高精度晶體提升裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及到單晶爐設備領域，具體涉及到高精度晶體提升裝置。
【背景技術】
[0002]晶棒的生長的均勻性與晶體提升裝置的精確程度有直接的聯(lián)系。傳統(tǒng)的晶體提升裝置雖然可以做到勻速提升晶棒，但在產(chǎn)品調整和工藝調整，或者拉晶出現(xiàn)意外情況下，操作人員需要憑借個人經(jīng)驗以及對單晶爐的大量觀察來收集信息，做出應對方案和調整。這樣做可能對于拉晶的精度造成影響，并且可能由于人員的經(jīng)驗不足造成不必要的損失。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]為解決上述問題，本新型提供一種高精度晶體提升裝置，提高單晶爐拉晶速度的調整靈活性，降低工藝調整難度，降低拉晶過程中出現(xiàn)意外情況時的處理難度，提高單晶品質，提高單晶爐的容錯性。
[0004]為實現(xiàn)以上目的，采用以下技術方案:高精度晶體提升裝置，其特征在于，傳動軸一端通過鏈輪安裝在減速機上，傳動軸的另一端安裝軸承座，卷絲軸安裝在傳動軸上，卷絲軸通過傳動螺母安裝在軸承座上；絲桿一端安裝在一個鏈輪上，絲桿的另一端安裝有拉線位移傳感器，滑塊安裝在絲桿上，拉纖位移傳感器的線頭連接到滑塊；傳動軸端的鏈輪與絲桿端鏈輪通過鏈條聯(lián)接。
[0005]所述的卷絲軸的螺紋和傳動螺母的螺紋相同。
[0006]本實用新型益效果:本新型可保持晶繩下放位置固定，提升速度精確調整，實時監(jiān)控。并且可以隨時判斷晶繩下端的垂直高度，為工藝調整和拉晶過程中出現(xiàn)意外情況的處理提供準確的爐內(nèi)信息，使單晶爐具有更高的可靠性和更靈活的可控制性。
【附圖說明】
[0007]圖1是本實用新型的結構示意圖；
[0008]如圖所示:1、減速機；2、傳動軸；3、卷絲軸；4、傳動螺母；5、軸承座；6、拉線位移傳感器；7、滑塊；8、絲桿；9、鏈條。
【具體實施方式】
實施例
[0009]如圖1所示，傳動軸(2) —端通過鏈輪安裝在減速機(I)上，傳動軸(2)的另一端安裝軸承座(5 )，卷絲軸(3 )安裝在傳動軸(2 )上，并且卷絲軸(3 )通過傳動螺母(4)安裝在軸承座(5)上；絲桿(8) —端安裝在一個鏈輪上，絲桿(8)的另一端安裝有拉線位移傳感器
(6)，滑塊(7)安裝在絲桿(8)上，拉線位移傳感器(6)的線頭連接到滑塊(7);傳動軸(2)端的鏈輪與絲桿(8)端鏈輪通過鏈條(9)聯(lián)接。卷絲軸(3)的螺紋與傳動螺母(4)的螺紋相同。
[0010]由減速機(I)驅傳動軸(2)，帶動卷絲軸(3)旋轉，由于4傳動螺母(4)位置固定，卷絲軸(3)在隨著螺紋沿軸向做前后運動。由于卷絲軸(3)大端和小端以及傳動螺母(4)的螺紋相同，所以轉動線速度均勻即可保證晶繩(10)提升速度均勻。同時，傳動軸(I)帶動鏈條(9)，進而驅動絲桿(8)轉動，滑塊(7)隨之移動，拉線位移傳感器(6)的線頭連接到滑塊(7)上，通過初始位置設置和速比設置，即可隨時反應出晶繩、晶棒的運動情況，結合稱重模塊，就可以精確定位晶棒的長度，位置。
【主權項】
1.高精度晶體提升裝置，其特征在于，傳動軸(2)—端通過鏈輪安裝在減速機(I)上，傳動軸(2)的另一端安裝軸承座(5)，卷絲軸(3)安裝在傳動軸(2)上，并且卷絲軸(3)通過傳動螺母(4)安裝在軸承座(5)上；絲桿(8) —端安裝在一個鏈輪上，絲桿(8)的另一端安裝有拉線位移傳感器(6)，滑塊(7)安裝在絲桿(8)上，拉線位移傳感器(6)的線頭連接到滑塊(7 );傳動軸(2 )端的鏈輪與絲桿(8 )端鏈輪通過鏈條(9 )聯(lián)接。
2.根據(jù)權利要求1所述的高精度晶體提升裝置，其特征在于，所述的卷絲軸的螺紋和傳動螺母的螺紋相同。
【專利摘要】本實用新型公開了一種高精度晶體提升裝置，采用了減速機通過傳動軸驅動卷絲軸提升，通過鏈條同步帶動絲桿螺母驅動的拉線位移傳感器，以精確反饋晶繩和晶棒狀態(tài)。本晶體提升裝置可保持晶繩下放位置固定，提升速度精確調整，實時監(jiān)控。并且可以隨時判斷晶繩下端的垂直高度，為工藝調整和拉晶過程中出現(xiàn)意外情況的處理提供準確的爐內(nèi)信息，使單晶爐具有更高的可靠性和更靈活的可控制性。
【IPC分類】C30B15-30
【公開號】CN204550787
【申請?zhí)枴緾N201520136994
【發(fā)明人】曹玉寶, 黎志欣, 理查德·韋伯, 劉二飛
【申請人】大連連城數(shù)控機器股份有限公司
【公開日】2015年8月12日
【申請日】2015年3月11日