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吸附遮擋裝置及具有該裝置的蒸鍍?cè)O(shè)備的制作方法

文檔序號(hào):11172311閱讀:792來源:國(guó)知局
吸附遮擋裝置及具有該裝置的蒸鍍?cè)O(shè)備的制造方法

本發(fā)明涉及蒸鍍?cè)O(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體而言,涉及一種吸附遮擋裝置及具有該裝置的蒸鍍?cè)O(shè)備。



背景技術(shù):

在有機(jī)材料的蒸鍍過程中,有機(jī)材料會(huì)沉積在蒸鍍腔的腔壁上。在抽氣充氣的過程,這些沉積在腔壁上的有機(jī)材料粉末將再次懸浮,形成雜質(zhì)顆粒,影響器件的性能。傳統(tǒng)方式是添加帶有涂層的遮擋板,定期進(jìn)行更換,但是仍然不能有效的防止沉積材料粉末的飛升。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明的一個(gè)主要目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的至少一種缺陷,提供一種能夠有效吸附有機(jī)材料粉末并防止其飛升的吸附遮擋裝置。

本發(fā)明的另一個(gè)主要目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的至少一種缺陷,提供一種具有上述吸附遮擋裝置的蒸鍍?cè)O(shè)備。

為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面,提供一種吸附遮擋裝置,包括盒體、多片翻轉(zhuǎn)片以及連動(dòng)機(jī)構(gòu)。所述盒體一面具有開口。多片所述翻轉(zhuǎn)片相互平行地排列于所述開口,每片所述翻轉(zhuǎn)片的正面設(shè)有吸附膜。所述聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)于所述盒體且連接于各所述翻轉(zhuǎn)片,用以驅(qū)動(dòng)各所述翻轉(zhuǎn)片同步翻轉(zhuǎn),使所述吸附遮擋裝置在一吸附狀態(tài)和一遮擋狀態(tài)之間轉(zhuǎn)換。吸附狀態(tài)下,各所述翻轉(zhuǎn)片的正面朝外,并封閉所述開口,遮擋狀態(tài)下,各所述翻轉(zhuǎn)片的反面朝外,并封閉所述開口。

根據(jù)本發(fā)明的其中一個(gè)實(shí)施方式,所述聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括兩條齒條、多個(gè)齒輪以及驅(qū)動(dòng)組件。兩條所述齒條平行間隔地設(shè)于所述開口。多個(gè)齒輪分別成對(duì)地設(shè)于多片所述翻轉(zhuǎn)片的兩側(cè),每對(duì)所述齒輪分別與兩條所述齒條嚙合。所述驅(qū)動(dòng)組件連接于所述齒條,用以驅(qū)動(dòng)所述齒條移動(dòng),而使所述齒條帶動(dòng)各所述翻轉(zhuǎn)片同步翻轉(zhuǎn)。

根據(jù)本發(fā)明的其中一個(gè)實(shí)施方式,所述驅(qū)動(dòng)組件包括記憶合金彈片以及加熱裝置。所述記憶合金彈片連接于所述盒體與所述齒條的一端部之間。所述加熱裝置用以加熱所述記憶合金彈片。其中,所述加熱裝置能夠加熱所述記憶合金彈片使其伸長(zhǎng),所述加熱裝置不工作時(shí),所述記憶合金彈片回復(fù)為原始長(zhǎng)度,所述記憶合金彈片通過伸縮帶動(dòng)所述齒條移動(dòng)。

根據(jù)本發(fā)明的其中一個(gè)實(shí)施方式,所述記憶合金彈片的最大伸長(zhǎng)長(zhǎng)度等于所述齒輪的周長(zhǎng)的一半。

根據(jù)本發(fā)明的其中一個(gè)實(shí)施方式,所述驅(qū)動(dòng)組件包括分別連接于兩條所述齒條的至少兩個(gè)記憶合金彈片,所述加熱裝置同時(shí)加熱兩個(gè)所述記憶合金彈片,以使兩個(gè)所述記憶合金彈片的溫度同步轉(zhuǎn)變,而使兩條所述齒條同步移動(dòng)。

根據(jù)本發(fā)明的其中一個(gè)實(shí)施方式,所述記憶合金彈片呈片狀結(jié)構(gòu)或螺旋狀結(jié)構(gòu);和/或,所述記憶合金彈片的材質(zhì)為銅鋅鋁合金。

根據(jù)本發(fā)明的其中一個(gè)實(shí)施方式,所述吸附膜朝向于所述翻轉(zhuǎn)片的一面為壁虎絨毛仿生膜;和/或,所述吸附膜反向于所述翻轉(zhuǎn)片的一面為pi絨毛薄膜。

根據(jù)本發(fā)明的其中一個(gè)實(shí)施方式,所述吸附遮擋裝置在吸附狀態(tài)下和遮擋狀態(tài)下,每?jī)蓚€(gè)相鄰的所述翻轉(zhuǎn)片部分重疊。

根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方面,提供一種蒸鍍?cè)O(shè)備,包括蒸鍍腔,所述蒸鍍腔內(nèi)設(shè)有以上實(shí)施方式所述的吸附遮擋裝置。其中,所述蒸鍍?cè)O(shè)備進(jìn)行蒸鍍作業(yè)時(shí),所述吸附遮擋裝置轉(zhuǎn)換為吸附狀態(tài),所述蒸鍍?cè)O(shè)備完成蒸鍍作業(yè)時(shí),所述吸附遮擋裝置轉(zhuǎn)換為封閉狀態(tài)。

根據(jù)本發(fā)明的其中一個(gè)實(shí)施方式,所述吸附遮擋裝置的所述盒體由所述蒸鍍腔的腔壁凹陷形成。

由上述技術(shù)方案可知,本發(fā)明提出的吸附遮擋裝置及具有該裝置的蒸鍍?cè)O(shè)備的優(yōu)點(diǎn)和積極效果在于:

本發(fā)明提出的吸附遮擋裝置,通過連動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)多片翻轉(zhuǎn)片同步翻轉(zhuǎn)的設(shè)計(jì),使吸附遮擋裝置能夠在吸附狀態(tài)和遮擋狀態(tài)之間轉(zhuǎn)換。吸附狀態(tài)下,各翻轉(zhuǎn)片的正面朝外且封閉盒體的開口,以利用翻轉(zhuǎn)片正面的吸附膜吸附有機(jī)材料粉末。遮擋狀態(tài)下,各翻轉(zhuǎn)片的反面朝外且封閉盒體的開口,以將吸附狀態(tài)下吸附到的有機(jī)材料粉末遮擋在盒體中,避免有機(jī)材料粉末的飛升。

本發(fā)明提出的蒸鍍?cè)O(shè)備,通過將本發(fā)明提出的吸附遮擋裝置設(shè)置在蒸鍍?cè)O(shè)備的蒸鍍腔內(nèi),能夠在蒸鍍作業(yè)時(shí),利用吸附遮擋裝置吸附作業(yè)過程中的有機(jī)材料粉末,同時(shí)在完成蒸鍍作業(yè)時(shí),利用吸附遮擋裝置將吸附到的有機(jī)材料粉末遮擋在盒體內(nèi),避免有機(jī)材料粉末在蒸鍍?cè)O(shè)備的其他制程中飛升而造成二次污染。

進(jìn)一步地,在本發(fā)明的其中一個(gè)實(shí)施方式中,當(dāng)采用相互配合的齒條和齒輪組成聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)時(shí),能夠?qū)崿F(xiàn)多片翻轉(zhuǎn)片的同步翻轉(zhuǎn),且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,便于布置和維護(hù)。

進(jìn)一步地,在本發(fā)明的其中一個(gè)實(shí)施方式中,當(dāng)采用記憶合金彈片和加熱裝置組成驅(qū)動(dòng)組件時(shí),能夠利用記憶合金彈片受熱形變的特性和加熱裝置的加熱,實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)齒條移動(dòng)的功能。

附圖說明

通過結(jié)合附圖考慮以下對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的詳細(xì)說明,本發(fā)明的各種目標(biāo)、特征和優(yōu)點(diǎn)將變得更加顯而易見。附圖僅為本發(fā)明的示范性圖解,并非一定是按比例繪制。在附圖中,同樣的附圖標(biāo)記始終表示相同或類似的部件。其中:

圖1是根據(jù)一示例性實(shí)施方式示出的一種吸附遮擋裝置的主視圖;

圖2是圖1示出的吸附遮擋裝置的側(cè)視圖;

圖3是圖1示出的吸附遮擋裝置的一片翻轉(zhuǎn)片的立體結(jié)構(gòu)圖。

其中,附圖標(biāo)記說明如下:

100.盒體;

200.翻轉(zhuǎn)片;

210.pi絨毛薄膜;

220.壁虎絨毛仿生膜;

310.齒條;

320.齒輪;

331.記憶合金彈片。

具體實(shí)施方式

體現(xiàn)本發(fā)明特征與優(yōu)點(diǎn)的典型實(shí)施例將在以下的說明中詳細(xì)敘述。應(yīng)理解的是本發(fā)明能夠在不同的實(shí)施例上具有各種的變化,其皆不脫離本發(fā)明的范圍,且其中的說明及附圖在本質(zhì)上是作說明之用,而非用以限制本發(fā)明。

在對(duì)本發(fā)明的不同示例性實(shí)施方式的下面描述中,參照附圖進(jìn)行,所述附圖形成本發(fā)明的一部分,并且其中以示例方式顯示了可實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的多個(gè)方面的不同示例性結(jié)構(gòu)、系統(tǒng)和步驟。應(yīng)理解,可以使用部件、結(jié)構(gòu)、示例性裝置、系統(tǒng)和步驟的其他特定方案,并且可在不偏離本發(fā)明范圍的情況下進(jìn)行結(jié)構(gòu)和功能性修改。而且,雖然本說明書中可使用術(shù)語(yǔ)“上端部”、“下端部”、“之間”、“側(cè)”等來描述本發(fā)明的不同示例性特征和元件,但是這些術(shù)語(yǔ)用于本文中僅出于方便,例如根據(jù)附圖中所述的示例的方向。本說明書中的任何內(nèi)容都不應(yīng)理解為需要結(jié)構(gòu)的特定三維方向才落入本發(fā)明的范圍內(nèi)。

吸附遮擋裝置實(shí)施方式

參閱圖1,圖1中代表性地示出了能夠體現(xiàn)本發(fā)明的原理的吸附遮擋裝置的主視圖。在該示例性實(shí)施方式中,本發(fā)明提出的吸附遮擋裝置是以應(yīng)用于蒸鍍?cè)O(shè)備為例,進(jìn)一步地,是以用于在蒸鍍?cè)O(shè)備中吸附并遮擋有機(jī)材料粉末為例進(jìn)行說明的。本領(lǐng)域技術(shù)人員容易理解的是,為將該吸附遮擋裝置應(yīng)用于其他設(shè)備,或?qū)⒃撐秸趽跹b置用于吸附并遮擋其他物質(zhì),而對(duì)下述的具體實(shí)施方式做出多種改型、添加、替代、刪除或其他變化,這些變化仍在本發(fā)明提出的吸附遮擋裝置的原理的范圍內(nèi)。

如圖1所示,在本實(shí)施方式中,本發(fā)明提出的吸附遮擋裝置主要包括盒體100、多片翻轉(zhuǎn)片200以及連動(dòng)機(jī)構(gòu)。配合參閱圖2和圖3,圖2中代表性地示出了吸附遮擋裝置的側(cè)視圖,圖3中代表性地示出了吸附遮擋裝置的一片翻轉(zhuǎn)片200(包括翻轉(zhuǎn)片200兩側(cè)的齒輪320)的立體結(jié)構(gòu)圖。以下結(jié)合上述附圖,對(duì)本發(fā)明提出的吸附遮擋裝置的個(gè)主要組成部分的結(jié)構(gòu)、連接方式和功能關(guān)系進(jìn)行詳細(xì)說明。

如圖1所示,在本實(shí)施方式種,盒體100一面具有開口。其中,在本實(shí)施方式中,開口完全涵蓋盒體100該面的全部位置,即盒體100的該面為開放結(jié)構(gòu)。據(jù)此,以圖1示出的盒體100該面大致呈長(zhǎng)方形為例,開口的形狀即大致呈長(zhǎng)方形。

在其他實(shí)施方式中,盒體100該面亦可設(shè)計(jì)為其他形狀,即開口的形狀亦可為相對(duì)應(yīng)的其他形狀。再者,開口的形狀并不限于與盒體100該面的形狀完全相同,且開口的尺寸亦可小于盒體100該面的尺寸,均不以此為限。

如圖1所示,在本實(shí)施方式種,多片翻轉(zhuǎn)片200相互平行地排列于開口,每片翻轉(zhuǎn)片200的正面設(shè)有吸附膜。具體而言,在本實(shí)施方式中,吸附膜的朝向于翻轉(zhuǎn)片200的一面(即吸附膜與翻轉(zhuǎn)片200的貼合面)優(yōu)選采用壁虎絨毛仿生膜220,其能夠真空環(huán)境中吸附在翻轉(zhuǎn)片200上,并方便更換。并且,吸附膜的反向于翻轉(zhuǎn)片200的一面(即暴露在外界環(huán)境中的吸附面)優(yōu)選采用pi絨毛薄膜210(基于polyimidefilm,聚酰亞胺薄膜),其能夠吸附例如有機(jī)材料粉末等物質(zhì)。另外,pi絨毛薄膜210具有優(yōu)良的耐高低溫性、電氣絕緣性、粘結(jié)性、耐輻射性、耐介質(zhì)性,能在-269℃-280℃的溫度環(huán)境中長(zhǎng)期使用,且可在400℃的高溫環(huán)境中短時(shí)使用。

在其他實(shí)施方式中,翻轉(zhuǎn)片200的正面和反面的材質(zhì)并不限于本實(shí)施方式中的上述薄膜類型,且本實(shí)施方式中的兩種薄膜亦不限于共同使用。

進(jìn)一步地,在本實(shí)施方式中,pi絨毛薄膜210的絨毛直徑可以優(yōu)選為50μm~1000μm,絨毛長(zhǎng)度可以優(yōu)選為0.1㎜~1㎜,均不以此為限。

進(jìn)一步地,在本實(shí)施方式中,吸附遮擋裝置在吸附狀態(tài)下和遮擋狀態(tài)下,每?jī)蓚€(gè)相鄰的翻轉(zhuǎn)片200部分重疊。即,以翻轉(zhuǎn)片200相對(duì)于殼體翻轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)軸與翻轉(zhuǎn)片200的中心線重合(即齒輪320設(shè)于翻轉(zhuǎn)片200一側(cè)的中心位置)為例,翻轉(zhuǎn)片200的寬度(即垂直于中心線方向的另一方向上的尺寸)略大于相鄰兩片翻轉(zhuǎn)片200中心線的間距(即相鄰翻轉(zhuǎn)片200的間隔)。據(jù)此,能夠消除吸附遮擋裝置在遮擋狀態(tài)(同時(shí)包括吸附狀態(tài))下,相鄰翻轉(zhuǎn)片200之間的縫隙,進(jìn)一步減少有機(jī)材料粉末的飛升現(xiàn)象。

在本實(shí)施方式種,聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)于盒體100內(nèi)且連接于各翻轉(zhuǎn)片200,用以驅(qū)動(dòng)各翻轉(zhuǎn)片200同步翻轉(zhuǎn),使吸附遮擋裝置在吸附狀態(tài)和遮擋狀態(tài)之間轉(zhuǎn)換。其中,吸附遮擋裝置在吸附狀態(tài)下,聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)各翻轉(zhuǎn)片200的正面朝外,并封閉開口。即各翻轉(zhuǎn)片200上的pi絨毛薄膜210相對(duì)盒體100朝外暴露,以吸附外界環(huán)境中的例如有機(jī)材料粉末等物質(zhì)。吸附遮擋裝置在遮擋狀態(tài)下,聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)各翻轉(zhuǎn)片200的反面朝外,并封閉開口。即各翻轉(zhuǎn)片200上的pi絨毛薄膜210相對(duì)朝向盒體100的內(nèi)腔,以避免pi絨毛薄膜210已吸附到的有機(jī)材料粉末再次散落至外界環(huán)境中,而產(chǎn)生粉末飛升的現(xiàn)象,避免二次污染的發(fā)生。

具體而言,如圖1至圖3所示,在本實(shí)施方式中,聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)主要包括兩條齒條310、多個(gè)齒輪320以及驅(qū)動(dòng)組件。具體而言,兩條齒條310平行間隔地設(shè)于開口。多個(gè)齒輪320分別成對(duì)地設(shè)于多片翻轉(zhuǎn)片200的兩側(cè),每對(duì)齒輪320分別與兩條齒條310嚙合。驅(qū)動(dòng)組件連接于齒條310,用以驅(qū)動(dòng)齒條310移動(dòng),而使齒條310帶動(dòng)各翻轉(zhuǎn)片200同步翻轉(zhuǎn)。承上,當(dāng)采用相互配合的齒條310和齒輪320組成聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)時(shí),能夠?qū)崿F(xiàn)多片翻轉(zhuǎn)片200的同步翻轉(zhuǎn),且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,便于布置和維護(hù)。

在其他實(shí)施方式中,基于齒條310與齒輪320配合的設(shè)計(jì),齒條310的數(shù)量亦可為一條,且設(shè)于多片翻轉(zhuǎn)片200的其中一側(cè)。相應(yīng)地,多個(gè)齒輪320的布置可采用分別設(shè)置在多片翻轉(zhuǎn)片200對(duì)應(yīng)于齒條310的一側(cè)的方式。即,通過齒條310與各片翻轉(zhuǎn)片200相同一側(cè)的各齒輪320的嚙合,實(shí)現(xiàn)利用齒條310移動(dòng)帶動(dòng)各翻轉(zhuǎn)片200同步翻轉(zhuǎn)的功能。此時(shí),各翻轉(zhuǎn)片200未設(shè)置齒輪320的另一側(cè)可以例如通過軸件等方式可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于殼體,并不以此為限。

進(jìn)一步地,基于齒條310與齒輪320的設(shè)計(jì),由于盒體100開口的對(duì)應(yīng)于齒輪320的位置無法被翻轉(zhuǎn)片200遮擋,在本實(shí)施方式中,盒體100的開口可保留對(duì)應(yīng)于兩列齒輪320上方的盒體100該面的部分結(jié)構(gòu)。即,兩列齒輪320(包括齒條310)并不露出于開口,開口的尺寸和形狀與各翻轉(zhuǎn)片200同步翻轉(zhuǎn)至正面或反面時(shí)的重疊后的尺寸和形狀相同。據(jù)此,能夠基本杜絕吸附遮擋裝置在遮擋狀態(tài)下有機(jī)材料粉末的飛升現(xiàn)象。

如圖1和圖2所示,在本實(shí)施方式中,驅(qū)動(dòng)組件主要包括記憶合金彈片331以及加熱裝置。具體而言,記憶合金彈片331連接于盒體100與齒條310的一端部之間。加熱裝置用于加熱記憶合金彈片331。承上,利用記憶合金彈片331受熱變形的特性(即加熱時(shí)恢復(fù)高溫相形狀,冷卻后恢復(fù)低溫相形狀),當(dāng)加熱裝置對(duì)記憶合金彈片331進(jìn)行加熱時(shí),記憶合金彈片331由原始長(zhǎng)度伸長(zhǎng)至一預(yù)設(shè)工作長(zhǎng)度,當(dāng)加熱裝置不工作時(shí),記憶合金彈片331降溫并回復(fù)為原始長(zhǎng)度。據(jù)此,利用加熱裝置控制記憶合金彈片331伸縮而帶動(dòng)齒條310移動(dòng),從而實(shí)現(xiàn)多片翻轉(zhuǎn)片200的同步翻轉(zhuǎn)。在本實(shí)施方式中,記憶合金彈片331可以優(yōu)選為兩個(gè),且分別連接于兩條齒條310的端部與盒體100之間。另外,加熱裝置可為一個(gè)或分別對(duì)應(yīng)兩個(gè)記憶合金彈片331的兩個(gè),且應(yīng)優(yōu)先考慮兩個(gè)記憶合金彈片331的受熱一致性。

在其他實(shí)施方式中,當(dāng)僅設(shè)置一條齒條310時(shí),基于記憶合金彈片331與加熱裝置的設(shè)計(jì),記憶合金彈片331相應(yīng)地僅需設(shè)置一個(gè)。另外,驅(qū)動(dòng)組件亦可采用其他裝置或組件,以驅(qū)動(dòng)齒條310移動(dòng),并不以本實(shí)施方式中的上述設(shè)計(jì)為限。

進(jìn)一步地,在本實(shí)施方式中,記憶合金彈片331的最大伸長(zhǎng)長(zhǎng)度(即預(yù)設(shè)工作長(zhǎng)度與原始長(zhǎng)度的長(zhǎng)度差值)等于齒輪320的周長(zhǎng)的一半。據(jù)此,基于記憶合金彈片331受熱伸長(zhǎng)而產(chǎn)生的齒條310移動(dòng)距離,是等于齒輪320的周長(zhǎng)的一半,即記憶合金彈片331受熱伸長(zhǎng)至最大長(zhǎng)度(預(yù)設(shè)工作長(zhǎng)度)后,齒輪320剛好由齒條310帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)半周,翻轉(zhuǎn)片200則剛好為正面相對(duì)盒體100朝外,反之亦然。

驅(qū)動(dòng)組件包括分別連接于兩條齒條310的兩個(gè)記憶合金彈片331,加熱裝置同時(shí)加熱兩個(gè)記憶合金彈片331(亦可利用兩個(gè)加熱裝置分別加熱兩個(gè)記憶合金彈片331),以使兩個(gè)記憶合金彈片331的溫度同步轉(zhuǎn)變,而使兩條齒條310同步移動(dòng)。當(dāng)采用記憶合金彈片331和加熱裝置組成驅(qū)動(dòng)組件時(shí),能夠利用記憶合金彈片331受熱形變的特性和加熱裝置的加熱,實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)齒條310移動(dòng)的功能。

進(jìn)一步地,如圖1和圖2所示,在本實(shí)施方式中,記憶合金彈片331可以優(yōu)選為呈片狀結(jié)構(gòu)。在其他實(shí)施方式中,記憶合金彈片331亦可選用例如螺旋狀結(jié)構(gòu)(即記憶合金彈簧)的其他結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步地,在本實(shí)施方式中,記憶合金彈片331的材質(zhì)可以優(yōu)選為銅鋅鋁合金,即cu-zn-al,其轉(zhuǎn)變溫度范圍為65℃-85℃,屬于較容易實(shí)現(xiàn)的溫度范圍。在其他實(shí)施方式中,記憶合金彈片331的材質(zhì)亦可選擇其他種類的合金,且具體材質(zhì)可根據(jù)所需的轉(zhuǎn)變溫度范圍靈活選擇,例如fe-pt、ti-ni、ti-ni-pd、ti-nb、u-nb、fe-mn-si、au-cd、ag-cd、cu-zn、cu-zn-sn、cu-zn-al、cu-zn-si、cu-sn、cu-zn-ga、in-ti、au-cu-zn和nial等,以上材質(zhì)的轉(zhuǎn)變溫度范圍大致涵蓋了50℃-600℃的溫度范圍。

進(jìn)一步地,在本實(shí)施方式中,加熱裝置由控制器控制(可將加熱裝置連接于控制器)。該控制器可以整合在蒸鍍?cè)O(shè)備的控制系統(tǒng)中,且可通過控制系統(tǒng)的外部操作界面進(jìn)行控制操作,以控制加熱設(shè)備。在其他實(shí)施方式中,亦可設(shè)置單獨(dú)的外部操作界面,用于控制加熱裝置,并不以此為限。

綜上所述,本發(fā)明提出的吸附遮擋裝置,通過連動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)多片翻轉(zhuǎn)片同步翻轉(zhuǎn)的設(shè)計(jì),使吸附遮擋裝置能夠在吸附狀態(tài)和遮擋狀態(tài)之間轉(zhuǎn)換。吸附狀態(tài)下,各翻轉(zhuǎn)片的正面朝外且封閉盒體的開口,以利用翻轉(zhuǎn)片正面的吸附膜吸附有機(jī)材料粉末。遮擋狀態(tài)下,各翻轉(zhuǎn)片的反面朝外且封閉盒體的開口,以將吸附狀態(tài)下吸附到的有機(jī)材料粉末遮擋在盒體中,避免有機(jī)材料粉末的飛升。

在此應(yīng)注意,附圖中示出而且在本說明書中描述的吸附遮擋裝置僅僅是能夠采用本發(fā)明原理的許多種吸附遮擋裝置中的一個(gè)示例。應(yīng)當(dāng)清楚地理解,本發(fā)明的原理絕非僅限于附圖中示出或本說明書中描述的吸附遮擋裝置的任何細(xì)節(jié)或吸附遮擋裝置的任何部件。

蒸鍍?cè)O(shè)備實(shí)施方式

在本實(shí)施方式中,本發(fā)明提出的蒸鍍?cè)O(shè)備是以應(yīng)用于oled發(fā)光層制作工藝中的蒸鍍?cè)O(shè)備為例進(jìn)行說明的。本領(lǐng)域技術(shù)人員容易理解的是,為將該蒸鍍?cè)O(shè)備應(yīng)用于其他制作工藝或領(lǐng)域中,而對(duì)下述的具體實(shí)施方式做出多種改型、添加、替代、刪除或其他變化,這些變化仍在本發(fā)明提出的蒸鍍?cè)O(shè)備的原理的范圍內(nèi)。

在本實(shí)施方式中,本發(fā)明提出的蒸鍍?cè)O(shè)備主要包括蒸鍍腔和吸附遮擋裝置。具體而言,蒸鍍腔內(nèi)設(shè)有本發(fā)明提出的吸附遮擋裝置。據(jù)此,當(dāng)蒸鍍?cè)O(shè)備進(jìn)行蒸鍍作業(yè)時(shí),吸附遮擋裝置轉(zhuǎn)換為吸附狀態(tài),對(duì)蒸鍍作業(yè)中產(chǎn)生的有機(jī)材料粉末進(jìn)行吸附。當(dāng)蒸鍍?cè)O(shè)備完成蒸鍍作業(yè)時(shí),吸附遮擋裝置轉(zhuǎn)換為封閉狀態(tài),將在蒸鍍作業(yè)中吸附到的有機(jī)材料粉末遮擋在盒體內(nèi)腔中,避免蒸鍍?cè)O(shè)備進(jìn)行其他制程時(shí)產(chǎn)生有機(jī)材料粉末飛升的現(xiàn)象。

進(jìn)一步地,在本實(shí)施方式中,吸附遮擋裝置的盒體可以優(yōu)選為經(jīng)由蒸鍍腔的腔壁凹陷形成。據(jù)此,吸附遮擋裝置的多個(gè)翻轉(zhuǎn)片、聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)組件是設(shè)于蒸鍍腔的腔壁所形成的凹陷結(jié)構(gòu)中。在其他實(shí)施方式中,亦可為吸附遮擋裝置設(shè)置獨(dú)立于蒸鍍腔或其他使用環(huán)境的盒體,并將盒體安裝到蒸鍍腔的腔壁。

另外,在本實(shí)施方式中,吸附遮擋裝置位于蒸鍍腔的例如側(cè)壁和頂部等多個(gè)可選擇的位置。對(duì)于吸附遮擋裝置在蒸鍍腔內(nèi)的設(shè)置位置的選擇,可綜合考慮吸附遮擋裝置不與蒸鍍?cè)O(shè)備的其他結(jié)構(gòu)干涉并實(shí)現(xiàn)較佳的吸附效果等因素。

綜上所述,本發(fā)明提出的蒸鍍?cè)O(shè)備,通過將本發(fā)明提出的吸附遮擋裝置設(shè)置在蒸鍍?cè)O(shè)備的蒸鍍腔內(nèi),能夠在蒸鍍作業(yè)時(shí),利用吸附遮擋裝置吸附作業(yè)過程中的有機(jī)材料粉末,同時(shí)在完成蒸鍍作業(yè)時(shí),利用吸附遮擋裝置將吸附到的有機(jī)材料粉末遮擋在盒體內(nèi),避免有機(jī)材料粉末在蒸鍍?cè)O(shè)備的其他制程中飛升而造成二次污染。

在此應(yīng)注意,附圖中示出而且在本說明書中描述的蒸鍍?cè)O(shè)備僅僅是能夠采用本發(fā)明原理的許多種蒸鍍?cè)O(shè)備中的一個(gè)示例。應(yīng)當(dāng)清楚地理解,本發(fā)明的原理絕非僅限于附圖中示出或本說明書中描述的蒸鍍?cè)O(shè)備的任何細(xì)節(jié)或蒸鍍?cè)O(shè)備的任何部件。

以上詳細(xì)地描述和/或圖示了本發(fā)明提出的吸附遮擋裝置及具有該裝置的蒸鍍?cè)O(shè)備的示例性實(shí)施方式。但本發(fā)明的實(shí)施方式不限于這里所描述的特定實(shí)施方式,相反,每個(gè)實(shí)施方式的組成部分和/或步驟可與這里所描述的其它組成部分和/或步驟獨(dú)立和分開使用。一個(gè)實(shí)施方式的每個(gè)組成部分和/或每個(gè)步驟也可與其它實(shí)施方式的其它組成部分和/或步驟結(jié)合使用。在介紹這里所描述和/或圖示的要素/組成部分/等時(shí),用語(yǔ)“一個(gè)”、“一”和“上述”等用以表示存在一個(gè)或多個(gè)要素/組成部分/等。術(shù)語(yǔ)“包含”、“包括”和“具有”用以表示開放式的包括在內(nèi)的意思并且是指除了列出的要素/組成部分/等之外還可存在另外的要素/組成部分/等。

雖然已根據(jù)不同的特定實(shí)施例對(duì)本發(fā)明提出的吸附遮擋裝置及具有該裝置的蒸鍍?cè)O(shè)備進(jìn)行了描述,但本領(lǐng)域技術(shù)人員將會(huì)認(rèn)識(shí)到可在權(quán)利要求的精神和范圍內(nèi)對(duì)本發(fā)明的實(shí)施進(jìn)行改動(dòng)。

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