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一種直拉法單晶爐用分段式接晶框的制作方法

文檔序號:11366594閱讀:409來源:國知局

本實用新型涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域,特別地,涉及一種直拉法單晶爐用分段式接晶框。



背景技術(shù):

單晶爐是一種在惰性氣體(氬氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,并用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。在直拉法制備單晶硅工藝中,晶體拉制完成拆爐后,晶棒溫度依然達(dá)到數(shù)百度,需要專用的接晶框接取晶棒后冷卻才能搬運。

隨著技術(shù)提升,晶棒直徑、長度、重量快速增大,原始一體式接晶框的弊端越來越大:大型一體式接晶框高度高,只能放于單晶爐底水平基面,當(dāng)放入晶棒后,重量達(dá)到近200KG,且與地面有約70CM的落差,為取出晶棒,需要4個身體強壯的人員通力合作,勞動強度巨大;晶棒長度達(dá)到近2米,爐底空間狹小操作困難,有磕碰人員和產(chǎn)品的危險,晶棒取出后還需稱重,需要人工多次搬運,耗費人力;而小型一體式接晶框因重心不穩(wěn)無法放置長晶體。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題,本實用新型的目的在于一種直拉法單晶爐用分段式接晶框,解決了使用傳統(tǒng)一體式接晶框時晶體不便搬運的問題。

為了達(dá)到上述目的,本實用新型采用以下技術(shù)方案予以實現(xiàn)。

一種直拉法單晶爐用分段式接晶框,其特征在于,包括:

圓柱形固定框架,所述圓柱形固定框架包含多個圓環(huán)框架和連接桿,所述連接桿豎向連接所述多個圓環(huán)框架;

軟性框架,所述軟性框架包含多條軟鏈、防脫環(huán)和底部承接盤,所述多條軟鏈之間平行連接有所述防脫環(huán)和所述底部承接盤;

所述多條軟鏈與所述圓柱形固定框架的最下端的圓環(huán)框架連接,所述最下端的圓環(huán)框架的兩側(cè)對稱設(shè)置有支撐耳。

作為優(yōu)選地,所述連接桿豎向焊接連接所述多個圓環(huán)框架,且所述多個圓環(huán)框架相互平行設(shè)置。

作為優(yōu)選地,所述多個圓環(huán)框架為3個。

作為優(yōu)選地,所述多條軟鏈通過焊接固定在所述圓柱形固定框架的最下端的圓環(huán)框架上,并均勻分布于圓環(huán)框架的一周,且不與所述支撐耳相互干擾。

作為優(yōu)選地,所述多條軟鏈為4條。

作為優(yōu)選地,所述防脫環(huán)設(shè)置于所述多條軟鏈的下部,且距離所述多條軟鏈的下端10-15厘米。

作為優(yōu)選地,所述多條軟鏈與所述防脫環(huán)的一周均勻連接,且所述防脫環(huán)平行于所述圓環(huán)框架。

作為優(yōu)選地,所述多條軟鏈與所述底部承接盤的一周均勻連接,且所述底部承接盤平行于所述防脫環(huán)。

作為優(yōu)選地,所述支撐耳為兩個。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的有益效果為:

本實用新型的直拉法單晶爐用分段式接晶框利用圓柱形固定框架連接軟性框架的結(jié)構(gòu),解決了使用傳統(tǒng)一體式接晶框時晶體不便搬運的問題,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說明。

圖1為本實用新型的一種直拉法單晶爐用分段式接晶框的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖中:1、圓環(huán)框架;2、連接桿;3、支撐耳;4、軟鏈;5、防脫環(huán);6、底部承接盤。

具體實施方式

下面將結(jié)合實施例對本實用新型的實施方案進(jìn)行詳細(xì)描述,但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員將會理解,下列實施例僅用于說明本實用新型,而不應(yīng)視為限制本實用新型的范圍。

本實用新型提供了一種直拉法單晶爐用分段式接晶框,包括:圓柱形固定框架,所述圓柱形固定框架包含多個圓環(huán)框架1和多個連接桿2,所述多個連接桿2豎向連接所述多個圓環(huán)框架1;還包括軟性框架,所述軟性框架包含多條軟鏈4、防脫環(huán)5和底部承接盤6,所述多條軟鏈4之間平行連接有所述防脫環(huán)5和所述底部承接盤6;所述多條軟鏈4與所述圓柱形固定框架的最下端的圓環(huán)框架1連接,所述最下端的圓環(huán)框架1的兩側(cè)對稱設(shè)置有支撐耳3。

其中,具體地,連接桿2豎向焊接連接圓環(huán)框架1,且多個圓環(huán)框架1相互平行設(shè)置;多個圓環(huán)框架1至少3個。

其中,具體地,多條軟鏈4通過焊接固定在圓柱形固定框架的最下端的圓環(huán)框架1上,并均勻分布于圓環(huán)框架1的一周,且不與支撐耳3相互干擾;多條軟鏈為至少4條。

其中,具體地,防脫環(huán)5為Φ4圓鋼材質(zhì),設(shè)置于多條軟鏈4的下部,穿過軟鏈4的下部等距處并成封閉狀態(tài),距離多條軟鏈4的下端10-15厘米。

其中,具體地,多條軟鏈4與防脫環(huán)5的一周均勻連接,且防脫環(huán)5平行于圓環(huán)框架1。

其中,具體地,底部承接盤6為鋼板制扁平圓環(huán),多條軟鏈4與底部承接盤6的一周均勻焊接連接,且底部承接盤6平行于防脫環(huán)5,保持水平狀態(tài)。

其中,具體地,支撐耳3為兩個,對稱設(shè)置于位于圓柱形固定框架的最下端的圓環(huán)框架上,并不與軟鏈4相互影響。

使用時,將軟鏈4從爐臺邊開口扔下,保持軟鏈4不相互纏繞,底部承接盤6水平,將支撐耳3放置于爐臺開口兩邊的水平地面上,保持該分段式接晶框的圓柱形固定框架垂直即可。晶體從圓柱形固定框架的上部緩慢降入該分段式接晶框,底部承接盤6上設(shè)置有圓孔,有尾晶體的尾部直接進(jìn)入底部承接盤6的圓孔處,無尾晶體放置于底部承接盤6平面上。在取晶體時,人員在平臺地面使用吊裝繩與舉升機就可將晶體直接取至平臺。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解,本實用新型不受上述實施例的限制,上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理,在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下,本實用新型還會有各種變化和改進(jìn),這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。

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