定位部件24p2^但并不限定于此,只要是能夠再現(xiàn)副底座板21和主底座板11的相對(duì)位
置關(guān)系的部件即可。也能夠由輥構(gòu)成主定位部件,由板狀部件構(gòu)成副定位部件。 此外,在上述實(shí)施例中,主定位部件16被固定在腳部12a 12d內(nèi),主定位部件16
和主底座板11之間的位置關(guān)系固定,另一方面,副定位部件2^、242構(gòu)成為相對(duì)于臺(tái)座27
可移動(dòng)和固定,但也可與此相反,副定位部件2^、242和副底座板21的位置關(guān)系固定,可變
更和固定主定位部件16和主底座板11之間的相對(duì)位置。這種情況下,可以在粗調(diào)整后,由
聯(lián)接部件33進(jìn)行固定,然后,使主定位部件16移動(dòng)并與副定位部件2^、242接觸,固定主定
位部件16相對(duì)于主底座板11的位置。 再者,在上述實(shí)施例中,將分別具有副底座板21的4臺(tái)副載置臺(tái)20a 20d分別 聯(lián)接1臺(tái)至4臺(tái)腳部12a 12d,但如圖8所示,本發(fā)明也包含這樣的機(jī)臺(tái)裝置由具有寬 度較寬的副底座板41的副載置臺(tái)20e、20f和該副載置臺(tái)20e、20f相對(duì)于兩個(gè)腳部12a 12d而聯(lián)接的主載置臺(tái)10組裝而成,其中,副底座板41設(shè)置有兩條副軌道18pl&。
這種情況下,也能夠預(yù)先在暫時(shí)設(shè)置場(chǎng)所由調(diào)整機(jī)構(gòu)30對(duì)副載置臺(tái)20e、20f的副 底座板41和主載置臺(tái)10的主底座板11進(jìn)行對(duì)位,并以能夠維持該狀態(tài)的方式進(jìn)行分離和 搬送,然后,在正式設(shè)置場(chǎng)所復(fù)原對(duì)位。也可以在正式設(shè)置場(chǎng)所由調(diào)整機(jī)構(gòu)30進(jìn)行微調(diào)整。
此外,在上述實(shí)施例中,在本發(fā)明的機(jī)臺(tái)裝置5的主載置臺(tái)10和副載置臺(tái)20a 20d上配置有吐出裝置13,并作為噴墨裝置而使用,但本發(fā)明并不限定于此,也能夠在本發(fā) 明的機(jī)臺(tái)裝置5配置激光照射裝置,并作為加熱裝置、檢查裝置、或曝光裝置而使用,或者 也能夠配置基板對(duì)位裝置,并作為對(duì)準(zhǔn)器而使用。
總而言之,本發(fā)明的機(jī)臺(tái)裝置5并不限定于噴墨裝置。 此外,可在軌道19a、19b上移動(dòng)的移動(dòng)部件并不限定于起重機(jī)架,例如,可以為載 置有基板等處理對(duì)象物的載置臺(tái)。
8
權(quán)利要求
一種機(jī)臺(tái)裝置,其中,設(shè)置于主載置臺(tái)的主底座板和設(shè)置于副載置臺(tái)且比所述主底座板小的副底座板可裝卸地水平連接,其特征在于,在所述副載置臺(tái)設(shè)置有承載有所述副底座板的臺(tái)車、變更所述臺(tái)車和所述副底座板的相對(duì)位置的調(diào)整機(jī)構(gòu)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的機(jī)臺(tái)裝置,其特征在于, 在所述主載置臺(tái)設(shè)置有主定位部件,在所述副載置臺(tái)設(shè)置有能夠與所述主定位部件接觸的副定位部件,所述主定位部件和所述主底座板之間的位置關(guān)系以及所述副定位部件和所述副底座 板之間的位置關(guān)系中的至少一方的位置關(guān)系構(gòu)成為能夠變更且能夠固定。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)臺(tái)裝置,其特征在于,所述主定位部件和所述副定位部件嵌合,決定所述副載置臺(tái)相對(duì)于所述主載置臺(tái)的位置。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)臺(tái)裝置,其特征在于, 所述副定位部件設(shè)置在所述臺(tái)車。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的機(jī)臺(tái)裝置,其特征在于, 在所述主載置臺(tái)的所述主底座板,設(shè)置有主軌道,在所述副載置臺(tái)的所述副底座板上,設(shè)置有與所述主軌道聯(lián)接的副軌道。
全文摘要
提供一種在正式設(shè)置場(chǎng)所的對(duì)位容易的機(jī)臺(tái)裝置。使配置有副底座板(21)的架臺(tái)(25)承載于臺(tái)車(22)上而構(gòu)成副載置臺(tái)(20a~20d),利用臺(tái)車(22)使副底座板(21)移動(dòng),并將架臺(tái)(25)固定在具有主底座板(11)的主載置臺(tái)(10)。由設(shè)置于副載置臺(tái)(20a~20d)的調(diào)整機(jī)構(gòu)(30)對(duì)主底座板(11)和副底座板(21)進(jìn)行對(duì)位。由于在主載置臺(tái)(10)和副載置臺(tái)(20a~20d)設(shè)置有主定位部件(16)和副定位部件(241、242),因而能夠以復(fù)原對(duì)位狀態(tài)的方式進(jìn)行分離。所以,在搬送之后,在組裝時(shí)容易進(jìn)行對(duì)位。
文檔編號(hào)B05C5/00GK101790783SQ20088010552
公開日2010年7月28日 申請(qǐng)日期2008年8月27日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月28日
發(fā)明者伊藤慎也, 南展史, 湯山純平, 田中保三, 矢作充, 高橋誠 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛發(fā)科
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