本實(shí)用新型涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域，特別地，涉及一種直拉法單晶爐用雙面式導(dǎo)流筒支撐。

背景技術(shù)：

單晶爐是一種在惰性氣體(氬氣為主)環(huán)境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，并用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備。直拉法制備單晶硅工藝中，熱系統(tǒng)由多個(gè)部件組合而成，達(dá)到支撐空間、保持內(nèi)部溫度的目的。

其中導(dǎo)流筒支撐位于熱系統(tǒng)的正上方，是支撐導(dǎo)流筒的關(guān)鍵部件，受上部低溫氬氣與下部高溫熔硅的影響，在使用一定爐數(shù)后會(huì)發(fā)生崩邊現(xiàn)象，崩邊物質(zhì)掉入熔硅會(huì)對(duì)生產(chǎn)帶來(lái)極大影響。

在生產(chǎn)實(shí)踐中發(fā)現(xiàn)，崩邊經(jīng)常發(fā)生在部件的上沿部位，而下沿部位完好，但因定位設(shè)計(jì)的問(wèn)題導(dǎo)致導(dǎo)流筒支撐無(wú)法繼續(xù)利用。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種直拉法單晶爐用雙面式導(dǎo)流筒支撐，解決了原有導(dǎo)流筒支撐因單面崩邊而導(dǎo)致完全無(wú)法使用的問(wèn)題。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)。

一種直拉法單晶爐用雙面式導(dǎo)流筒支撐，包括導(dǎo)流筒支撐本體，其特征在于，該導(dǎo)流筒支撐本體包括第一面和第二面，所述第一面由外向內(nèi)依次設(shè)置有上保溫筒定位槽、上導(dǎo)流筒定位環(huán)槽，所述上導(dǎo)流筒定位環(huán)槽處設(shè)置有上導(dǎo)流筒入口，所述第二面由外向內(nèi)依次設(shè)置有下保溫筒定位槽、下導(dǎo)流筒定位環(huán)槽，所述下導(dǎo)流筒定位環(huán)槽處設(shè)置有下導(dǎo)流筒入口。

根據(jù)本實(shí)用新型的直拉法單晶爐用雙面式導(dǎo)流筒支撐，導(dǎo)流筒支撐本體包括具有反向?qū)ΨQ(chēng)結(jié)構(gòu)的第一面和第二面，第一面和第二面由外向內(nèi)依次設(shè)置有上保溫筒定位槽、上導(dǎo)流筒定位環(huán)槽，第二面由外向內(nèi)依次設(shè)置有下保溫筒定位槽、下導(dǎo)流筒定位環(huán)槽，上導(dǎo)流筒定位環(huán)槽處設(shè)置有上導(dǎo)流筒入口，下導(dǎo)流筒定位環(huán)槽處設(shè)置有下導(dǎo)流筒入口；在使用時(shí)，先按照第一面安裝使用，當(dāng)導(dǎo)流筒支撐在使用過(guò)程中發(fā)生崩邊現(xiàn)象時(shí)，將導(dǎo)流筒支撐上下顛倒安裝使用，即可避免由于邊緣崩邊而導(dǎo)致的崩邊物質(zhì)掉入熔硅而對(duì)生產(chǎn)帶來(lái)的影響，同時(shí)解決了發(fā)生崩邊現(xiàn)象后導(dǎo)流筒支撐無(wú)法繼續(xù)使用的問(wèn)題。

作為優(yōu)選地，所述導(dǎo)流筒支撐本體的材質(zhì)為等靜壓石墨。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。

圖1為本實(shí)用新型的一種直拉法單晶爐用雙面式導(dǎo)流筒支撐的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1中A-B截面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1上保溫筒定位槽；2上導(dǎo)流筒定位環(huán)槽；3上導(dǎo)流筒入口。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方案進(jìn)行詳細(xì)描述，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員將會(huì)理解，下列實(shí)施例僅用于說(shuō)明本實(shí)用新型，而不應(yīng)視為限制本實(shí)用新型的范圍。

參考圖1，根據(jù)本實(shí)用新型提供的一種直拉法單晶爐用雙面式導(dǎo)流筒支撐，包括導(dǎo)流筒支撐本體，其特征在于，該導(dǎo)流筒支撐本體包括第一面和第二面，所述第一面由外向內(nèi)依次設(shè)置有上保溫筒定位槽1、上導(dǎo)流筒定位環(huán)槽2，所述上導(dǎo)流筒定位環(huán)槽2處設(shè)置有上導(dǎo)流筒入口3，所述第二面由外向內(nèi)依次設(shè)置有下保溫筒定位槽、下導(dǎo)流筒定位環(huán)槽，所述下導(dǎo)流筒定位環(huán)槽處設(shè)置有下導(dǎo)流筒入口。

在以上實(shí)施例中，導(dǎo)流筒支撐本體包括具有反向?qū)ΨQ(chēng)結(jié)構(gòu)的第一面和第二面，第一面和第二面由外向內(nèi)依次設(shè)置有上保溫筒定位槽1、上導(dǎo)流筒定位環(huán)槽2，第二面由外向內(nèi)依次設(shè)置有下保溫筒定位槽、下導(dǎo)流筒定位環(huán)槽，上導(dǎo)流筒定位環(huán)槽2處設(shè)置有上導(dǎo)流筒入口3，下導(dǎo)流筒定位環(huán)槽處設(shè)置有下導(dǎo)流筒入口；在使用時(shí)，先按照第一面將導(dǎo)流筒支撐安裝在導(dǎo)流筒上使用，當(dāng)導(dǎo)流筒支撐在使用過(guò)程中發(fā)生崩邊現(xiàn)象時(shí)，將導(dǎo)流筒支撐上下顛倒安裝使用，即可避免由于邊緣崩邊而導(dǎo)致的崩邊物質(zhì)掉入熔硅而對(duì)生產(chǎn)帶來(lái)的影響，同時(shí)解決了發(fā)生崩邊現(xiàn)象后導(dǎo)流筒支撐無(wú)法繼續(xù)使用的問(wèn)題。

根據(jù)本實(shí)用新型提供的一種直拉法單晶爐用雙面式導(dǎo)流筒支撐，所述導(dǎo)流筒支撐本體的材質(zhì)為等靜壓石墨。

在以上實(shí)施例中，導(dǎo)流筒支撐本體采用等靜壓石墨的材質(zhì)，等靜壓石墨具有細(xì)結(jié)構(gòu)、大規(guī)格、各向同性的特點(diǎn)，機(jī)械強(qiáng)度如抗壓強(qiáng)度、抗拉強(qiáng)度、硬度等性能高，將其作為導(dǎo)流筒支撐的材質(zhì)，可使導(dǎo)流筒支撐具有良好的支撐作用。

顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。