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一種提拉式長晶爐的制作方法

文檔序號:11614771閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種提拉式長晶爐,包括機體(1)、坩堝蓋(6)和坩堝(9),其特征在于:所述機體(1)的兩端安裝有箱體(2),且其下端安置有底座(3),所述機體(1)的外表面設置有顯示器(4),且其外表面后端連接有插頭(18),所述顯示器(4)的下端安裝有控制面板(5),所述坩堝蓋(6)的上端安置有電機(7),所述箱體(2)的內部安裝有抽氣泵(8),所述坩堝(9)的外端設置有隔熱屏(10),所述隔熱屏(10)的外端設置有射頻線圈(11),且其下端安置有發(fā)熱體(12),所述坩堝蓋(6)的下端連接有固定頭(13),所述固定頭(13)的下端連接有提拉桿(14),所述提拉桿(14)上安裝有夾頭(15),且其內部底端設置有重量傳感器(20),所述夾頭(15)的下端安置有籽晶桿(16)。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種提拉式長晶爐,其特征在于:所述坩堝蓋(6)的外表面上設置有微孔攝像頭(17)。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種提拉式長晶爐,其特征在于:所述籽晶桿(16)與提拉桿(14)為可拆卸連接裝置。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種提拉式長晶爐,其特征在于:所述機體(1)的右端設置有氣泵(19)。

5.根據(jù)權利要求1所述的一種提拉式長晶爐,其特征在于:所述提拉桿(14)為伸縮裝置,且其伸縮為0-15cm。

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