技術總結
本發(fā)明公開了一種頻率片的腐蝕方法，首先利用高效清洗液對頻率片表面潔凈處理，去除脂類、微生物類污漬，為腐蝕打下良好基礎；再設計性質溫和的腐蝕體系，結合旋轉腐蝕工藝，有效對頻率片進行腐蝕，腐蝕速度提高到0.3μm/min，遠高于現(xiàn)有0.18μm/min，腐蝕后的頻率片頻率偏差范圍從±50KHz下降到±10KHz。

技術研發(fā)人員：徐亮
受保護的技術使用者：蘇州普銳晶科技有限公司
文檔號碼：201610549209
技術研發(fā)日：2016.07.13
技術公布日：2016.12.07