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第13族氮化物晶體、所述晶體襯底及所述晶體制備方法與流程

文檔序號:12347787閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種具有六方晶體結(jié)構(gòu)的第13族氮化物晶體,其包含至少一個氮原子和至少一個從B、Al、Ga、In和Tl組成的組中選擇的金屬原子。平行于c?軸的橫截面中底面位錯的位錯密度為104cm?2或更大,并且是c?面的螺旋位錯的位錯密度的1000倍或更多。

技術(shù)研發(fā)人員:林昌弘;佐藤隆;木村千春;三好直哉;村上明繁;三宅信輔;和田純一;皿山正二
受保護(hù)的技術(shù)使用者:株式會社理光
文檔號碼:201610709174
技術(shù)研發(fā)日:2013.09.13
技術(shù)公布日:2017.01.04

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