技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
結(jié)晶基板2由13族元素氮化物結(jié)晶構(gòu)成，且具有第一主面2a及第二主面2b。低載流子濃度區(qū)域4和高載流子濃度區(qū)域5在第一主面2a與第二主面2b之間延伸。低載流子濃度區(qū)域4的載流子濃度為1018/cm3以下，低載流子濃度區(qū)域4的缺陷密度為107/cm2以下。高載流子濃度區(qū)域5的載流子濃度為1019/cm3以上，高載流子濃度區(qū)域6的缺陷密度為108/cm2以上。

技術(shù)研發(fā)人員：巖井真;吉野隆史
受保護(hù)的技術(shù)使用者：日本礙子株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2015.11.30
技術(shù)公布日：2017.08.01