本實(shí)用新型涉及長(zhǎng)晶爐技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種提拉式長(zhǎng)晶爐。

背景技術(shù)：

一般制備碳化硅的方法是，采用直拉晶棒制備方法。具體地說(shuō)，其步驟是，加料：將制備碳化硅的原料放入石英坩堝內(nèi)；融化：把加好原料的石英坩堝放入長(zhǎng)晶爐(真空石墨電阻爐)內(nèi)，然后長(zhǎng)晶爐關(guān)閉并抽成真空后充入惰性氣體，然后打開(kāi)石墨加熱器電源，加熱至熔化溫度以上，將原料熔化；縮頸生長(zhǎng)：當(dāng)熔體的溫度穩(wěn)定之后，將籽晶慢慢浸入坩堝中，將籽晶快速向上提升，使長(zhǎng)出的籽晶的直徑縮小到4-6mm；放肩生長(zhǎng)：長(zhǎng)完細(xì)頸之后，須降低溫度與拉速，使得晶體的直徑漸漸增大到所需的大小；等徑生長(zhǎng)：長(zhǎng)完細(xì)頸和肩部之后，借著拉速與溫度的不斷調(diào)整，可使晶棒直徑維持在正負(fù)2mm之間，這段直徑固定的部分即稱為等徑部分；尾部生長(zhǎng)：在長(zhǎng)完等徑部分之后，必須先將晶棒的直徑慢慢縮小，直到成一尖點(diǎn)而與液面分開(kāi)，長(zhǎng)完的晶棒被升至上爐室冷卻一段時(shí)間后取出，即完成一次生長(zhǎng)周期。

現(xiàn)有的長(zhǎng)晶爐在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中難以直接觀察，生長(zhǎng)周期比較長(zhǎng)，同時(shí)如果晶體在生長(zhǎng)過(guò)程中直接與坩堝接觸，會(huì)在晶體中產(chǎn)生較多的雜質(zhì)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種提拉式長(zhǎng)晶爐，以解決上述背景技術(shù)中提出現(xiàn)有的長(zhǎng)晶爐在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中難以直接觀察，生長(zhǎng)周期比較長(zhǎng)，同時(shí)如果晶體在生長(zhǎng)過(guò)程中直接與坩堝接觸，會(huì)在晶體中產(chǎn)生較多的雜質(zhì)的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案一種提拉式長(zhǎng)晶爐，包括機(jī)體、坩堝蓋和坩堝，所述機(jī)體的兩端安裝有箱體，且其下端安置有底座，所述機(jī)體的外表面設(shè)置有顯示器，且其外表面后端連接有插頭，所述顯示器的下端安裝有控制面板，所述坩堝蓋的上端安置有電機(jī)，所述箱體的內(nèi)部安裝有抽氣泵，所述坩堝的外端設(shè)置有隔熱屏，所述隔熱屏的外端設(shè)置有射頻線圈，且其下端安置有發(fā)熱體，所述坩堝蓋的下端連接有固定頭，所述固定頭的下端連接有提拉桿，所述提拉桿上安裝有夾頭，且其內(nèi)部底端設(shè)置有重量傳感器，所述夾頭的下端安置有籽晶桿。

優(yōu)選的，所述坩堝蓋的外表面上設(shè)置有微孔攝像頭。

優(yōu)選的，所述籽晶桿與提拉桿為可拆卸連接裝置。

優(yōu)選的，所述機(jī)體的右端設(shè)置有氣泵。

優(yōu)選的，所述提拉桿為伸縮裝置，且其伸縮為0-15cm。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：該提拉式長(zhǎng)晶爐采用微孔攝像頭，可以直接觀察晶體的生長(zhǎng)情況，為控制晶體外形提供了有利的條件；同時(shí)在提拉桿上增加籽晶桿，且其與籽晶桿為可拆卸連接裝置，可根據(jù)實(shí)際情況，利用籽晶桿結(jié)成不同形狀的晶體，增強(qiáng)其實(shí)用性，同時(shí)可防止籽晶在結(jié)晶過(guò)程中觸碰到坩堝壁；增加抽氣泵，除去內(nèi)部的氧氣，防止在結(jié)晶成品中存在氣泡；設(shè)置有重量傳感，不僅可直接了解結(jié)晶的重量，同時(shí)可根據(jù)結(jié)晶的重量進(jìn)行控制結(jié)晶的速度以及內(nèi)部溫度，間接地反應(yīng)機(jī)體內(nèi)部的結(jié)晶情況。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型外觀結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、機(jī)體，2、箱體，3、底座，4、顯示器，5、控制面板，6、坩堝蓋，7、電機(jī)，8、抽氣泵，9、坩堝，10、隔熱屏，11、射頻線圈，12、發(fā)熱體，13、固定頭，14、提拉桿，15、夾頭，16、籽晶桿，17、微孔攝像頭，18、插頭，19、氣泵，20、重量傳感器。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖1-2，本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案：一種提拉式長(zhǎng)晶爐，包括機(jī)體1、箱體2、底座3、顯示器4、控制面板5、坩堝蓋6、電機(jī)7、抽氣泵8、坩堝9、隔熱屏10、射頻線圈11、發(fā)熱體12、固定頭13、提拉桿14、夾頭15、籽晶桿16、微孔攝像頭17、插頭18、氣泵19和重量傳感器20，機(jī)體1的兩端安裝有箱體2，且其下端安置有底座3，機(jī)體1的右端設(shè)置有氣泵19，機(jī)體1的外表面設(shè)置有顯示器4，且其外表面后端連接有插頭18，顯示器4的下端安裝有控制面板5，坩堝蓋6的上端安置有電機(jī)7，坩堝蓋6的外表面上設(shè)置有微孔攝像頭17，可以直接觀察晶體的生長(zhǎng)情況，為控制晶體外形提供了有利的條件，箱體2的內(nèi)部安裝有抽氣泵8，坩堝9的外端設(shè)置有隔熱屏10，隔熱屏10的外端設(shè)置有射頻線圈11，且其下端安置有發(fā)熱體12，坩堝蓋6的下端連接有固定頭13，固定頭13的下端連接有提拉桿14，提拉桿14為伸縮裝置，且其伸縮為0-15cm，提拉桿14上安裝有夾頭15，且其內(nèi)部底端設(shè)置有重量傳感器20，夾頭15的下端安置有籽晶桿16，籽晶桿16與提拉桿14為可拆卸連接裝置，根據(jù)實(shí)際情況使用，靈活性強(qiáng)。

工作原理：在使用該提拉式長(zhǎng)晶爐之前，需要對(duì)整個(gè)裝置的結(jié)構(gòu)進(jìn)行簡(jiǎn)單的了解，在使用前，利用抽氣泵8和氣泵19，將機(jī)體1內(nèi)部的空氣抽出，并充入惰性氣體，插上插頭18，將將藍(lán)寶石原料放入坩堝9內(nèi)，利用夾頭15夾住籽晶，并降低提拉桿14，發(fā)熱體12對(duì)坩堝9內(nèi)的熔體進(jìn)行加熱，當(dāng)熔體的溫度加熱到預(yù)設(shè)值時(shí)，籽晶既不熔解，也不生長(zhǎng)，緩慢的提升提拉桿14以及轉(zhuǎn)動(dòng)籽晶桿16，利用控制面板5控制緩慢降低加熱功率，籽晶逐漸生長(zhǎng)，直至生長(zhǎng)到一定程度，同時(shí)重量傳感器20感應(yīng)晶體的重量，并將數(shù)據(jù)傳輸?shù)斤@示器4，同時(shí)微孔攝像頭17將結(jié)晶圖像反應(yīng)到顯示器4上，結(jié)晶結(jié)束后，取出結(jié)晶體即可。

盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換,凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。