本發(fā)明涉及一種制氮裝置，具體涉及為一種低成本、低空耗產(chǎn)氮及產(chǎn)氮過程中產(chǎn)生的富氮回收提純利用的裝備及其制取方法。

背景技術(shù)：

psa產(chǎn)氮技術(shù)通常由空壓機(jī)提供一定壓力的空氣通過產(chǎn)氮機(jī)分子篩吸附，輸出純氮?dú)怏w。因生產(chǎn)空氣壓力不可調(diào)、相同制取量低壓下產(chǎn)氮機(jī)體積大、投資大、耗氣高、成本大缺陷；現(xiàn)有工藝也存在需用純氮置換吸附罐內(nèi)不合格氣體，直接排空，造成純氮資源消耗；現(xiàn)有工藝也因常壓解析、未能最大釋放解析能力、導(dǎo)致分子篩吸附能力變?nèi)?，生產(chǎn)耗氣大；現(xiàn)有工藝也因壓力解析過程中前期富氮排空浪費(fèi)現(xiàn)象和產(chǎn)生噪音污染；現(xiàn)有工藝也存在不合格氮?dú)庵苯优欧刨Y源浪費(fèi)等缺陷。

現(xiàn)有技術(shù)中國專利號201020237692.9公開的一種節(jié)能型產(chǎn)氮機(jī)，它包括反應(yīng)塔、空氣管道、氮?dú)饩彌_罐、精密過濾器和氮?dú)饬髁坑?jì)組成，該裝置工作時(shí)：兩個反應(yīng)塔一個工作，一個再生。壓縮空氣通過空氣管道進(jìn)入正在工作的反應(yīng)塔，在反應(yīng)塔內(nèi)生成氮?dú)?；氮?dú)鈴姆磻?yīng)塔出來通過空氣管道進(jìn)入氮?dú)饩彌_罐；一部分氮?dú)馔ㄟ^空氣管道進(jìn)入未工作的反應(yīng)塔，在反應(yīng)塔內(nèi)自上而下經(jīng)過碳分子篩床層，過濾掉不合格的氮?dú)?，合格的氮?dú)鈴脑摲磻?yīng)塔的下部進(jìn)入空氣管道，再經(jīng)過空氣管道口的消音器排入大氣當(dāng)中；上述節(jié)能型產(chǎn)氮機(jī)的缺點(diǎn)包括：

1.用合格氮?dú)膺^濾掉不合格氮?dú)?、增加合格氮?dú)獾南摹⒃黾舆\(yùn)行成本；

2.用合格氮?dú)膺^濾掉不合格氮?dú)狻⑴湃氪髿庵?、富氮?dú)怏w未回收利用、造成浪費(fèi)、增加運(yùn)行成本；

3.消音器放空、產(chǎn)生環(huán)境噪音污染；

現(xiàn)有技術(shù)中國專利號201310592973.4公開的一種具有回收富氧氣體功能的制氮機(jī)，它包括通過管道連接的第一吸附塔、第二吸附塔以及消音器，所述制氮機(jī)還包括用于回收富氧氣體的回收裝置，該裝置將排空的富氧加壓回收利用；上述回收富氧氣體功能的制氮機(jī)的缺點(diǎn)包括：

1.上述排出的富氧通過加壓進(jìn)入后道壓縮空氣系統(tǒng)中，對氧含量要求的工況不適應(yīng)；

2.制氮機(jī)剛開始帶有一定壓力解析時(shí)，排出為富氮?dú)怏w；當(dāng)壓力下降至常壓時(shí)分子篩排出吸附的氧氣；上述回收富氧氣體功能的制氮機(jī)并未對解析前期富氮?dú)怏w回收提純利用、增加運(yùn)行成本；

3.產(chǎn)氮機(jī)解析通過消音器放空、產(chǎn)生環(huán)境噪音污染；

當(dāng)然，現(xiàn)有技術(shù)中還存在，

1.制氮機(jī)排出的氮?dú)饨?jīng)純度分析儀檢測后，不合格的氮?dú)庵苯优湃氪髿庵?，未回收提純利用、造成資源的浪費(fèi)；

2.從生產(chǎn)系統(tǒng)壓縮空氣中取出一部分壓縮空氣制氮，其壓力受生產(chǎn)系統(tǒng)決定、無法調(diào)節(jié)，造成制氮設(shè)備體積大、投資大、產(chǎn)氮低等缺陷；

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

技術(shù)問題：本發(fā)明目的在于克服上述提到的缺陷和不足，而提供一種由空氣增壓系統(tǒng)、負(fù)壓解析系統(tǒng)、富氮回收系統(tǒng)組成的低空耗富氮回收制氮裝置及制取方法。

該裝置可相同產(chǎn)氮下設(shè)備體積減小、投資降低；可取消消音器消除環(huán)境噪音污染；對產(chǎn)氮排出不合格氮?dú)膺M(jìn)行回收、提純利用；克服可原富氮資源浪費(fèi)、空氣壓力不可調(diào)、常壓解析、環(huán)境噪音污染等缺陷。

技術(shù)方案：本發(fā)明的一種低空耗富氮回收制氮裝置包括空氣增壓系統(tǒng)、負(fù)壓解析系統(tǒng)、富氮回收系統(tǒng)、產(chǎn)氮系統(tǒng)、檢測系統(tǒng)組成；其中，產(chǎn)氮a罐與產(chǎn)氮b罐的上部通過串聯(lián)的第一出氮閥、第二出氮閥連接，中部通過平衡閥連接，下部分別通過串聯(lián)的第一進(jìn)氣閥、第二進(jìn)氣閥和串聯(lián)的第一排放閥、第二排放閥連接，串聯(lián)的第一進(jìn)氣閥、第二進(jìn)氣閥與串聯(lián)的第一排放閥、第二排放閥相并聯(lián)；

空氣增壓系統(tǒng)、富氮回收系統(tǒng)的進(jìn)氣口分別通過進(jìn)氣管接第一進(jìn)氣閥、第二進(jìn)氣閥的中間，負(fù)壓解析系統(tǒng)、富氮回收系統(tǒng)的出氣口分別通過放空管接第一排放閥、第二排放閥的中間；

氮?dú)饩彌_罐的上部通過氮?dú)夤芙拥谝怀龅y、第二出氮閥的中間，氮?dú)饩彌_罐的下部通過順序通過純度分析儀、排氣閥、排氣管接富氮回收系統(tǒng)的富氮儲罐上。

所述的空氣增壓系統(tǒng)包括空壓機(jī)、空氣管、壓縮空氣罐、出氣管、出氣閥、增壓泵、泵切斷閥、壓力傳感器、增壓傳感器；空壓機(jī)通過空氣管連接到壓縮空氣罐提供壓縮空氣；壓縮空氣罐的一個出氣口通過出氣管通過出氣閥連接到進(jìn)氣管；壓縮空氣罐的另一個出氣口通過順序通過增壓泵和切斷閥連接到進(jìn)氣管；壓力傳感器固定在壓縮空氣罐上；增壓傳感器固定在空氣管路上。

所述的負(fù)壓解析系統(tǒng)包括串聯(lián)連接的解析切斷閥、真空泵、放空管。

所述的富氮回收系統(tǒng)包括順序串聯(lián)連接的富氮進(jìn)氣閥、富氮儲罐、加壓閥、加壓泵，富氮進(jìn)氣閥的進(jìn)口接放空管，壓力傳感器安裝在放空管上；加壓泵的出口接進(jìn)氣管，富氮罐壓力開關(guān)位于富氮儲罐上。

本發(fā)明的低空耗富氮回收制氮裝置的制取方法包括步驟如下：

1).空氣增壓系統(tǒng)中空壓機(jī)通過空氣管向壓縮空氣罐提供壓縮空氣；控制柜打開出氣閥、壓縮空氣從出氣管經(jīng)出氣閥向進(jìn)氣管供氣，打開第一進(jìn)氣閥，進(jìn)氣管向產(chǎn)氮系統(tǒng)吸附產(chǎn)氮a罐提供壓縮空氣；當(dāng)產(chǎn)氮a罐壓力與壓縮空氣罐平衡時(shí)，關(guān)閉出氣閥、打開泵切斷閥、啟動增壓泵向吸附產(chǎn)氮a罐供氣加壓；當(dāng)吸附產(chǎn)氮a罐壓力達(dá)到設(shè)定壓力時(shí)，進(jìn)氣管上增壓傳感器反饋關(guān)閉切斷閥并停止增壓泵、關(guān)閉第一進(jìn)氣閥，此時(shí)產(chǎn)氮a罐進(jìn)入增壓吸附狀態(tài)；

2).產(chǎn)氮a罐吸附上述進(jìn)入的壓縮空氣中氧氣，達(dá)到設(shè)定時(shí)間后、出氮閥打開、氮?dú)饨?jīng)氮?dú)夤苓M(jìn)入氮?dú)饩彌_罐，經(jīng)純度分析儀檢測、合格氮?dú)獯蜷_輸出閥進(jìn)入生產(chǎn)系統(tǒng)，不合格氮?dú)獯蜷_排氣閥通過排氣管進(jìn)入富氮回收系統(tǒng)富氮儲罐中；

3).產(chǎn)氮a罐完成氮?dú)馀懦龊?、關(guān)閉第一出氮閥、產(chǎn)氮a罐進(jìn)入解析狀態(tài)，平衡閥開啟、平衡產(chǎn)氮a罐與產(chǎn)氮b罐壓力后關(guān)閉平衡閥；

4).產(chǎn)氮a罐壓力平衡后打開第一排放閥和富氮進(jìn)氣閥；產(chǎn)氮a罐通過壓差將富氮?dú)怏w經(jīng)放空管排進(jìn)常壓狀態(tài)下富氮儲罐中；隨著產(chǎn)氮a罐壓力下降達(dá)到壓力傳感器設(shè)定值關(guān)閉富氮進(jìn)氣閥；

5).壓力傳感器達(dá)設(shè)定值，開啟解析切斷閥和真空泵開啟，由真空泵抽產(chǎn)氮a罐至設(shè)定負(fù)壓，在壓力下降至負(fù)壓過程中產(chǎn)氮a罐內(nèi)解析出的氧氣通過真空泵經(jīng)放空管排空；

6).產(chǎn)氮a罐解析過程時(shí)，產(chǎn)氮b罐進(jìn)入吸附狀態(tài)，控制柜打開第二進(jìn)氣閥、加壓閥、開啟加壓泵，將富氮儲罐中上述步驟2)、步驟4)收集的富氮通過加壓泵經(jīng)進(jìn)氣管、第二進(jìn)氣閥進(jìn)入產(chǎn)氮b罐中；當(dāng)富氮罐壓力開關(guān)達(dá)設(shè)定值、切斷加壓閥、停止加壓泵；

7).控制柜打開出氣閥、壓縮空氣從出氣管向進(jìn)氣管補(bǔ)氣，當(dāng)產(chǎn)氮b罐壓力與壓縮空氣罐平衡時(shí)，關(guān)閉出氣閥、打開泵切斷閥、啟動增壓泵向吸附產(chǎn)氮b罐供氣加壓；當(dāng)吸附產(chǎn)氮b罐壓力達(dá)到設(shè)定壓力時(shí)，進(jìn)氣管上增壓傳感器反饋關(guān)閉切斷閥并停止增壓泵、關(guān)閉第一進(jìn)氣閥，此時(shí)產(chǎn)氮b罐進(jìn)入增壓吸附狀態(tài)；

8).產(chǎn)氮b罐吸附上述進(jìn)入的壓縮空氣中氧氣，達(dá)到設(shè)定時(shí)間后、第二出氮閥打開、氮?dú)饨?jīng)氮?dú)夤苓M(jìn)入氮?dú)饩彌_罐，經(jīng)純度分析儀檢測、合格氮?dú)獯蜷_輸出閥進(jìn)入生產(chǎn)系統(tǒng)，不合格氮?dú)獯蜷_排氣閥通過排氣管進(jìn)入富氮回收系統(tǒng)富氮儲罐中；

9).產(chǎn)氮b罐完成氮?dú)馀懦龊蟆㈥P(guān)閉第二出氮閥、產(chǎn)氮b罐進(jìn)入解析狀態(tài)，平衡閥開啟、平衡產(chǎn)氮a罐與產(chǎn)氮b罐壓力后關(guān)閉平衡閥；

10).產(chǎn)氮b罐負(fù)壓解析過程重復(fù)上述步驟4)、步驟5)完成產(chǎn)氮a罐、產(chǎn)氮b罐一個周期循環(huán)。

有益效果：本發(fā)明優(yōu)點(diǎn)在于結(jié)構(gòu)新穎，采用一種由空氣增壓系統(tǒng)、負(fù)壓解析系統(tǒng)、富氮回收系統(tǒng)組成的低空耗富氮回收制氮裝置及制取方法。

該裝置采用空氣增壓系統(tǒng)：利用分子篩隨壓力增加、吸附能力提升的特性，采用空氣進(jìn)入產(chǎn)氮罐平衡后再次增壓提高系統(tǒng)壓力，提升產(chǎn)氮，可相同產(chǎn)氮下設(shè)備體積減小、投資降低；

該裝置采用負(fù)壓解析系統(tǒng)，對解析過程細(xì)化、真空泵使分子篩由常壓解析轉(zhuǎn)為負(fù)壓解析、進(jìn)一步釋放分子篩吸附的氧含量：提高后續(xù)氧吸附能力；同時(shí)負(fù)壓解析系統(tǒng)可省卻原系統(tǒng)純氮置換殘留不合格氮?dú)庋b置，可取消消音器消除環(huán)境噪音污染；

該裝置采用富氮回收系統(tǒng)：對解析過程細(xì)化、回收壓力降至常壓過程中排出的富氮?dú)怏w進(jìn)一步提純利用；

該裝置采用富氧回收系統(tǒng)：對產(chǎn)氮排出不合格氮?dú)膺M(jìn)行回收、提純利用；

通過空氣增壓系統(tǒng)、負(fù)壓解析系統(tǒng)、可使制氮裝置體積小、效率高、投資低；富氮回收系統(tǒng)可將回收富氮再次輸送制氮裝置提純，降低源頭壓縮空氣的消耗，實(shí)現(xiàn)節(jié)能、低空耗、富氮回收利用的目的?？朔稍坏Y源浪費(fèi)、空氣壓力不可調(diào)、常壓解析、環(huán)境噪音污染等缺陷。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一種低空耗回收產(chǎn)氮裝備的示意圖；

圖2為圖1空氣增壓系統(tǒng)的示意圖；

圖3為圖1負(fù)壓解析系統(tǒng)的示意圖；

圖4為圖1富氮回收系統(tǒng)的示意圖；

其中包括：空氣增壓系統(tǒng)1、負(fù)壓解析系統(tǒng)2、富氮回收系統(tǒng)3、進(jìn)氣管4、產(chǎn)氮a罐5、第一進(jìn)氣閥6、第二進(jìn)氣閥7、第一排放閥8、第二排放閥9、第一出氮閥10、第二出氮閥11、平衡閥12、產(chǎn)氮b罐13、氮?dú)夤?4、氮?dú)饩彌_罐15、純度分析儀16、輸出閥17、排氣閥18、排氣管19、放空管20、控制柜21。

空氣增壓系統(tǒng)1包括：空壓機(jī)1.1、空氣管1.2、壓縮空氣罐1.3、出氣管1.4、出氣閥1.5、增壓泵1.6、泵切斷閥1.7、壓力傳感器1.8、增壓傳感器1.9。

負(fù)壓解析系統(tǒng)2包括：解析切斷閥2.1、真空泵2.2、放空管2.3。

富氮回收系統(tǒng)3包括：富氮進(jìn)氣閥3.1、富氮儲罐3.2、加壓閥3.3、加壓泵3.4、壓力傳感器3.5、富氮罐壓力開關(guān)3.6。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明采用一種由空氣增壓系統(tǒng)、負(fù)壓解析系統(tǒng)、富氮回收系統(tǒng)組成的低空耗富氮回收制氮裝置及制取方法。

該裝置采用空氣增壓系統(tǒng)：利用分子篩隨壓力增加、吸附能力提升的特性，采用空氣進(jìn)入產(chǎn)氮罐平衡后再次增壓提高系統(tǒng)壓力，提升產(chǎn)氮，可相同產(chǎn)氮下設(shè)備體積減小、投資降低；

該裝置采用負(fù)壓解析系統(tǒng)，對解析過程細(xì)化、真空泵使分子篩由常壓解析轉(zhuǎn)為負(fù)壓解析、進(jìn)一步釋放分子篩吸附的氧含量：提高后續(xù)氧吸附能力；同時(shí)負(fù)壓解析系統(tǒng)可省卻原系統(tǒng)純氮置換殘留不合格氮?dú)庋b置，可取消消音器消除環(huán)境噪音污染；

該裝置采用富氮回收系統(tǒng)：對解析過程細(xì)化、回收壓力降至常壓過程中排出的富氮?dú)怏w進(jìn)一步提純利用；回收排放的不合格氮?dú)猓煌ㄟ^加壓泵再次輸送制氮裝置提純，降低源頭壓縮空氣的消耗，實(shí)現(xiàn)節(jié)能、低空耗、富氮回收利用的目的。

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)描述。

本發(fā)明的一種低空耗回收產(chǎn)氮裝置包括空氣增壓系統(tǒng)1、負(fù)壓解析系統(tǒng)2、富氮回收系統(tǒng)3、產(chǎn)氮系統(tǒng)、檢測系統(tǒng)組成；

所述的空氣增壓系統(tǒng)1包括空壓機(jī)1.1、空氣管1.2、壓縮空氣罐1.3、出氣管1.4、出氣閥1.5、增壓泵1.6、泵切斷閥1.7、壓力傳感器1.8、增壓傳感器1.9。空壓機(jī)1.1與空氣管1.2連接向壓縮空氣罐1.3提供壓縮空氣；出氣管1.4和出氣閥1.5連接在壓縮空氣罐1.3上；增壓泵1.6和切斷閥1.7與壓縮空氣罐1.3連接；壓力傳感器1.8固定在壓縮空氣罐1.3上；增壓傳感器1.9固定在空氣管路4上；

所述的負(fù)壓解析系統(tǒng)2包括解析切斷閥2.1、真空泵2.2、放空管2.3。解析切斷閥2.1、真空泵2.2、放空管2.3與產(chǎn)氮系統(tǒng)放空管20連接；

所述的富氮回收系統(tǒng)包括富氮進(jìn)氣閥3.1、富氮儲罐3.2、加壓閥3.3、加壓泵3.4、壓力傳感器3.5、富氮罐壓力開關(guān)3.6。富氮進(jìn)氣閥3.1連接著富氮儲罐3.2與放空管20；壓力傳感器3.5安裝在放空管20上；加壓閥3.3固定在富氮儲罐3.2出口；加壓泵3.4連接著加壓閥3.3和進(jìn)氣管4；

所述的產(chǎn)氮系統(tǒng)包括進(jìn)氣管4、產(chǎn)氮a罐5、第一進(jìn)氣閥6、第二進(jìn)氣閥7、第一排放閥8、第二排放閥9、第一出氮閥10、第二出氮閥11、平衡閥12、產(chǎn)氮b罐13、氮?dú)夤?4、放空管20。進(jìn)氣管4與第一進(jìn)氣閥6、第二進(jìn)氣閥7連接固定在產(chǎn)氮罐底部；氮?dú)夤?4與第一出氮閥10、第二出氮閥11連接固定在產(chǎn)氮罐頂部；放空管20與第一排放閥8、第二排放閥9連接安裝在產(chǎn)氮罐底部；平衡閥12連接產(chǎn)氮a罐5、產(chǎn)氮b罐13中部；

所述的氮?dú)鈾z測系統(tǒng)包括氮?dú)饩彌_罐15、純度分析儀16、輸出閥17、排氣閥18、排氣管19。氮?dú)夤?4與氮?dú)饩彌_罐15連接；純氮分析儀固定在氮?dú)饩彌_罐15上；與純氮分析儀出口連接的輸出閥17與生產(chǎn)系統(tǒng)連接；與純氮分析儀出口連接的排放閥18通過排氣管19與富氮回收系統(tǒng)3連接；

本發(fā)明還提供了一種低空耗富氮回收制氮的方法，具體步驟如下：

1.空氣增壓系統(tǒng)1中空壓機(jī)1.1通過空氣管1.2向壓縮空氣罐1.3提供壓縮空氣；控制柜21打開出氣閥1.5、壓縮空氣從出氣管1.4經(jīng)出氣閥1.5向進(jìn)氣管4供氣，打開第一進(jìn)氣閥6進(jìn)氣管4向產(chǎn)氮系統(tǒng)吸附產(chǎn)氮a罐5提供壓縮空氣；當(dāng)產(chǎn)氮a罐5壓力與壓縮空氣罐1.3平衡時(shí)，關(guān)閉出氣閥1.5、打開泵切斷閥1.7、啟動增壓泵1.6向吸附產(chǎn)氮a罐5供氣加壓；當(dāng)吸附產(chǎn)氮a罐5壓力達(dá)到設(shè)定壓力時(shí)，進(jìn)氣管4上增壓傳感器1.9反饋關(guān)閉切斷閥1.6并停止增壓泵1.6、關(guān)閉第一進(jìn)氣閥6，此時(shí)產(chǎn)氮a罐5進(jìn)入增壓吸附狀態(tài)；

2.產(chǎn)氮a罐5吸附上述進(jìn)入的壓縮空氣中氧氣，達(dá)到設(shè)定時(shí)間后、第一出氮閥10打開、氮?dú)饨?jīng)氮?dú)夤?4進(jìn)入氮?dú)饩彌_罐15，經(jīng)純度分析儀16檢測、合格氮?dú)獯蜷_輸出閥17進(jìn)入生產(chǎn)系統(tǒng)，不合格氮?dú)獯蜷_排氣閥18通過排氣管19進(jìn)入富氮回收系統(tǒng)富氮儲罐中；

3.產(chǎn)氮a罐5完成氮?dú)馀懦龊?、關(guān)閉第一出氮閥10、產(chǎn)氮a罐5進(jìn)入解壓吸附狀態(tài)。平衡閥12開啟、平衡產(chǎn)氮a罐5與產(chǎn)氮b罐13壓力后關(guān)閉平衡閥12；

4.產(chǎn)氮a罐5壓力平衡后打開排放閥8和富氮進(jìn)氣閥3.1。產(chǎn)氮a罐5通過壓差將富氮?dú)怏w經(jīng)放空管20排進(jìn)常壓狀態(tài)下富氮儲罐3.2中；隨著產(chǎn)氮a罐5壓力下降達(dá)到壓力傳感器3.5設(shè)定值關(guān)閉富氮進(jìn)氣閥3.1；

5.壓力傳感器3.5達(dá)設(shè)定值，開啟解析切斷閥2.1和真空泵2.2開啟，由真空泵2.2抽產(chǎn)氮a罐5至設(shè)定負(fù)壓，在壓力下降過程中產(chǎn)氮a罐5內(nèi)解析出的氧氣通過真空泵2.2經(jīng)放空管2.3排空；

6.產(chǎn)氮a罐5解析過程時(shí)，產(chǎn)氮b罐13進(jìn)入吸附狀態(tài)?？刂乒?1打開第二進(jìn)氣閥7、加壓閥3.3、開啟加壓泵3.4，將富氮儲罐3.2中上述步驟2、步驟4收集的富氮通過加壓泵3.4經(jīng)進(jìn)氣管4、第二進(jìn)氣閥7進(jìn)入產(chǎn)氮b罐13中；當(dāng)富氮罐壓力開關(guān)3.6達(dá)設(shè)定值、切斷加壓閥3.3、停止加壓泵3.4；

7.控制柜21打開出氣閥1.5、壓縮空氣從出氣管1.4經(jīng)出氣閥1.5向進(jìn)氣管4補(bǔ)氣，當(dāng)產(chǎn)氮b罐13壓力與壓縮空氣罐1.3平衡時(shí)，關(guān)閉出氣閥1.5、打開泵切斷閥1.7、啟動增壓泵1.6向吸附產(chǎn)氮b罐13供氣加壓；當(dāng)吸附產(chǎn)氮b罐13壓力達(dá)到設(shè)定壓力時(shí)，進(jìn)氣管4上增壓傳感器1.9反饋關(guān)閉切斷閥1.6并停止增壓泵1.6、關(guān)閉進(jìn)氣閥6，此時(shí)產(chǎn)氮b罐13進(jìn)入增壓吸附狀態(tài)；

8.產(chǎn)氮b罐13吸附上述進(jìn)入的壓縮空氣中氧氣，達(dá)到設(shè)定時(shí)間后、第二出氮閥11打開、氮?dú)饨?jīng)氮?dú)夤?4進(jìn)入氮?dú)饩彌_罐15，經(jīng)純度分析儀16檢測、合格氮?dú)獯蜷_輸出閥17進(jìn)入生產(chǎn)系統(tǒng)，不合格氮?dú)獯蜷_排氣閥18通過排氣管19進(jìn)入富氮回收系統(tǒng)富氮儲罐中；

9.產(chǎn)氮b罐13完成氮?dú)馀懦龊蟆㈥P(guān)閉第二出氮閥11、產(chǎn)氮b罐13進(jìn)入解析狀態(tài)。平衡閥12開啟、平衡產(chǎn)氮a罐5與產(chǎn)氮b罐13壓力后關(guān)閉平衡閥12；

10.產(chǎn)氮b罐13負(fù)壓解析過程重復(fù)上述4、5步驟完成產(chǎn)氮a罐5、產(chǎn)氮b罐13一個周期循環(huán)。