技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種高純石英晶體的生長(zhǎng)方法,包括以下步驟:選擇鋁含量<20ppm的石英作為原料,對(duì)其進(jìn)行清洗,得清洗后石英原料;利用氫氧化鈉溶液對(duì)高壓釜內(nèi)壁以及位于高壓釜內(nèi)的原料筐、內(nèi)擋板及帶有籽晶片的籽晶架進(jìn)行表面防護(hù)層處理;將清洗后石英原料放入表面防護(hù)層處理后的原料筐內(nèi),然后向高壓釜內(nèi)加入晶體生長(zhǎng)工藝溶液,控制溶解區(qū)與生長(zhǎng)區(qū)的溫差為20~30℃,控制晶體每天生長(zhǎng)速率為0.23~0.37mm、生長(zhǎng)時(shí)間為60±5天;采用電清洗技術(shù),在高溫高電場(chǎng)下對(duì)上述生成所得的石英晶體進(jìn)行排除雜質(zhì)。
技術(shù)研發(fā)人員:劉盛浦;蔣文山;郭興忠;吳蘭;楊輝
受保護(hù)的技術(shù)使用者:浙江博達(dá)光電有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.03.14
技術(shù)公布日:2017.07.04