專利名稱：傳送式基板處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示裝置用玻璃基板的制造等中使用的傳送式基板處理裝置。
背景技術(shù)：
液晶顯示裝置中使用的玻璃基板，通過對作為基材的玻璃基板的表面反復(fù)實施腐蝕、剝離等化學(xué)處理來制造。該處理裝置大致分為干式和濕式；濕式又分為批量式和葉片式；葉片式又分為旋轉(zhuǎn)式和基于滾輪傳送等的傳送式。
在這些基板處理裝置中，傳送式的裝置具有將基板向水平方向傳送的同時對該基板的表面供給處理液的基本結(jié)構(gòu)，由于效率高，所以在以前被用于腐蝕處理和剝離處理。
腐蝕處理上使用的傳送式基板處理裝置從在基板傳送線的上方矩陣狀配置的多個噴射噴嘴中噴射腐蝕液，通過使基板在該腐蝕液中通過，向基板的整個表面供給腐蝕液。通過該噴淋處理，除涂敷了掩模材料的部分以外，基板的表面被有選擇地腐蝕。腐蝕結(jié)束后，進(jìn)行基于后續(xù)噴淋的清洗處理。剝離處理的裝置也有基本上相同的結(jié)構(gòu)。
但是，在液晶顯示裝置用玻璃基板中，在基板的大型化的同時，電路的高精細(xì)化也在深入。作為在該基板上使用的布線材料，以前大多使用Cr，但隨著目前的高精細(xì)化，正在轉(zhuǎn)向使用電阻率值小的Al或Al/Mo。因此，即使腐蝕用的傳送式基板處理裝置，也開始使用Al腐蝕液，但隨著使用該腐蝕液，發(fā)現(xiàn)以下的問題。
即，作為Al腐蝕液，使用以磷酸為主要成份的腐蝕液。基于該腐蝕液的Al的腐蝕率比基于Cr腐蝕液的Cr的腐蝕率高，由此可獲得腐蝕率高的效果，但另一方面，腐蝕后的Al層的邊緣面變?yōu)椴贿m合下一層的層積的形狀。
圖3是表示腐蝕后的Al層的形狀的剖視圖。在作為基材的玻璃基板1上形成Al層2及Mo層3，在其上覆蓋掩模材料4。通過腐蝕，在掩模材料4未覆蓋的部分Al層2及Mo層3被除去，但殘留的Al層2及Mo層3的邊緣面變?yōu)橛脤嵕€表示的峭立的急劇的傾斜。這樣，在Al層2及Mo層3上不能穩(wěn)定地載置下一層。為了穩(wěn)定地載置下一層，如一點劃線所示，需要使該邊緣面的傾斜平緩。在沒有Mo層3的情況下也存在同樣的傾向。
此外，Al腐蝕液與Cr腐蝕液相比為高粘度，對玻璃基板4的表面的浸潤性差。此外，如上所述，腐蝕率高。因此，在噴淋處理開始時腐蝕液的細(xì)的液滴沖擊的部分變得處理不勻，即使在其后的噴淋處理也不能消除，在腐蝕后殘留。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種傳送式基板處理裝置，適用于Al腐蝕，可以將Al層的邊緣面形成適合下一層的層積的平緩的傾斜面，同時可以消除初期噴淋造成的處理不勻。
為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的傳送式基板處理裝置包括噴淋方式的第1處理部，從基板的傳送方向及與該傳送方向成直角方向排列的多個噴射噴嘴向基板的整個表面供給處理液；以及化學(xué)刮刀方式的第2處理部，從在第1處理部的下游側(cè)配置成一級或多級的縫隙噴嘴向基板表面的寬度方向整個區(qū)域膜狀地供給處理液。
在適用于Al腐蝕的情況下，第1處理部中的噴淋處理的液置換顯著，并可確保高腐蝕率，但Al層的邊緣面成為不適合下一層的層積的急劇的傾斜面。通過第2處理部的化學(xué)刮刀處理，在基板的表面上腐蝕液變?yōu)楸≥d置的涂漿狀，基本不進(jìn)行液置換。因此，Al層的腐蝕從表面緩慢地進(jìn)行，邊緣面的傾斜變得緩慢。
通過在第1處理部的入口部設(shè)置在進(jìn)行噴淋處理之前進(jìn)行化學(xué)刮刀處理的縫隙噴嘴，在噴淋處理之前，使基板在處理液的流下膜中通過，均勻地淋濕基板的表面。一旦均勻地淋濕，即使在其后受到噴淋處理，也不會產(chǎn)生液滴造成的處理不勻。因此，通過在第1處理部的入口部設(shè)置縫隙噴嘴，還可消除初始噴淋造成的處理不勻。
本發(fā)明的傳送式基板處理裝置為了從處理液的處理部的入口部分大致在整個區(qū)域進(jìn)行涂漿處理，還將向基板表面的寬度方向整個區(qū)域膜狀地供給處理液的縫隙噴嘴沿基板的傳送方向配置一級或多級。即，省略噴淋方式的第1處理部，僅通過化學(xué)刮刀方式的第2處理部，就能夠進(jìn)行處理液的處理。由此，盡管腐蝕率下降，但可有效地防止邊緣面的急劇上升。
本發(fā)明的傳送式基板處理裝置特別適合于Al腐蝕，但對于其它腐蝕處理也有效，只是存在效果上的某些差異。


圖1表示本發(fā)明的一實施例的傳送式基板處理裝置的俯視圖。
圖2表示該基板處理裝置的主要部分的側(cè)視圖。
圖3表示腐蝕后的Al層形狀的剖視圖。
具體實施例方式
本實施例的傳送式基板處理裝置進(jìn)行液晶顯示裝置用玻璃基板100(以下簡稱為基板100)的Al腐蝕處理。如圖1所示，該基板處理裝置采用將直線狀的第1傳送線A、直角連接到第1傳送線A的第2傳送線B、直角連接到第2傳送線B并與第1傳送線A并列的第3傳送線C組合而成的U轉(zhuǎn)動式的布局。
第1傳送線A直線狀連結(jié)接收部10、阻液部20及腐蝕部30來構(gòu)成。第2傳送線B是水洗部40，配有向基板100的表面分散清洗水的噴淋單元41。第3傳送線C直線狀地連結(jié)移載裝置50、旋轉(zhuǎn)干燥器60、移載裝置70及取出部80來構(gòu)成。
第1傳送線A和第2傳送線B配有沿傳送方向以規(guī)定間隔排列的多個傳送滾輪，以便沿傳送線長度方向傳送基板100。各傳送滾輪是與傳送方向成直角的水平滾輪。在第2傳送線B、即水洗部40的入口部，設(shè)置使基板100的行進(jìn)方向變更90度的轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)42。
要接受Al腐蝕處理的基板100由傳送裝置90傳送到接收部10。通過滾輪傳送，該基板100從阻液部20進(jìn)入腐蝕部30，在通過期間接受腐蝕處理。通過后續(xù)的滾輪傳送，通過了腐蝕部30的基板100進(jìn)入水洗部40，將行進(jìn)方向變更90度后移動到水洗部40，在該移動期間接受水洗處理。
移動至水洗部40的出口部的基板100通過移載裝置50從水洗部40傳送到旋轉(zhuǎn)干燥器60。用旋轉(zhuǎn)干燥器60結(jié)束了干燥處理的基板100由移載裝置70從旋轉(zhuǎn)干燥器60傳送到取出部80，再次由傳送裝置90傳送到裝置外部。
本實施例的傳送式基板處理裝置在腐蝕部30上具有明顯的特征。如圖2所示，該腐蝕部30包括將基板100沿水平方向傳送的傳送滾輪31，在基板100的傳送線的上方，為了向基板100的表面供給腐蝕液，沿基板100的行進(jìn)方向依次設(shè)置第1縫隙噴嘴33、噴淋單元34及第2縫隙噴嘴35。
傳送滾輪31由驅(qū)動軸31a的軸方向多個位置上設(shè)置的大直徑部31b來點支撐基板100，由兩側(cè)設(shè)置的凸緣部31c來進(jìn)行基板100的寬度方向的位置確定。
第1縫隙噴嘴33是與基板100的行進(jìn)方向成直角的水平噴嘴，通過使Al腐蝕液膜狀地流下，在基板100的表面的行進(jìn)方向的一部分上遍及整個寬度地直線狀地供給該腐蝕液。
噴淋單元34構(gòu)成噴淋方式的第1處理部。該噴淋單元34在與基板100的行進(jìn)方向平行的水平方向及與該行進(jìn)方向成直角的水平方向上以規(guī)定間隔配有矩陣狀(包含交錯狀)排列的多個噴射噴嘴34a，在比基板100的表面寬的范圍內(nèi)噴射Al腐蝕液。
這里，將多個噴射噴嘴34a與基板100的行進(jìn)方向成直角的方向排列，并各自在基板100的行進(jìn)方向上延長的多個頂管34b上被朝下方安裝。各噴射噴嘴34a使Al腐蝕液成為細(xì)的液滴并圓錐形狀地噴射，在相鄰的噴嘴之間，各噴嘴的噴射范圍可重疊。這里的腐蝕液的供給量以在基板100的表面上可進(jìn)行充分的液置換來設(shè)定。
第2縫隙噴嘴35與第1縫隙噴嘴33同樣是與基板100的行進(jìn)方向成直角的水平噴嘴，在基板100的行進(jìn)方向上按規(guī)定間隔排列多個，構(gòu)成化學(xué)刮刀方式的第2處理部。各縫隙噴嘴35與第1縫隙噴嘴33不同，通過使少量的Al腐蝕液與基板100的傳送方向成直角的膜狀流下，在基板100表面的行進(jìn)方向一部分上遍及整個寬度直線狀供給該腐蝕液，并使其滯留。即，腐蝕液的供給量以供給到基板100表面的腐蝕液通過表面張力保持在其表面上的程度來設(shè)定。
36是在最后級的第2縫隙噴嘴35的后方配置的縫隙式的空氣噴嘴，通過在基板100的表面的行進(jìn)方向一部分上遍及整個寬度直線狀地噴吹空氣，從基板表面除去腐蝕液。
在這樣構(gòu)成的本實施例的連續(xù)式基板處理裝置中，首先使從阻液部20進(jìn)入到腐蝕部30的基板100在第1縫隙噴嘴33流下的Al腐蝕液膜中通過，在其表面上從前端部依次供給腐蝕液。接著，使其從噴淋單元34噴射的Al腐蝕液中通過，向基板100的整個表面供給Al腐蝕液，進(jìn)行規(guī)定的腐蝕。
如果向基板100的表面突然噴淋Al腐蝕液，則最初受到液滴的部分處理不勻而殘留，通過事先在腐蝕液的膜中穿過，在其表面上均勻地供給腐蝕液，所以可防止隨著腐蝕液的噴淋處理產(chǎn)生的處理不勻。
通過使用Al腐蝕液的噴淋處理，可有選擇地腐蝕在基板100的表面上形成的Al層或Al/Mo層。在該噴淋處理中，殘留的Al層或Al/Mo層的邊緣面變?yōu)椴贿m合下一層的層積的急劇的傾斜面。但是，接著該噴淋處理，從第2縫隙噴嘴35向基板100的表面供給膜狀流下的Al腐蝕液，使該表面保持涂漿的狀態(tài)。在這期間，平緩地進(jìn)行腐蝕處理，如圖3中點劃線所示，殘留的Al層或Al/Mo層的邊緣面變?yōu)檫m合下一層的層積的平緩的傾斜面。
由多個第2縫隙噴嘴35構(gòu)成的化學(xué)刮刀方式的第2處理部，比如說，將由噴淋單元34構(gòu)成的第1處理部的后級部分置換成涂漿處理部。涂漿處理時間為腐蝕液的整個處理時間的10～45％較好，20～40％更好。如果涂漿處理時間過短，則邊緣面的傾斜未充分緩和，而過長則變?yōu)橄喾吹男Ч?，存在處理效率下降和液體無用消耗的問題。在涂漿處理部也可以使基板100往復(fù)移動，確保其處理時間。
在上述實施例中，將腐蝕部30與第1縫隙噴嘴33、噴淋單元34及第2縫隙噴嘴35組合來形成復(fù)合處理部，但如上所述，也可以省略第1縫隙噴嘴33及噴淋單元34，由第2縫隙噴嘴35從腐蝕部30的入口部分大致在整個區(qū)域進(jìn)行涂漿處理。
產(chǎn)業(yè)上的利用可能性如以上說明，本發(fā)明的傳送式基板處理裝置在噴淋方式的第1處理部的下游側(cè)，設(shè)置向基板表面的寬度方向整個區(qū)域膜狀地供給處理液的縫隙噴嘴構(gòu)成的化學(xué)刮刀方式的第2處理部，從而可以將成為Al腐蝕問題的Al層的邊緣面急劇上升改變?yōu)檫m合下一層的層積的平緩的傾斜。
此外，在第1處理部的入口部，設(shè)置在噴淋處理之前進(jìn)行化學(xué)刮刀處理的縫隙噴嘴，在噴淋處理之前，通過使基板在處理液的流下膜中穿過，可以防止噴淋處理造成的處理不勻。
此外，為了從處理液的處理部的入口部大致在整個區(qū)域進(jìn)行涂漿處理，通過在基板的傳送方向上一級或多級地配置向基板表面的寬度方向整個區(qū)域膜狀地供給處理液的縫隙噴嘴，從而可以將成為Al腐蝕問題的Al層的邊緣面急劇上升改變?yōu)檫m合下一層的層積的平緩的傾斜。
權(quán)利要求
1.一種傳送式基板處理裝置，將基板沿水平方向傳送的同時向該基板的表面供給處理液，其特征在于，該裝置包括噴淋方式的第1處理部，從基板的傳送方向及與該傳送方向成直角方向排列的多個噴射噴嘴向基板的整個表面供給處理液；以及化學(xué)刮刀方式的第2處理部，從在第1處理部的下游側(cè)配置成一級或多級的縫隙噴嘴向基板表面的寬度方向整個區(qū)域膜狀地供給處理液。
2.如權(quán)利要求1所述的傳送式基板處理裝置，其特征在于，在所述第1處理部的入口部，設(shè)置在進(jìn)行噴淋處理之前進(jìn)行化學(xué)刮刀處理的縫隙噴嘴。
3.如權(quán)利要求1所述的傳送式基板處理裝置，其特征在于，所述處理液是Al腐蝕液。
4.一種傳送式基板處理裝置，將基板沿水平方向傳送的同時向該基板的表面供給處理液，其特征在于，為了從所述處理液的處理部的入口部分大致在整個區(qū)域進(jìn)行涂漿處理，將向基板表面的寬度方向整個區(qū)域膜狀地供給處理液的縫隙噴嘴沿所述基板的傳送方向配置一級或多級。
5.如權(quán)利要求4所述的傳送式基板處理裝置，其特征在于，所述處理液是Al腐蝕液。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供適用于Al腐蝕、可以將Al層的邊緣面形成為適合下一層的層積的平緩的傾斜面的傳送式基板處理裝置。為了實現(xiàn)該目的，在從多個噴射噴嘴(34a)向基板(100)的整個表面供給處理液的噴淋單元(34)的下游側(cè)，設(shè)置一級或多級縫隙噴嘴(35)，向基板表面的寬度方向整個區(qū)域膜狀地供給處理液。通過使用縫隙噴嘴(35)的化學(xué)刮刀處理，實現(xiàn)在基板(100)的表面上較薄地載置處理液的涂漿的狀態(tài)。
文檔編號B05B1/02GK1398425SQ01804737
公開日2003年2月19日 申請日期2001年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2000年12月11日
發(fā)明者下田亨志, 田內(nèi)仁 申請人:住友精密工業(yè)株式會社