專利名稱：含有乙烯基醚基團(tuán)的共聚物及其制備方法和應(yīng)用的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種含有乙烯基醚基團(tuán)的共聚物及其制備方法和應(yīng)用。
背景技術(shù)：
彩色光阻劑主要由顏料液、堿溶性成膜樹脂、多官能度單體和光引發(fā)劑構(gòu)成(參見中國專利申請(qǐng)CN101613276A)。甲基丙烯酸類樹脂是彩色光阻劑中通常使用的成膜樹脂，其具有高度的透明性及分辨率。在甲基丙烯酸類成膜樹脂側(cè)鏈上具有一定比例的雙鍵，所以能夠在自由基聚合引發(fā)劑的作用下發(fā)生高分子鏈間的聚合，或者與小分子發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)。通常引入的雙鍵為甲基丙烯酸雙鍵，所發(fā)生的聚合為自由基聚合，而自由基聚合易受到氧的阻聚作用的干擾，有時(shí)導(dǎo)致彩色光阻劑的感度下降，顯影性差。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述彩色光阻劑的感度下降，顯影性差的問題，本發(fā)明提供一種含有乙烯基醚基團(tuán)的共聚物、其制備方法以及利用該共聚物制備得到的彩色光阻劑，具體方案如下。一種含有乙烯基醚基團(tuán)的共聚物，其由通式1、I1、111所示的結(jié)構(gòu)單元組成，
權(quán)利要求
1.一種含有乙烯基醚基團(tuán)的共聚物，其特征在于，由通式1、IIJII所示的結(jié)構(gòu)單元組成，
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的共聚物，其特征在于，所述共聚物為無規(guī)共聚物或嵌段共聚物。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的共聚物，其特征在于，Xy z=4 一 6:2 — 3:2 — 4,所述共聚物的重均分子量為14000-17000。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的共聚物，其特征在于，R2為甲基、乙基或丁內(nèi)酯基，η為2-4的正整數(shù)。
5.制備權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的共聚物的方法，其特征在于，包括以下步驟(1)由甲基丙烯酸、通式VI所示的甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酰氯共聚得到共聚物I;
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，步驟(I)如下進(jìn)行甲基丙烯酸、通式VI所示的甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酰氯在引發(fā)劑的作用下，于50-90°C下反應(yīng)8-20h，得到共聚物I ;所述步驟(2)如下進(jìn)行在35-50°C下將通式V所示的乙烯基醚經(jīng)l_3h滴加到所述共聚物I中，反應(yīng)5-20小時(shí),得到所述共聚物。
7.權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的共聚物在制備彩色光阻劑中的應(yīng)用。
8.一種彩色光阻劑，其特征在于，包含權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的共聚物。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的彩色光阻劑，其特征在于，還包括自由基聚合引發(fā)劑和陽離子聚合引發(fā)劑。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的彩色光阻劑，其特征在于，所述自由基聚合引發(fā)劑為選自1-羥基環(huán)己基苯基甲酮、2-甲基-1- (4-甲硫基苯基)-2_嗎啉基-1-丙酮和2-異丙基硫雜蒽酮中的一種或幾種；所述陽離子聚合引發(fā)劑為選自AlCl3、BF3、SnCl4、PAG-201、ZnCl2*TiBr4中的一種或幾種。
全文摘要
本發(fā)明提供一種含有乙烯基醚基團(tuán)的共聚物及其制備方法和應(yīng)用，所述共聚物由通式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ所示的結(jié)構(gòu)單元組成，其中，R1為O或HN，R2為碳原子數(shù)1-4的烷基、環(huán)己基或通式Ⅳ所示的基團(tuán)(m表示1-3的正整數(shù))，n為1-4的正整數(shù)，通式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ所示的結(jié)構(gòu)單元的摩爾數(shù)分別為x、y、z，并且xyz=3－81－41－5，所述共聚物的重均分子量為5000-20000。添加有該共聚物的彩色光阻劑能夠提高感度。并且，該共聚物在堿性溶液中具有溶解性，所以，添加有該共聚物的彩色光阻劑具有良好的顯影性。
文檔編號(hào)C08F220/02GK103012652SQ20121054670
公開日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月14日
發(fā)明者劉陸, 舒適, 齊永蓮, 徐傳祥 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司