r>[0054] 6)取所述的氟磷玻璃放入聚四氟乙烯的盒子內(nèi)，加入所述的稀釋的堿溶液，然后 放入超聲清洗機內(nèi)，在30°C清洗15分鐘，再用去離子水超聲清洗，取出所述的氟磷玻璃；
[0055] 7)對所述的氟磷玻璃不加拋光劑在拋光輪上拋光。
[0056] 實施例3
[0057] 本實施例氟磷酸鹽玻璃表面處理方法，包括以下步驟：
[0058] 1)按下列比例配置所述的混合酸和混合堿溶液；
[0059] 混合酸由鹽酸、高氯酸、氫氟酸組成，成分如下：
[0060]
[0061] 混合堿溶液由氫氧化鉀和氫氧化鈉按下列比例組成：
[0062]成分 mol%
[0063] KOH 60
[0064] NaOH 40
[0065] 2)取拋光后的氟磷玻璃放入聚四氟乙烯的盒子內(nèi)，加入去離子水，然后放入超聲 清洗機內(nèi)，在30°C清洗5分鐘，取出所述的氟磷玻璃；
[0066] 3)配置稀釋的混合酸由所述的混合酸、純水按摩爾百分比1:6組成；
[0067] 4)取去離子水超聲清洗的氟磷玻璃放入聚四氟乙烯的盒子內(nèi)，加入所述的稀釋的 混合酸，然后放入超聲清洗機內(nèi)，在30°C清洗5分鐘，再用去離子水超聲清洗，取出所述的 氟磷玻璃；
[0068] 5)配置稀釋的混合堿溶液由所述的堿溶液、純水按摩爾百分比1:1組成；
[0069] 6)取所述的氟磷玻璃放入聚四氟乙烯的盒子內(nèi)，加入所述的稀釋的堿溶液，然后 放入超聲清洗機內(nèi)，在30°C清洗10分鐘，再用去離子水超聲清洗，取出所述的氟磷玻璃；
[0070]7)對所述的氟磷玻璃不加拋光劑在拋光輪上拋光。
[0071] 實施例4
[0072] 本實施例氟磷酸鹽玻璃表面處理方法，包括以下步驟：
[0073] 1)按下列比例配置所述的混合酸和混合堿溶液；
[0074] 混合酸由鹽酸、高氯酸、氫氟酸組成，成分如下：
[0075]
[0076] 混合堿溶液由氫氧化鉀和氫氧化鈉按下列比例組成：
[0077]成分 mol%
[0078] KOH 60
[0079] NaOH 40
[0080] 2)取拋光后的氟磷玻璃放入聚四氟乙烯的盒子內(nèi)，加入去離子水，然后放入超聲 清洗機內(nèi)，在30°C清洗5分鐘，取出所述的氟磷玻璃；
[0081] 3)配置稀釋的混合酸由所述的混合酸、純水按摩爾百分比1:6組成；
[0082] 4)取去離子水超聲清洗的氟磷玻璃放入聚四氟乙烯的盒子內(nèi)，加入所述的稀釋的 混合酸，然后放入超聲清洗機內(nèi)，在30°C清洗3分鐘，再用去離子水超聲清洗，取出所述的 氟磷玻璃；
[0083] 5)配置稀釋的混合堿溶液由所述的堿溶液、純水按摩爾百分比1:4組成；
[0084] 6)取所述的氟磷玻璃放入聚四氟乙烯的盒子內(nèi)，加入所述的稀釋的堿溶液，然后 放入超聲清洗機內(nèi)，在30°C清洗10分鐘，再用去離子水超聲清洗，取出所述的氟磷玻璃；
[0085] 7)對所述的氟磷玻璃不加拋光劑在拋光輪上拋光。
[0086] 實施例5
[0087] 本實施例氟磷酸鹽玻璃表面處理方法，包括以下步驟：
[0088] 1)按下列比例配置所述的混合酸和混合堿溶液；
[0089] 混合酸由鹽酸、高氯酸、氫氟酸組成，成分如下：
[0090]
[0091] 混合堿溶液由氫氧化鉀和氫氧化鈉按下列比例組成：
[0092]成分 mol%
[0093] KOH 60
[0094] NaOH 40
[0095] 2)取拋光后的氟磷玻璃放入聚四氟乙烯的盒子內(nèi)，加入去離子水，然后放入超聲 清洗機內(nèi)，在30°C清洗5分鐘，取出所述的氟磷玻璃；
[0096] 3)配置稀釋的混合酸由所述的混合酸、純水按摩爾百分比1:4組成；
[0097] 4)取去離子水超聲清洗的氟磷玻璃放入聚四氟乙烯的盒子內(nèi)，加入所述的稀釋的 混合酸，然后放入超聲清洗機內(nèi)，在30°C清洗1分鐘，再用去離子水超聲清洗，取出所述的 氟磷玻璃；
[0098] 5)配置稀釋的混合堿溶液由所述的堿溶液、純水按摩爾百分比1:2組成；
[0099] 6)取所述的氟磷玻璃放入聚四氟乙烯的盒子內(nèi)，加入所述的稀釋的堿溶液，然后 放入超聲清洗機內(nèi)，在30°C清洗5分鐘，再用去離子水超聲清洗，取出所述的氟磷玻璃；
[0100] 7)對所述的氟磷玻璃不加拋光劑在拋光輪上拋光。
【主權(quán)項】
1. 一種氣磯酸鹽玻璃表面處理方法，特征在于該方法包括w下步驟： 1) 按下列比例配置所述的混合酸和混合堿溶液； 混合酸由鹽酸、高氯酸、氨氣酸組成，成分如下： 組成 moi% HC1 30 HC104 50 腫 20 混合堿溶液由氨氧化鐘和氨氧化鋼按下列比例組成： 成分 mol% K0H 60 化 OH 40 2) 取拋光后的氣磯玻璃放入聚四氣己締的盒子內(nèi)，加入去離子水，然后放入超聲清洗 機內(nèi)，在30°C清洗5分鐘，取出所述的氣磯玻璃； 3) 配置稀釋的混合酸；將所述的混合酸和純水按摩爾百分比配置，摩爾百分比的配置 范圍為1:1~1:6 ; 4) 取去離子水超聲清洗的氣磯玻璃放入聚四氣己締的盒子內(nèi)，加入所述的稀釋的混合 酸，然后放入超聲清洗機內(nèi)，在30°C清洗1~10分鐘，再用去離子水超聲清洗，取出所述的 氣磯玻璃； 5) 配置稀釋的混合堿溶液；將所述的堿溶液和純水按摩爾百分比配置，摩爾百分比的 配置范圍為1:1~1:4 ; 6) 取所述的氣磯玻璃放入聚四氣己締的盒子內(nèi)，加入所述的稀釋的堿溶液，然后放入 超聲清洗機內(nèi)，在30°C清洗5~20分鐘，再用去離子水超聲清洗，取出所述的氣磯玻璃； 7) 對所述的氣磯玻璃不加拋光劑在拋光輪上拋光。
【專利摘要】一種氟磷酸鹽玻璃表面處理方法，該發(fā)明采用化學腐蝕與機械拋光相結(jié)合的方式達到處理玻璃表面的目的。本發(fā)明能夠有效消除氟磷酸鹽玻璃由于機械加工引入的裂紋層以及積攢于劃痕處的雜質(zhì)，減少表面缺陷，降低玻璃表面的粗糙度。具體的表面處理方法為：先用混合酸清洗表面雜質(zhì)，使劃痕暴露在表面層；再用堿液腐蝕玻璃表面，去除微裂紋層以及劃痕；最后進行二次拋光，使其表面透明并且光滑。該方法的優(yōu)勢在于:混合酸和混合堿溶液分別去除玻璃表面的雜質(zhì)和裂紋層，能夠降低玻璃表面的粗糙度。
【IPC分類】C03C15/00
【公開號】CN104926147
【申請?zhí)枴緾N201510291764
【發(fā)明人】王超, 張麗艷, 陳輝宇, 胡麗麗
【申請人】中國科學院上海光學精密機械研究所
【公開日】2015年9月23日
【申請日】2015年5月29日