技術(shù)編號：3774410
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及液晶顯示裝置用玻璃基板的制造等中使用的傳送式基板處理裝置。背景技術(shù) 液晶顯示裝置中使用的玻璃基板，通過對作為基材的玻璃基板的表面反復(fù)實施腐蝕、剝離等化學(xué)處理來制造。該處理裝置大致分為干式和濕式；濕式又分為批量式和葉片式；葉片式又分為旋轉(zhuǎn)式和基于滾輪傳送等的傳送式。在這些基板處理裝置中，傳送式的裝置具有將基板向水平方向傳送的同時對該基板的表面供給處理液的基本結(jié)構(gòu)，由于效率高，所以在以前被用于腐蝕處理和剝離處理。腐蝕處理上使用的傳送式基板處理裝置從在...
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