本發(fā)明涉及一種玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造裝置。

背景技術(shù)：

用于液晶顯示器及等離子體顯示器等平板顯示器(FPD，flat panel display)的玻璃基板被要求應(yīng)變小、翹曲小、及平坦度高。如此的玻璃基板是如專利文獻(xiàn)1(日本專利特開2009-196879號(hào)公報(bào))公開所示，利用溢流下引法而制造。溢流下引法是流入成形體的上表面的槽中且自槽中溢出的熔融玻璃順著成形體的兩側(cè)面向下流動(dòng)，在成形體的下端合流，成形為玻璃帶。玻璃帶是一面被搬送至下方一面進(jìn)行緩冷，切斷為特定尺寸的玻璃基板。玻璃基板經(jīng)由端面加工步驟、表面清洗步驟及檢查步驟等，被包裝后出貨。

[背景技術(shù)文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)1]日本專利特開2009-196879號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

[發(fā)明所要解決的問題]

溢流下引法的玻璃帶的緩冷步驟是使用用以將玻璃帶搬送至下方的多個(gè)輥。輥是通過一面與玻璃帶的寬度方向兩端部接觸一面進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，而將玻璃帶牽拉至下方。接觸負(fù)荷作用于各輥與玻璃帶之間。

而且，在高清顯示器用玻璃基板制造中，要求熱收縮率及應(yīng)變較小的玻璃基板。具備如此性質(zhì)的玻璃基板的制造步驟中，存在緩冷步驟中被搬送至下方的玻璃帶的溫度較高的傾向。所以，產(chǎn)生與高溫的玻璃帶接觸的輥容易劣化的問題。而且，為制造高品質(zhì)的玻璃基板，而必須在緩冷步驟中，以較高的精度實(shí)現(xiàn)玻璃帶的寬度方向上的特定的溫度分布。尤其，對(duì)于高清顯示器用玻璃基板，要求低熱收縮率，因此，例如適用應(yīng)變點(diǎn)較高的玻璃組成。而且，在高清顯示器用玻璃基板的制造中，要求熱收縮率穩(wěn)定。所以， 在緩冷步驟中必須較高地維持玻璃基板的溫度，進(jìn)行緩冷步驟的空間成為輥容易劣化的環(huán)境。若輥劣化，則各輥與玻璃帶之間的接觸負(fù)荷變得不均一，從而存在成為玻璃帶的內(nèi)部應(yīng)變、振動(dòng)及變形的原因之虞。

本發(fā)明的目的在于提供一種可使利用溢流下引法所制造的玻璃基板的品質(zhì)提升的玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造裝置。

[解決問題的技術(shù)手段]

本發(fā)明的玻璃基板的制造方法是利用溢流下引法自熔融玻璃成形為玻璃帶，制造玻璃基板的方法。該玻璃基板的制造方法具有搬送步驟、測(cè)定步驟、及調(diào)整步驟。搬送步驟是一面利用沿著鉛垂方向配置的多個(gè)輥對(duì)夾持玻璃帶，一面使輥對(duì)的輥進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，將玻璃帶搬送至下方。測(cè)定步驟是在將玻璃帶搬送至下方的期間，測(cè)定正在旋轉(zhuǎn)的輥的扭矩。調(diào)整步驟是基于所測(cè)定的扭矩，以各個(gè)輥?zhàn)哉诔蛳路桨崴偷牟Ａ艿呢?fù)荷變?yōu)榫坏姆绞?，調(diào)整輥的狀態(tài)。

該玻璃基板的制造方法是測(cè)定為將玻璃帶搬送至下方而旋轉(zhuǎn)的輥的扭矩。接著，基于各輥的扭矩的測(cè)定數(shù)據(jù)，判定各輥與玻璃帶之間的接觸負(fù)荷是否均一。接著，以接觸負(fù)荷達(dá)到均一的方式，調(diào)整輥的狀態(tài)。由此，抑制玻璃帶的內(nèi)部應(yīng)變、振動(dòng)及變形。所以，該玻璃基板的制造方法可使利用溢流下引法所制造的玻璃基板的品質(zhì)提升。

而且，在本發(fā)明的玻璃基板的制造方法中，調(diào)整步驟優(yōu)選在沿著玻璃帶的搬送方向相鄰的2個(gè)輥的扭矩之差為特定值以上的情況下，以2個(gè)輥的角速度之差變小的方式調(diào)整輥的狀態(tài)。

該玻璃基板的制造方法是在沿著玻璃帶的搬送方向相鄰的2個(gè)輥的扭矩之差為特定的基準(zhǔn)值以上的情況下，判定各輥與玻璃帶之間的接觸負(fù)荷不均一。在該情況下，以相鄰的2個(gè)輥的角速度之差變小的方式，對(duì)輥進(jìn)行控制。

而且，在本發(fā)明的玻璃基板的制造方法中，調(diào)整步驟優(yōu)選控制用以使輥旋轉(zhuǎn)的電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速，調(diào)整輥的狀態(tài)。

該玻璃基板的制造方法是在沿著玻璃帶的搬送方向相鄰的2個(gè)輥的扭矩之差為特定的基準(zhǔn)值以上的情況下，判定各輥與玻璃帶之間的接觸負(fù)荷不均一。在該情況下，以相鄰的2個(gè)輥的角速度之差變小的方式，控制將輥驅(qū)動(dòng)的電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速。

而且，在本發(fā)明的玻璃基板的制造方法中，調(diào)整步驟優(yōu)選在輥旋轉(zhuǎn)一周的期間內(nèi)作為扭矩的最大值與最小值之差的扭矩變動(dòng)量為特定值以上的情況下，以扭矩變動(dòng)量變小的方式調(diào)整輥的狀態(tài)。

該玻璃基板的制造方法是基于輥旋轉(zhuǎn)一周的期間內(nèi)扭矩的變化，測(cè)定輥與玻璃帶之間的接觸負(fù)荷的變動(dòng)。過量的接觸負(fù)荷成為玻璃帶破裂或應(yīng)變的原因，而且，成為沿著玻璃帶的搬送方向相鄰的輥與玻璃帶之間的接觸負(fù)荷變動(dòng)的原因。所以，通過以扭矩變動(dòng)量變小的方式調(diào)整輥的狀態(tài)，而抑制過量的接觸負(fù)荷作用于輥與玻璃帶之間。由此，玻璃帶的內(nèi)部應(yīng)變、振動(dòng)及變形得到抑制。

而且，在本發(fā)明的玻璃基板的制造方法中，調(diào)整步驟優(yōu)選控制輥與玻璃帶之間的接觸負(fù)荷，調(diào)整輥的狀態(tài)。

該玻璃基板的制造方法是在輥與玻璃帶之間的接觸負(fù)荷過量的情況下，例如通過調(diào)整用于輥的位置調(diào)整的氣缸的壓力，而抑制過量的接觸負(fù)荷作用于輥與玻璃帶之間。

而且，在本發(fā)明的玻璃基板的制造方法中，調(diào)整步驟優(yōu)選通過將搬送步驟中使用的輥與備用輥進(jìn)行更換，而調(diào)整輥的狀態(tài)。

該玻璃基板的制造方法是在輥因長(zhǎng)期的使用而劣化的情況下，通過將已劣化的輥更換為新的備用輥，而使各輥與玻璃帶之間的接觸負(fù)荷成為均一，且抑制過量的接觸負(fù)荷作用于輥與玻璃帶之間。

本發(fā)明的玻璃基板的制造裝置是利用溢流下引法自熔融玻璃成形為玻璃帶從而制造玻璃基板的裝置。該玻璃基板的制造裝置具有搬送部、測(cè)定部、及調(diào)整部。搬送部具有沿著鉛垂方向配置的多個(gè)輥對(duì)，且一面利用輥對(duì)夾持玻璃帶，一面使輥對(duì)的輥進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，將玻璃帶搬送至下方。測(cè)定部是在玻璃帶被搬送至下方的期間，測(cè)定正在旋轉(zhuǎn)的輥的扭矩。調(diào)整部是基于所測(cè)定的扭矩，以各個(gè)輥?zhàn)哉诔蛳路桨崴偷牟Ａ艿呢?fù)荷達(dá)到均一的方式，調(diào)整輥的狀態(tài)。

[發(fā)明的效果]

本發(fā)明的玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造裝置可使利用溢流下引法制造的玻璃基板的品質(zhì)提升。

附圖說明

圖1是第1實(shí)施方式的玻璃基板的制造方法的流程圖。

圖2是第1實(shí)施方式的玻璃基板的制造裝置的示意圖。

圖3是第1實(shí)施方式的成形裝置的正視圖。

圖4是第1實(shí)施方式的成形裝置的側(cè)視圖。

圖5是第1實(shí)施方式的控制裝置的框圖。

圖6是表示第1實(shí)施方式中因長(zhǎng)期的使用所引起的壓延軋輥的扭矩變化的曲線圖。

圖7是表示第1實(shí)施方式中因長(zhǎng)期的使用所引起的壓延軋輥的扭矩變化的曲線圖。

圖8是表示第2實(shí)施方式中壓延軋輥旋轉(zhuǎn)一周的期間內(nèi)的扭矩變化的一例的曲線圖。

具體實(shí)施方式

―第1實(shí)施方式―

(1)玻璃基板的制造裝置的構(gòu)成

對(duì)于本發(fā)明的玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造裝置的第1實(shí)施方式，一面參照附圖，一面進(jìn)行說明。圖1是表示本實(shí)施方式的玻璃基板的制造方法的一例的流程圖。

如圖1所示，本實(shí)施方式的玻璃基板的制造方法主要包括熔解步驟S1、澄清步驟S2、攪拌步驟S3、成形步驟S4、冷卻步驟S5、及切斷步驟S6。

熔解步驟S1是將玻璃原料加熱，獲得熔融玻璃。熔融玻璃是貯存在熔解槽中，進(jìn)行通電加熱以具有所需的溫度。玻璃原料中，被添加有澄清劑。考慮到降低環(huán)境負(fù)荷的觀點(diǎn)，采用SnO₂作為澄清劑。

澄清步驟S2是使熔解步驟S1中獲得的熔融玻璃在澄清管的內(nèi)部流動(dòng)，將熔融玻璃中所含的氣體去除，由此，使熔融玻璃澄清。首先，在澄清步驟S2中，使熔融玻璃的溫度上升。熔融玻璃中所添加的澄清劑因升溫而引起還原反應(yīng)，將氧釋放。熔融玻璃中所含的含有CO₂、N₂、SO₂等氣體成分的泡將因澄清劑的還原反應(yīng)而產(chǎn)生的氧吸收。吸收氧而成長(zhǎng)的泡浮起到熔融玻璃的液面后，破裂而消失。消失的泡中所含的氣體被釋放到澄清管的內(nèi)部的氣相空間而排出至外部大氣。接著，在澄清步驟S2中，使熔融玻璃的溫度下降。由此，被還原的澄清劑引起氧化反應(yīng)，吸收熔融玻璃中殘存的氧等氣體成分。

在攪拌步驟S3中，將澄清步驟S2中被去除氣體的熔融玻璃進(jìn)行攪拌，使熔融玻璃的成分均質(zhì)化。由此，降低作為玻璃基板的條紋等原因的熔融玻璃的組成不均。

在成形步驟S4中，使用溢流下引法，自攪拌步驟S3中被均質(zhì)化的熔融玻璃連續(xù)地成形為玻璃帶。

在冷卻步驟S5中，將成形步驟S4中已成形的玻璃帶進(jìn)行冷卻。冷卻步驟S5是以避免在玻璃帶產(chǎn)生應(yīng)變及翹曲的方式，一面調(diào)節(jié)玻璃帶的溫度，一面將玻璃帶緩慢地冷 卻。

在切斷步驟S6中，將冷卻步驟S5中被冷卻的玻璃帶切斷為特定的尺寸，獲得玻璃基板。此后，進(jìn)行玻璃基板的端面研削及研磨、及玻璃基板的清洗。此后，檢查玻璃基板有無劃痕等缺陷，將檢查合格的玻璃基板進(jìn)行包裝，作為制品出貨。

圖2是表示本實(shí)施方式的玻璃基板制造裝置1的一例的示意圖。玻璃基板制造裝置1具有熔解槽10、澄清管20、攪拌裝置30、成形裝置40、及移送管50a、50b、50c。移送管50a將熔解槽10與澄清管20連接。移送管50b將澄清管20與攪拌裝置30連接。移送管50c將攪拌裝置30與成形裝置40連接。

熔解步驟S1中在熔解槽10所獲得的熔融玻璃2穿過移送管50a流入到澄清管20中。澄清步驟S2中在澄清管20被澄清的熔融玻璃2穿過移送管50b流入到攪拌裝置30中。攪拌步驟S3中在攪拌裝置30中被攪拌的熔融玻璃2穿過移送管50c流入到成形裝置40。在成形步驟S4中，利用成形裝置40而自熔融玻璃2連續(xù)地成形為玻璃帶3。在冷卻步驟S5中，將玻璃帶3一面搬送至下方，一面進(jìn)行冷卻。在切斷步驟S6中，將被冷卻的玻璃帶3切斷為特定的大小，獲得玻璃基板。玻璃基板的寬度為例如500mm～3500mm，且長(zhǎng)度為例如500mm～3500mm。玻璃基板的厚度為例如0.2mm～0.8mm。

利用玻璃基板制造裝置1制造的玻璃基板尤其適合作為液晶顯示器、等離子體顯示器、有機(jī)EL顯示器等平板顯示器(FPD)用的玻璃基板。作為FPD用的玻璃基板，使用無堿玻璃、微量含堿玻璃、低溫多晶硅(LTPS(Low Temperature Poly-silicon))用的玻璃、或者氧化物半導(dǎo)體用的玻璃。作為高清顯示器用的玻璃基板，使用高溫時(shí)具有較高粘性及較高應(yīng)變點(diǎn)的玻璃。例如，成為高清顯示器用的玻璃基板原料的玻璃于1500℃，具有10^2.5poise的粘性。

在熔解槽10中，將玻璃原料熔解，獲得熔融玻璃2。玻璃原料是以可獲得具有所需組成的玻璃基板的方式進(jìn)行制備。作為玻璃基板的組成的一例，適于FPD用的玻璃基板的無堿玻璃含有SiO₂：50質(zhì)量％～70質(zhì)量％、Al₂O₃：10質(zhì)量％～25質(zhì)量％、B₂O₃：1質(zhì)量％～18質(zhì)量％、MgO：0質(zhì)量％～10質(zhì)量％、CaO：0質(zhì)量％～20質(zhì)量％、SrO：0質(zhì)量％～20質(zhì)量％、BaO：0質(zhì)量％～10質(zhì)量％。此處，MgO、CaO、SrO及BaO的含量合計(jì)為5質(zhì)量％～30質(zhì)量％。

而且，作為FPD用的玻璃基板，也可以使用微量含有堿金屬的微量含堿玻璃。微量含堿玻璃含有0.1質(zhì)量％～0.5質(zhì)量％的R'₂O，優(yōu)選含有0.2質(zhì)量％～0.5質(zhì)量％的R'₂O。此處，R'是選自Li、Na及K的至少1種。R'₂O的含量也可以合計(jì)小于0.1質(zhì)量％。

而且，利用玻璃基板制造裝置1制造的玻璃基板可更含有SnO₂：0.01質(zhì)量％～1質(zhì)量％(優(yōu)選為0.01質(zhì)量％～0.5質(zhì)量％)、Fe₂O₃：0質(zhì)量％～0.2質(zhì)量％(優(yōu)選為0.01質(zhì)量％～0.08質(zhì)量％)。另外，利用玻璃基板制造裝置1制造的玻璃基板考慮到降低環(huán)境負(fù)荷的觀點(diǎn)，實(shí)質(zhì)上不含有As₂O₃、Sb₂O₃及PbO。

以具有上述組成的方式制備而成的玻璃原料是使用原料裝料機(jī)(未圖示)，投入至熔解槽10。原料裝料機(jī)既可使用螺旋加料器，進(jìn)行玻璃原料的投入，也可以使用鏟斗，進(jìn)行玻璃原料的投入。在熔解槽10中，玻璃原料被加熱到與其組成等相應(yīng)的溫度而熔解。在熔解槽10中，獲得例如1500℃～1600℃高溫的熔融玻璃2。在熔解槽10中，既可通過使電流流入利用鉬、鉑或氧化錫等成形的至少1對(duì)電極間，而將電極間的熔融玻璃2通電加熱，另外，除了通電加熱以外，也可以利用燃燒器的火焰輔助地加熱玻璃原料。

熔解槽10中獲得的熔融玻璃2是自熔解槽10穿過移送管50a流入澄清管20中。澄清管20及移送管50a、50b、50c是鉑制或鉑合金制的管。在澄清管20中，與熔解槽10同樣地設(shè)置有加熱機(jī)構(gòu)。在澄清管20中，使熔融玻璃2進(jìn)而升溫進(jìn)行澄清。例如，在澄清管20中，使熔融玻璃2的溫度上升至1500℃～1700℃。

澄清管20中經(jīng)澄清的熔融玻璃2是自澄清管20穿過移送管50b流入攪拌裝置30中。熔融玻璃2是在穿過移送管50b時(shí)被冷卻。在攪拌裝置30中，以比穿過澄清管20的熔融玻璃2的溫度低的溫度，攪拌熔融玻璃2。例如，在攪拌裝置30中，熔融玻璃2的溫度為1250℃～1450℃，熔融玻璃2的粘度為500poise～1300poise。熔融玻璃2是在攪拌裝置30中進(jìn)行攪拌而均質(zhì)化。

攪拌裝置30中被均質(zhì)化的熔融玻璃2是自攪拌裝置30穿過移送管50c流入成形裝置40中。熔融玻璃2是在穿過移送管50c時(shí)被冷卻，以具有適合熔融玻璃2成形的粘度。例如，熔融玻璃2被冷卻至1200℃附近。

成形裝置40是利用溢流下引法而自熔融玻璃2成形為玻璃帶3。接著，對(duì)成形裝置40的詳細(xì)構(gòu)成及動(dòng)作進(jìn)行說明。

(2)成形裝置的構(gòu)成

圖3是成形裝置40的正視圖。圖3是表示沿著與成形裝置40中所成形的玻璃帶3的表面垂直的方向所觀察的成形裝置40。圖4是成形裝置40的側(cè)視圖。圖4是表示沿著與成形裝置40中所成形的玻璃帶3的表面平行的方向所觀察的成形裝置40。

成形裝置40具有被包含耐火磚等耐火物的爐壁(未圖示)包圍的空間。該空間是自熔融玻璃2成形為玻璃帶3，且將玻璃帶3冷卻的空間。該空間包含上部成形空間60、下 部成形空間70、及緩冷空間80這3個(gè)空間。

成形步驟S4是在上部成形空間60中進(jìn)行。冷卻步驟S5是在下部成形空間70及緩冷空間80中進(jìn)行。上部成形空間60是將自攪拌裝置30經(jīng)由移送管50c供給至成形裝置40的熔融玻璃2成形為玻璃帶3的空間。下部成形空間70是上部成形空間60的下方的空間，且將玻璃帶3淬火至玻璃的緩冷點(diǎn)的附近的空間。緩冷空間80是下部成形空間70的下方的空間，且將玻璃帶3緩慢地進(jìn)行冷卻的空間。

成形裝置40主要包括成形體62、上部間隔構(gòu)件64、冷卻輥72、溫度調(diào)節(jié)單元74、下部間隔構(gòu)件76、壓延軋輥82a～82g、加熱器84a～84g、隔熱構(gòu)件86、切斷裝置98、及控制裝置91。接著，對(duì)成形裝置40的各構(gòu)成要素進(jìn)行說明。

(2-1)成形體

成形體62是設(shè)置在上部成形空間60。成形體62是用于使熔融玻璃2溢流而成形為玻璃帶3。如圖4所示，成形體62具有類似于楔形的五邊形的剖視形狀。成形體62的剖視形狀的尖端相當(dāng)于成形體62的下端62a。成形體62為耐火磚制。

在成形體62的上端面，沿著成形體62的長(zhǎng)邊方向，形成有槽62b。在成形體62的長(zhǎng)邊方向的端部，安裝有與槽62b連通的移送管50c。槽62b形成為隨著自與移送管50c連通的一端部朝向另一端部而緩慢地變淺。

自攪拌裝置30輸送至成形裝置40的熔融玻璃2是經(jīng)由移送管50c，流進(jìn)成形體62的槽62b中。自成形體62的槽62b中溢流的熔融玻璃2是一面順著成形體62的兩側(cè)面一面向下流動(dòng)，在成形體62的下端62a的附近合流。合流后的熔融玻璃2因重力而沿鉛垂方向下落，成形為板狀。由此，在成形體62的下端62a的附近，連續(xù)地成形為玻璃帶3。已成形的玻璃帶3在向下流動(dòng)到上部成形空間60之后，一面在下部成形空間70及緩冷空間80中被冷卻，一面被搬送至下方。在上部成形空間60中剛成形后的玻璃帶3的溫度為1100℃以上，且粘度為25000poise～350000poise。例如，在制造高清顯示器用的玻璃基板的情況下，利用成形體62成形的玻璃帶3的應(yīng)變點(diǎn)為655℃～750℃，優(yōu)選680℃～730℃，且在成形體62的下端62a的附近熔合的熔融玻璃2的粘度為25000poise～100000poise，優(yōu)選為32000poise～80000poise。

(2-2)上部間隔構(gòu)件

上部間隔構(gòu)件64是設(shè)置在成形體62的下端62a附近的一對(duì)板狀的隔熱構(gòu)件。如圖4所示，上部間隔構(gòu)件64是配置在玻璃帶3的厚度方向的兩側(cè)。上部間隔構(gòu)件64是將上部成形空間60與下部成形空間70隔開，抑制熱自上部成形空間60朝向下部成形空 間70移動(dòng)。

(2-3)冷卻輥

冷卻輥72是設(shè)置在下部成形空間70的懸臂式輥。冷卻輥72是設(shè)置在上部間隔構(gòu)件64的正下方。如圖3所示，冷卻輥72是配置在玻璃帶3的寬度方向的兩側(cè)部。如圖4所示，冷卻輥72是配置在玻璃帶3的厚度方向的兩側(cè)。玻璃帶3在其寬度方向的兩側(cè)部，被冷卻輥72挾持。冷卻輥72將自上部成形空間60所輸送的玻璃帶3進(jìn)行冷卻。

在下部成形空間70，玻璃帶3的寬度方向的兩側(cè)部分別被2對(duì)冷卻輥72所夾持。通過朝向玻璃帶3的兩側(cè)部的表面推壓冷卻輥72，而使冷卻輥72與玻璃帶3的接觸面積變大，從而有效地進(jìn)行冷卻輥72對(duì)玻璃帶3的冷卻。冷卻輥72將抵抗下述壓延軋輥82a～82g將玻璃帶3向下方牽拉的力的力賦予玻璃帶3。另外，通過冷卻輥72的旋轉(zhuǎn)速度與配置在最上方的壓延軋輥82a的旋轉(zhuǎn)速度之差，決定玻璃帶3的厚度。

冷卻輥72在內(nèi)部具有空氣冷卻管。冷卻輥72一直被空氣冷卻管冷卻。冷卻輥72因夾持玻璃帶3的寬度方向的兩側(cè)部而與玻璃帶3接觸。由此，熱自玻璃帶3傳遞至冷卻輥72，因此，將玻璃帶3的寬度方向的兩側(cè)部冷卻。與冷卻輥72接觸而被冷卻的玻璃帶3的寬度方向的兩側(cè)部的粘度為例如10^9.0poise以上。

冷卻輥72與玻璃帶3之間的接觸負(fù)荷可由控制裝置91進(jìn)行控制。接觸負(fù)荷是通過例如使用彈簧調(diào)整冷卻輥72的位置而得到控制。接觸負(fù)荷越大，則冷卻輥72推壓玻璃帶3的力變得越強(qiáng)。

(2-4)溫度調(diào)節(jié)單元

溫度調(diào)節(jié)單元74是設(shè)置在下部成形空間70。溫度調(diào)節(jié)單元74設(shè)置在上部間隔構(gòu)件64的下方且下部間隔構(gòu)件76的上方。

在下部成形空間70，將玻璃帶3進(jìn)行冷卻，直至玻璃帶3的寬度方向的中心部的溫度降低到緩冷點(diǎn)附近為止。溫度調(diào)節(jié)單元74是調(diào)節(jié)下部成形空間70中進(jìn)行冷卻的玻璃帶3的溫度。溫度調(diào)節(jié)單元74是將玻璃帶3加熱或冷卻的單元。如圖3所示，溫度調(diào)節(jié)單元74包含中心部冷卻單元74a及側(cè)部冷卻單元74b。中心部冷卻單元74a調(diào)節(jié)玻璃帶3的寬度方向的中心部的溫度。側(cè)部冷卻單元74b調(diào)節(jié)玻璃帶3的寬度方向的兩側(cè)部的溫度。此處，玻璃帶3的寬度方向的中心部表示夾在玻璃帶3的寬度方向的兩側(cè)部中的區(qū)域。

在下部成形空間70，如圖3所示，將多個(gè)中心部冷卻單元74a及多個(gè)側(cè)部冷卻單元74b分別沿著玻璃帶3向下流動(dòng)的方向即鉛垂方向進(jìn)行配置。中心部冷卻單元74a是以 與玻璃帶3的寬度方向的中心部的表面對(duì)向的方式配置。側(cè)部冷卻單元74b是以與玻璃帶3的寬度方向的兩側(cè)部的表面對(duì)向的方式配置。

溫度調(diào)節(jié)單元74是由控制裝置91進(jìn)行控制。各中心部冷卻單元74a及各側(cè)部冷卻單元74b可由控制裝置91獨(dú)立地進(jìn)行控制。

(2-5)下部間隔構(gòu)件

下部間隔構(gòu)件76是配置在溫度調(diào)節(jié)單元74的下方的一對(duì)板狀的隔熱構(gòu)件。如圖4所示，下部間隔構(gòu)件76是配置在玻璃帶3的厚度方向的兩側(cè)。下部間隔構(gòu)件76是沿鉛垂方向?qū)⑾虏砍尚慰臻g70與緩冷空間80隔開，從而抑制熱自下部成形空間70朝向緩冷空間80移動(dòng)。

(2-6)壓延軋輥

壓延軋輥82a～82g是設(shè)置在緩冷空間80的懸臂式輥。在緩冷空間80中，將壓延軋輥82a、壓延軋輥82b、……、壓延軋輥82f及壓延軋輥82g自上方朝向下方隔開間隔地配置。壓延軋輥82a配置在最上方，壓延軋輥82g配置在最下方。

如圖3所示，壓延軋輥82a～82g分別配置在玻璃帶3的寬度方向的兩側(cè)部。如圖4所示，壓延軋輥82a～82g分別配置在玻璃帶3的厚度方向的兩側(cè)。即，玻璃帶3的寬度方向的兩側(cè)部是自上方朝向下方，被2對(duì)壓延軋輥82a、2對(duì)壓延軋輥82b、……、2對(duì)壓延軋輥82f及2對(duì)壓延軋輥82g所夾持。

壓延軋輥82a～82g通過一面夾持穿過下部成形空間70的玻璃帶3的寬度方向的兩端部一面進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，而將玻璃帶3下拉至鉛垂方向下方。即，壓延軋輥82a～82g是用以將玻璃帶3搬送至下方的輥。

各壓延軋輥82a～82g的角速度可由控制裝置91獨(dú)立地控制。壓延軋輥82a～82g的角速度越大，則玻璃帶3被搬送至下方的速度變得越大。

(2-7)加熱器

加熱器84a～84g是設(shè)置在緩冷空間80。如圖4所示，在緩冷空間80中，加熱器84a、加熱器84b、……、加熱器84f及加熱器84g是自上方朝向下方隔開間隔地配置。加熱器84a～84g分別配置在玻璃帶3的厚度方向的兩側(cè)。壓延軋輥82a～82g分別配置在加熱器84a～84g與玻璃帶3之間。

加熱器84a～84g是朝向玻璃帶3的表面，輻射熱量將玻璃帶3加熱?？赏ㄟ^使用加熱器84a～84g，而在緩冷空間80調(diào)節(jié)搬送至下方的玻璃帶3的溫度。由此，加熱器84a～84g可在玻璃帶3的搬送方向上，在玻璃帶3上形成特定的溫度分布。

各加熱器84a～84g的輸出可由控制裝置91獨(dú)立地控制。而且，加熱器84a～84g也可以沿著玻璃帶3的寬度方向，分割為多個(gè)加熱器子單元(未圖示)，且各加熱器子單元的輸出可由控制裝置91獨(dú)立地控制。在該情況下，各加熱器84a～84g可通過根據(jù)玻璃帶3的寬度方向的位置使放熱量變化，而在玻璃帶3的寬度方向上形成特定的溫度分布。

另外，在各加熱器84a～84g的附近，設(shè)置有測(cè)定緩冷空間80的氣氛的溫度的熱電偶(未圖示)。熱電偶是測(cè)定例如玻璃帶3的寬度方向的中心部附近的氣氛溫度與兩側(cè)部附近的氣氛溫度。加熱器84a～84g也可以基于由熱電偶測(cè)定的緩冷空間80的氣氛的溫度進(jìn)行控制。

(2-8)隔熱構(gòu)件

隔熱構(gòu)件86是設(shè)置在緩冷空間80。隔熱構(gòu)件86是設(shè)置在沿著玻璃帶3的搬送方向相鄰的2個(gè)壓延軋輥82a～82g之間的高度位置。如圖4所示，隔熱構(gòu)件86是在玻璃帶3的厚度方向兩側(cè)水平地配置的一對(duì)隔熱板。隔熱構(gòu)件86將緩冷空間80沿鉛垂方向隔開，抑制緩冷空間80中的鉛垂方向的熱移動(dòng)。

隔熱構(gòu)件86是以不與搬送至下方的玻璃帶3接觸的方式設(shè)置。而且，隔熱構(gòu)件86是以可調(diào)整到玻璃帶3的表面為止的距離的方式設(shè)置。由此，隔熱構(gòu)件86抑制隔熱構(gòu)件86的上方空間與隔熱構(gòu)件86的下方空間之間的熱移動(dòng)。

(2-9)切斷裝置

切斷裝置98是設(shè)置在緩冷空間80的下方的空間。切斷裝置98將穿過緩冷空間80的玻璃帶3按照每一特定尺寸沿著玻璃帶3的寬度方向進(jìn)行切斷。穿過緩冷空間80的玻璃帶3是被冷卻到室溫附近的平坦的玻璃帶3。

切斷裝置98是以特定的時(shí)間間隔切斷玻璃帶3。由此，在玻璃帶3的搬送速度固定的情況下，可量產(chǎn)具有接近最終制品的尺寸的玻璃基板。

(2-10)控制裝置

控制裝置91是主要包含CPU(central processing unit，中央處理器)、RAM(Random Access Memory，隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)、ROM(Read Only Memory，只讀存儲(chǔ)器)及硬盤等的電腦。圖5是控制裝置91的框圖。如圖5所示，控制裝置91是與冷卻輥驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)172、溫度調(diào)節(jié)單元74、壓延軋輥驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)182、加熱器84a～84g及切斷裝置驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)198連接。冷卻輥驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)172是用以控制冷卻輥72的位置及旋轉(zhuǎn)速度等的電動(dòng)機(jī)。壓延軋輥驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)182是用以獨(dú)立地控制各壓延軋輥82a～82g的位置及旋轉(zhuǎn)速度等 的電動(dòng)機(jī)。切斷裝置驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)198是用以控制切斷裝置98將玻璃帶3切斷的時(shí)間間隔等的電動(dòng)機(jī)。控制裝置91是獲取各構(gòu)成要素的狀態(tài)，且存儲(chǔ)用以控制各構(gòu)成要素的程序。

控制裝置91可控制冷卻輥驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)172，獲取及調(diào)節(jié)夾持玻璃帶3的寬度方向的側(cè)部的一對(duì)冷卻輥72與玻璃帶3之間的接觸負(fù)荷。控制裝置91可控制壓延軋輥驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)182，獲取正在旋轉(zhuǎn)的各壓延軋輥82a～82g的扭矩，且調(diào)節(jié)各壓延軋輥82a～82g的角速度?？刂蒲b置91可獲取及調(diào)節(jié)溫度調(diào)節(jié)單元74的輸出、及各加熱器84a～84g的輸出?？刂蒲b置91可控制切斷裝置驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)198，獲取及調(diào)節(jié)切斷裝置98將玻璃帶3切斷的時(shí)間間隔等。

(3)成形裝置的動(dòng)作

在上部成形空間60中，自攪拌裝置30經(jīng)由移送管50c輸送到成形裝置40的熔融玻璃2被供給至形成于成形體62的上表面上的槽62b。自成形體62的槽62b中溢流的熔融玻璃2順著成形體62的兩側(cè)面向下流動(dòng)，且在成形體62的下端62a附近合流。在成形體62的下端62a附近，自已合流的熔融玻璃2連續(xù)地成形為玻璃帶3。已成形的玻璃帶3被輸送至下部成形空間70。

在下部成形空間70，玻璃帶3的寬度方向的兩側(cè)部與冷卻輥72接觸而被淬火。而且，通過溫度調(diào)節(jié)單元74，調(diào)節(jié)玻璃帶3的溫度，直至玻璃帶3的寬度方向的中心部的溫度降低至緩冷點(diǎn)。由冷卻輥72一面搬送至下方一面進(jìn)行冷卻的玻璃帶3被輸送到緩冷空間80。

在緩冷空間80中，玻璃帶3一面被壓延軋輥82a～82g下拉一面緩慢地被冷卻。玻璃帶3的溫度是以沿著玻璃帶3的寬度方向形成特定的溫度分布的方式，由加熱器84a～84g進(jìn)行控制。在緩冷空間80中，玻璃帶3的溫度自緩冷點(diǎn)附近，緩慢地下降到與比應(yīng)變點(diǎn)低200℃的溫度相比更低的溫度。

穿過緩冷空間80的玻璃帶3進(jìn)而被冷卻到室溫附近，且被切斷裝置98切斷為特定的尺寸，獲得玻璃基板。此后，進(jìn)行玻璃基板的端面的研磨及清洗等。此后，將特定檢查合格的玻璃基板進(jìn)行包裝，作為制品而出貨。

(4)控制裝置的動(dòng)作

玻璃基板制造裝置1的控制裝置91至少存儲(chǔ)且執(zhí)行包含搬送部、測(cè)定部及調(diào)整部的3個(gè)程序。搬送部是一面利用壓延軋輥82a～82g夾持玻璃帶3，一面使壓延軋輥82a～82g進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，在緩冷空間80中將玻璃帶3搬送至下方。測(cè)定部是在緩冷空間80中玻 璃帶3被搬送至下方的期間，測(cè)定一面與玻璃帶3接觸一面進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的壓延軋輥82a～82g的扭矩。調(diào)整部是判定沿著玻璃帶3的搬送方向相鄰的2個(gè)壓延軋輥82a～82g的扭矩之差是否為特定值以上。例如，調(diào)整部將壓延軋輥82a的扭矩與壓延軋輥82b的扭矩進(jìn)行比較，判定2個(gè)扭矩之差是否為特定值以上。具體而言，將4個(gè)壓延軋輥82a中的1個(gè)扭矩與4個(gè)壓延軋輥82b中的1個(gè)扭矩進(jìn)行比較。成為扭矩的比較對(duì)象的壓延軋輥82a及壓延軋輥82b在水平面內(nèi)位置相同，僅高度位置不同。

調(diào)整部是在沿著玻璃帶3的搬送方向相鄰的2個(gè)壓延軋輥82a～82g的扭矩之差為特定值以上的情況下，以該2個(gè)壓延軋輥82a～82g的角速度之差變小的方式，調(diào)整壓延軋輥82a～82g的狀態(tài)。具體而言，調(diào)整部控制與壓延軋輥82a～82g連接的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速，調(diào)整壓延軋輥82a～82g的角速度。由于各壓延軋輥82a～82g是與不同的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)連接，所以，可獨(dú)立地控制各壓延軋輥82a～82g的角速度。調(diào)整部是以沿著玻璃帶3的搬送方向相鄰的2個(gè)壓延軋輥82a～82g的角速度之差變小的方式，調(diào)整壓延軋輥82a～82g的角速度。由此，調(diào)整部可基于壓延軋輥82a～82g的扭矩的測(cè)定數(shù)據(jù)，使搬送至下方的玻璃帶3與各壓延軋輥82a～82g之間的接觸負(fù)荷變得均一。

(5)特征

在溢流下引法的玻璃基板的制造步驟中，自熔融玻璃成形的玻璃帶被壓延軋輥一面搬送至下方，一面進(jìn)行緩冷。與高溫的玻璃帶接觸的壓延軋輥因長(zhǎng)期的使用而劣化。尤其，要求熱收縮率及應(yīng)變較小的玻璃基板的高清顯示器用玻璃基板的制造步驟與通常的玻璃基板的制造步驟相比，一面被緩冷一面被搬送至下方的玻璃帶的溫度更高，從而壓延軋輥容易劣化。而且，為制造高品質(zhì)的玻璃基板，而必須在玻璃帶的緩冷步驟中，以較高之精度控制玻璃帶的寬度方向的溫度分布。若壓延軋輥劣化，則各壓延軋輥與玻璃帶之間的接觸負(fù)荷變得不均一，從而成為玻璃帶的內(nèi)部應(yīng)變、振動(dòng)及變形的原因，導(dǎo)致玻璃基板的品質(zhì)下降。

本實(shí)施方式的玻璃基板制造裝置1具備用以將利用溢流下引法而自熔融玻璃2成形的玻璃帶3一面進(jìn)行冷卻一面搬送至下方的壓延軋輥82a～82g。壓延軋輥82a～82g通過夾持著玻璃帶3的寬度方向的兩端部進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，而將玻璃帶3牽拉到下方。此時(shí)，接觸負(fù)荷作用于各壓延軋輥82a～82g與玻璃帶3之間。

玻璃基板制造裝置1的控制裝置91是通過測(cè)定且調(diào)整各壓延軋輥82a～82g的扭矩，而使各壓延軋輥82a～82g與玻璃帶3之間的接觸負(fù)荷達(dá)到均一。具體而言，控制裝置91在沿著玻璃帶3的搬送方向相鄰的2個(gè)壓延軋輥82a～82g的扭矩之差為特定值以上 的情況下，調(diào)整該2個(gè)壓延軋輥82a～82g的角速度，降低扭矩之差?？刂蒲b置91是通過調(diào)整各壓延軋輥82a～82g的角速度，使各壓延軋輥82a～82g的扭矩達(dá)到均一，而使各壓延軋輥82a～82g與玻璃帶3之間的接觸負(fù)荷達(dá)到均一。由此，玻璃帶3的內(nèi)部應(yīng)變、振動(dòng)及變形得到抑制，從而玻璃基板的品質(zhì)提升。

接著，為表示利用玻璃基板制造裝置1使玻璃基板的品質(zhì)提升的依據(jù)，而對(duì)于在沿著玻璃帶3的搬送方向相鄰的2個(gè)壓延軋輥82a、82b的扭矩之差為特定值以上的情況下，不調(diào)整壓延軋輥82a、82b的角速度而導(dǎo)致產(chǎn)生的問題進(jìn)行說明。

圖6是表示長(zhǎng)期使用所導(dǎo)致的壓延軋輥82a、82b的扭矩變化的曲線圖。在圖6中，橫軸表示時(shí)間，縱軸表示扭矩的大小。在圖6中，實(shí)線表示壓延軋輥82a的扭矩的時(shí)間變化，虛線表示位于壓延軋輥82a的下方的壓延軋輥82b的扭矩的時(shí)間變化。圖6是表示壓延軋輥82a的磨損的速度大于壓延軋輥82b的磨損的速度的模式。在該情況下，壓延軋輥82a的外徑與壓延軋輥82b的外徑相比，因磨損而在更短時(shí)間內(nèi)變小。所以，因長(zhǎng)期使用，壓延軋輥82a與玻璃帶3之間的接觸過載變得小于壓延軋輥82b與玻璃帶3之間的接觸過載，其結(jié)果，因壓延軋輥82a、82b的使用開始時(shí)起的時(shí)間經(jīng)過，壓延軋輥82a的扭矩變得小于壓延軋輥82b的扭矩。由此，壓延軋輥82a將玻璃帶3朝向下方搬送的速度變得小于壓延軋輥82b將玻璃帶3朝向下方搬送的速度，所以，在壓延軋輥82a與壓延軋輥82b之間，沿著搬送方向欲牽拉玻璃帶3之力作用于玻璃帶3。若該力過量地作用，則成為玻璃帶3破裂或應(yīng)變的原因。

圖7是與圖6相同的曲線圖，且表示壓延軋輥82b的磨損的速度大于壓延軋輥82a的磨損的速度的模式。在該情況下，因長(zhǎng)期使用，壓延軋輥82b的扭矩變得小于壓延軋輥82a的扭矩。由此，壓延軋輥82a將玻璃帶3朝向下方搬送的速度變得大于壓延軋輥82b將玻璃帶3朝向下方搬送的速度，所以，在壓延軋輥82a與壓延軋輥82b之間，沿著搬送方向欲壓縮玻璃帶3的力作用于玻璃帶3。若該力過量地作用，則玻璃帶3的表面彎曲，從而成為進(jìn)行搬送的玻璃帶3振動(dòng)的原因。玻璃帶3振動(dòng)成為玻璃帶3破裂或應(yīng)變的原因。

這樣一來，無論圖6及圖7的哪一個(gè)模式中，均存在沿著玻璃帶3的搬送方向相鄰的2個(gè)壓延軋輥82a、82b的扭矩之差導(dǎo)致玻璃基板的品質(zhì)下降之虞。因此，玻璃基板制造裝置1可通過使沿著玻璃帶3的搬送方向相鄰的2個(gè)壓延軋輥82a～82g的扭矩之差變小，使各壓延軋輥82a～82g與玻璃帶3之間的接觸負(fù)荷達(dá)到均一，而使利用溢流下引法制造的玻璃基板的品質(zhì)提升。

―第2實(shí)施方式―

對(duì)于本發(fā)明的玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造裝置的第2實(shí)施方式，一面參照附圖，一面進(jìn)行說明。本實(shí)施方式的玻璃基板制造裝置是除了控制裝置91的調(diào)整部的動(dòng)作以外，與第1實(shí)施方式的玻璃基板制造裝置1相同。所以，將與玻璃基板制造裝置的構(gòu)成相關(guān)的說明省略，而以控制裝置91的調(diào)整部的動(dòng)作為中心進(jìn)行說明。

在本實(shí)施方式中，控制裝置91的調(diào)整部在壓延軋輥82a～82g旋轉(zhuǎn)一周的期間內(nèi)扭矩的最大值與最小值之差即扭矩變動(dòng)量為特定值以上的情況下，以扭矩變動(dòng)量變小的方式調(diào)整壓延軋輥82a～82g的狀態(tài)。

扭矩的變動(dòng)主要起因于壓延軋輥82a～82g的旋轉(zhuǎn)軸偏心。若壓延軋輥82a～82g的旋轉(zhuǎn)軸偏心，則壓延軋輥82a～82g在旋轉(zhuǎn)時(shí)振動(dòng)。由此，存在如下可能性：在壓延軋輥82a～82g旋轉(zhuǎn)一周的期間內(nèi)，扭矩產(chǎn)生變化，且在扭矩成為最大時(shí)，過量的接觸負(fù)荷作用于壓延軋輥82a～82g與玻璃帶3之間。過量的接觸負(fù)荷成為玻璃帶3破裂或應(yīng)變的原因。而且，若因過量的接觸負(fù)荷，壓延軋輥82a～82g將玻璃帶3朝向下方搬送的力増加，則上方的壓延軋輥82a～82g的負(fù)擔(dān)増加。相反地，若因過少的接觸負(fù)荷，壓延軋輥82a～82g將玻璃帶3朝向下方搬送的力減少，則下方的壓延軋輥82a～82g的負(fù)擔(dān)増加。這樣一來，壓延軋輥82a～82g的扭矩的周期性變動(dòng)成為接觸負(fù)荷的周期性變動(dòng)，從而玻璃帶3的搬送方向上相鄰的壓延軋輥82a～82g與玻璃帶3之間的接觸負(fù)荷產(chǎn)生變動(dòng)，導(dǎo)致玻璃基板的品質(zhì)下降。

本實(shí)施方式是測(cè)定壓延軋輥82a～82g旋轉(zhuǎn)一周的期間內(nèi)扭矩的變化。接著，通過以壓延軋輥82a～82g的扭矩變動(dòng)量變小的方式調(diào)整壓延軋輥82a～82g的狀態(tài)，而抑制壓延軋輥82a～82g與玻璃帶3之間的接觸負(fù)荷的變動(dòng)，從而防止過量的接觸負(fù)荷作用于玻璃帶3。具體而言，通過減小夾持玻璃帶3的寬度方向的端部的一對(duì)壓延軋輥82a～82g與玻璃帶3之間的接觸負(fù)荷，而抑制接觸負(fù)荷的變動(dòng)，從而防止過量的接觸負(fù)荷作用于玻璃帶3。在本實(shí)施方式中，控制裝置91可控制壓延軋輥驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)182，調(diào)整夾持玻璃帶3的寬度方向的端部的一對(duì)壓延軋輥82a～82g與玻璃帶3之間的接觸負(fù)荷。接觸負(fù)荷是例如通過變更用于壓延軋輥82a～82g的位置調(diào)整的氣缸的壓力而進(jìn)行調(diào)整。另外，接觸負(fù)荷也可以使用氣缸以外的致動(dòng)器進(jìn)行調(diào)整。

圖8是表示壓延軋輥82a旋轉(zhuǎn)一周的期間內(nèi)扭矩的變化一例的曲線圖。在圖8中，時(shí)刻t1至?xí)r刻t2為止的期間是壓延軋輥82a旋轉(zhuǎn)一周所需的時(shí)間。實(shí)線是壓延軋輥82a旋轉(zhuǎn)一周的期間內(nèi)扭矩變動(dòng)量為特定值以上時(shí)的圖形。虛線是自實(shí)線的狀態(tài)起，使夾持 玻璃帶3的寬度方向的端部的一對(duì)壓延軋輥82a與玻璃帶3之間的接觸負(fù)荷變小時(shí)的圖形。點(diǎn)劃線是表示扭矩變動(dòng)量為零的理想狀態(tài)的圖形。圖8中，在實(shí)線的圖形中，在扭矩成為最大的時(shí)刻t3的附近，過量的接觸作用于負(fù)荷壓延軋輥82a與玻璃帶3之間。另一方面，虛線的圖形與實(shí)線的圖形相比，時(shí)刻t3中的扭矩的最大值變小，因此，接觸負(fù)荷也變小，從而防止過量的接觸負(fù)荷作用于玻璃帶3。

因此，本實(shí)施方式的玻璃基板制造裝置可將壓延軋輥82a～82g旋轉(zhuǎn)一周的期間內(nèi)扭矩的最大值與最小值之差即扭矩變動(dòng)量減小，防止過量的接觸負(fù)荷作用于玻璃帶3，從而使玻璃基板的品質(zhì)提升。

―變化例―

(1)變化例A

第1實(shí)施方式是通過將沿著玻璃帶3的搬送方向相鄰的2個(gè)壓延軋輥82a～82g的扭矩之差減小，調(diào)整壓延軋輥82a～82g的狀態(tài)，第2實(shí)施方式是通過將壓延軋輥82a～82g旋轉(zhuǎn)一周的期間內(nèi)扭矩的最大值與最小值之差即扭矩變動(dòng)量減小，調(diào)整壓延軋輥82a～82g的狀態(tài)。然而，在第1實(shí)施方式及第2實(shí)施方式中，也可以利用其他方法，調(diào)整壓延軋輥82a～82g的狀態(tài)。

例如，在判定調(diào)整部必須調(diào)整壓延軋輥82a～82g的狀態(tài)的情況下，也可以通過將當(dāng)前使用的壓延軋輥82a～82g更換為備用的新的壓延軋輥82a～82g，而調(diào)整壓延軋輥82a～82g的狀態(tài)。由此，在因長(zhǎng)期使用，壓延軋輥82a～82g劣化的情況下，可通過將已劣化的壓延軋輥82a～82g更換為新的壓延軋輥82a～82g，而使玻璃基板的品質(zhì)提升。

(2)變化例B

第1實(shí)施方式是通過將沿著玻璃帶3的搬送方向相鄰的2個(gè)壓延軋輥82a～82g的扭矩之差減小，而調(diào)整壓延軋輥82a～82g的狀態(tài)，從而使玻璃基板的品質(zhì)提升。然而，也可以通過將沿著玻璃帶3的寬度方向相鄰的2個(gè)壓延軋輥82a～82g的扭矩之差減小，而調(diào)整壓延軋輥82a～82g的狀態(tài)。例如，當(dāng)和玻璃帶3的寬度方向的兩端部中的一端部接觸的壓延軋輥82a的扭矩與和另一端部接觸的壓延軋輥82a的扭矩之差為特定值以上的情況下，也可以扭矩之差減少的方式，調(diào)整壓延軋輥82a的狀態(tài)。

在該情況下，位于相同高度位置的一對(duì)壓延軋輥82a的扭矩之差產(chǎn)生被朝向下方搬送的玻璃帶3的寬度方向的兩端部之間的速度差，因此，存在玻璃帶3被扭轉(zhuǎn)，成為玻璃帶3破裂或應(yīng)變的原因之虞。所以，可通過將位于相同高度位置的壓延軋輥82a～82g的扭矩之差降低，而使玻璃基板的品質(zhì)提升。

(3)變化例C

第1實(shí)施方式是通過減小沿著玻璃帶3的搬送方向相鄰的2個(gè)壓延軋輥82a～82g的扭矩之差，而調(diào)整壓延軋輥82a～82g的狀態(tài)，第2實(shí)施方式是通過減小壓延軋輥82a～82g旋轉(zhuǎn)一周的期間內(nèi)扭矩的最大值與最小值之差即扭矩變動(dòng)量，而調(diào)整壓延軋輥82a～82g的狀態(tài)。然而，也可以通過減小沿著玻璃帶3的搬送方向相鄰的2個(gè)壓延軋輥82a～82g的扭矩之差，且，減小壓延軋輥82a～82g旋轉(zhuǎn)一周的期間內(nèi)扭矩的最大值與最小值之差即扭矩變動(dòng)量，而調(diào)整壓延軋輥82a～82g的狀態(tài)。

(4)變化例D

在第1實(shí)施方式中，控制裝置91是在沿著玻璃帶3的搬送方向相鄰的2個(gè)壓延軋輥82a～82g的扭矩之差為特定值以上的情況下，調(diào)整該2個(gè)壓延軋輥82a～82g的角速度，減小扭矩之差。由此，控制裝置91使各壓延軋輥82a～82g的扭矩達(dá)到均一，從而使各壓延軋輥82a～82g與玻璃帶3之間的接觸負(fù)荷達(dá)到均一。

然而，控制裝置91也可以基于其他條件，調(diào)整壓延軋輥82a～82g的角速度，使各壓延軋輥82a～82g與玻璃帶3之間的接觸負(fù)荷達(dá)到均一。

作為一例，控制裝置91在沿著搬送方向相鄰的2個(gè)壓延軋輥82a～82g的扭矩之差為特定的基準(zhǔn)值以上的情況下，也可以調(diào)整該2個(gè)壓延軋輥82a～82g的角速度，減小扭矩之差，且，對(duì)于配置在更上方的2個(gè)壓延軋輥82a～82g，使用更小的基準(zhǔn)值。在緩冷空間80中，配置在更上方的壓延軋輥82a～82g容易因高溫而劣化。所以，可通過更頻繁地調(diào)整配置在更上方的壓延軋輥82a～82g的角速度，而有效地使各壓延軋輥82a～82g的扭矩達(dá)到均一。

作為其他例，控制裝置91也可以運(yùn)算沿著搬送方向相鄰的2個(gè)壓延軋輥82a～82g的所有的扭矩差，且在所有的扭矩差的分散或標(biāo)準(zhǔn)偏差超過特定值的情況下，調(diào)整該壓延軋輥82a～82g的角速度。

(5)變化例E

在第2實(shí)施方式中，控制裝置91通過以壓延軋輥82a～82g旋轉(zhuǎn)一周的期間內(nèi)扭矩變動(dòng)量變小的方式，調(diào)整壓延軋輥82a～82g的狀態(tài)，而抑制壓延軋輥82a～82g與玻璃帶3之間的接觸負(fù)荷的變動(dòng)。

然而，控制裝置91也可以基于其他條件，調(diào)整壓延軋輥82a～82g的狀態(tài)，抑制各壓延軋輥82a～82g與玻璃帶3之間的接觸負(fù)荷的變動(dòng)。

作為一例，控制裝置91也可以在壓延軋輥82a～82g的扭矩變動(dòng)量為特定的基準(zhǔn)值 以上的情況下，調(diào)整該壓延軋輥82a～82g的狀態(tài)，且，對(duì)于配置在更上方的壓延軋輥82a～82g，使用更小的基準(zhǔn)值。在緩冷空間80中，配置在更上方的壓延軋輥82a～82g容易因高溫而劣化。所以，可通過更頻繁地調(diào)整配置在更上方的壓延軋輥82a～82g的狀態(tài)，而有效地減小壓延軋輥82a～82g的扭矩變動(dòng)量。

作為其他例，控制裝置91也可以取代扭矩變動(dòng)量，而在壓延軋輥82a～82g旋轉(zhuǎn)一周的期間內(nèi)扭矩的每一時(shí)間變化量的最大值超過基準(zhǔn)值的情況下，調(diào)整該壓延軋輥82a～82g的狀態(tài)。

(6)變化例F

第1實(shí)施方式及第2實(shí)施方式是利用溢流下引法自熔融玻璃2成形為玻璃帶3，但也可以利用其他下引法自熔融玻璃2成形為玻璃帶3。例如，也可以利用重新下引法及流孔下引法等，自熔融玻璃2成形為玻璃帶3。

[符號(hào)的說明]

2 熔融玻璃

3 玻璃帶

82a～82g 冷卻輥(輥)