1.一種高性能氮化硅密封環(huán)的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:
(1)按下列重量比準備原料:氮化硅粉90~95%、氧化鎂0~1%、氧化鋁2~4%、氧化釔3~7%;
(2)將原料、粘結(jié)劑加入到無水乙醇中,然后混勻,配制成固相含量在40~50%的氮化硅復(fù)合粉料漿;所述的黏結(jié)劑的重量為原料重量的0.5~2.5%;
(3)采用閉環(huán)造粒方式對氮化硅復(fù)合粉漿料進行噴霧造粒,制得氮化硅造粒粉;
(4)將氮化硅造粒粉倒入密封環(huán)模具,然后于20~80MPa的壓力下模壓成型后進行120~250MPa冷等靜壓處理成型,制得氧化硅環(huán)坯體;
(5)將氮化硅環(huán)坯體于1~8MPa氮氣氣氛、1750~1850℃條件下進行燒結(jié),制得氮化硅密封環(huán)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高性能氮化硅密封環(huán)的制備方法,其特征在于,所述步驟(2)中,采用球磨的方式將原料、黏結(jié)劑與無水乙醇混勻。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高性能氮化硅密封環(huán)的制備方法,其特征在于,所述球磨時的球、料比2~3∶1。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種高性能氮化硅密封環(huán)的制備方法,其特征在于,所述黏結(jié)劑為聚乙二醇、聚乙烯醇羧丁醛中任意的一種或兩種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高性能氮化硅密封環(huán)的制備方法,其特征在于,所述步驟(3)中,噴霧造粒的工藝條件為氮氣氣氛,進口溫度150~190℃,出口溫度65~90℃。