技術編號：11614771
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及長晶爐技術領域，具體為一種提拉式長晶爐。背景技術一般制備碳化硅的方法是，采用直拉晶棒制備方法。具體地說，其步驟是，加料：將制備碳化硅的原料放入石英坩堝內；融化：把加好原料的石英坩堝放入長晶爐(真空石墨電阻爐)內，然后長晶爐關閉并抽成真空后充入惰性氣體，然后打開石墨加熱器電源，加熱至熔化溫度以上，將原料熔化；縮頸生長：當熔體的溫度穩(wěn)定之后，將籽晶慢慢浸入坩堝中，將籽晶快速向上提升，使長出的籽晶的直徑縮小到4-6mm；放肩生長：長完細頸之后，須降低溫度與拉速，使得晶體的直徑漸漸增大到所...
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