技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種氮化鋁單晶生長(zhǎng)的提拉裝置及拉提方法，該提拉裝置包括拉提組件、碳化鉭坩堝、發(fā)熱筒和保溫層；拉提組件由拉提繩、拉提桿和升降石墨筒構(gòu)成，拉提繩的一端與中頻感應(yīng)爐上的提拉升降系統(tǒng)相連接，另一端與拉提桿的一端連接，拉提桿的另一端與升降石墨筒的上蓋連接；碳化鉭坩堝固定在升降石墨筒內(nèi)；升降石墨筒設(shè)置在發(fā)熱筒內(nèi)，保溫層包裹在發(fā)熱筒的外側(cè)。本申請(qǐng)還公開(kāi)了一種氮化鋁單晶生長(zhǎng)的提拉方法。本申請(qǐng)的提拉裝置可有效解決生長(zhǎng)氮化鋁晶體常用碳化鉭坩堝不易實(shí)現(xiàn)上下移動(dòng)的弊端。

技術(shù)研發(fā)人員：程章勇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京華進(jìn)創(chuàng)威電子有限公司
文檔號(hào)碼：201610511240
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.30
技術(shù)公布日：2017.02.15