專利名稱：采用硼氫化鈉或硼氫化鉀還原四氯化鍺反應(yīng)制備氫化鍺的技術(shù)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種化工產(chǎn)品-高純氫化鍺制備方法的工藝技術(shù)，特別是一種采用硼氫化鈉或硼氫化鉀還原四氯化鍺反應(yīng)制備氫化鍺的技術(shù)，適合于化工合成氫化鍺。
背景技術(shù)：
目前，目前，微電子技術(shù)是現(xiàn)代信息技術(shù)和軍事技術(shù)的主要基石，是推動(dòng)科技進(jìn) 步、產(chǎn)業(yè)發(fā)展、經(jīng)濟(jì)騰飛和社會(huì)前進(jìn)的關(guān)鍵因素之一。集成電路是微電子技術(shù)的核心，其發(fā) 展水平和產(chǎn)業(yè)規(guī)模已成為衡量一個(gè)國(guó)家經(jīng)濟(jì)實(shí)力的重要標(biāo)志。電子特種氣體(如氫化鍺)， 尤其是高純電子氣體作為電子化工材料這一新門類，是制約集成電路可靠性和成品率的重 要因素。隨著電子信息技術(shù)的飛速發(fā)展，集成度越來(lái)越高，對(duì)基礎(chǔ)原材料(如氫化鍺)的純 度要求已經(jīng)提高到了 5N級(jí)(99. 999%),甚至7N以上，因此制備高純電子特種氣體技術(shù)更 顯得迫在眉睫。氫化鍺的制備技術(shù)尚未完善，制作方法工藝復(fù)雜，較難掌握，生產(chǎn)的產(chǎn)品尚 不能全面滿足相關(guān)電子產(chǎn)品的需要，質(zhì)量差，問(wèn)題多，只能用于制造低規(guī)格的產(chǎn)品，因此，給 用戶帶來(lái)了較大的麻煩，這種狀況嚴(yán)重地制約了電子技術(shù)的發(fā)展。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的問(wèn)題在于，克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種采用硼氫化鈉或 硼氫化鉀還原四氯化鍺反應(yīng)制備氫化鍺的技術(shù)。該技術(shù)不僅工藝合理，制備簡(jiǎn)單，而且產(chǎn)品 質(zhì)量好，生產(chǎn)的氫化鍺純度高達(dá)5N(99. 999% )以上，并解決了環(huán)境污染問(wèn)題。本發(fā)明采用的技術(shù)方案是反應(yīng)瓶下連接電磁攪拌器，其上連接2#滴液漏斗、1# 滴液漏斗、冷凝器，冷凝器通過(guò)連接管與取樣瓶、水銀壓力計(jì)、集氣瓶、接真空泵連接管順序 組裝一體而構(gòu)成。本發(fā)明全部采用不銹鋼材料制成組裝。采用特純四氯化鍺和純度為96. 5%的硼氫化鈉或硼氫化鉀，在2#滴液漏斗中放 入一定量的四氯化鍺，新配制的硼氫化物的水溶液放入恒溫的反應(yīng)瓶和1#滴液漏斗中。用 真空泵把系統(tǒng)中的空氣抽掉。然后把2#滴液漏斗中的四氯化鍺加入硼氫化物溶液中，同時(shí) 用電磁攪拌器攪拌溶液。殘留在2#滴液漏斗壁上的少量四氯化鍺用1#滴液漏斗中的硼氫 化物溶液沖洗。反應(yīng)產(chǎn)物收集在集氣瓶中，用水銀壓力計(jì)測(cè)量壓力。反應(yīng)結(jié)束后，生成的混合氫化鍺導(dǎo)入浸放在盛有液氮的杜瓦瓶?jī)?nèi)的集氣瓶中。氫 化鍺凝聚于集氣瓶中，而氫氣放入大氣中，反應(yīng)結(jié)束后，把氫化鍺從集氣瓶轉(zhuǎn)入不銹鋼瓶 中，加壓下以液體存儲(chǔ)，工藝合理，制作簡(jiǎn)單，是氫化鍺制備的理想技術(shù)。本發(fā)明的有益效果是，設(shè)計(jì)合理，使用方便，是理想的氫化鍺制備工藝技術(shù)。


下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明。
圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖編號(hào)為1、反應(yīng)瓶，2、電磁攪拌器，3、2#滴液漏斗，4、1#滴液漏斗，5、冷凝器， 6、取樣瓶，7、集氣瓶，8、水銀壓力計(jì)，9、接真空泵連接管，10、連接管。
具體實(shí)施例方式參照?qǐng)D1，反應(yīng)瓶⑴下連接電磁攪拌器(2)，其上連接2#滴液漏斗(3)、1#滴液 漏斗(4)、冷凝器(5)，冷凝器(5)通過(guò)連接管(10)與取樣瓶(6)、水銀壓力計(jì)(8)、集氣瓶
(7)、接真空泵連接管(9)順序組裝一體而構(gòu)成。本發(fā)明全部采用不銹鋼材料制成組裝。采用特純四氯化鍺和純度為96. 5%的硼氫化鈉或硼氫化鉀，在2#滴液漏斗(3)中 放入一定量的四氯化鍺，新配制的硼氫化物的水溶液放入恒溫的反應(yīng)瓶(1)和1#滴液漏斗 (4)中。用真空泵把系統(tǒng)中的空氣抽掉，然后把2#滴液漏斗(3)中的四氯化鍺加入硼氫化 物溶液中，同時(shí)用電磁攪拌器(2)攪拌溶液。殘留在2#滴液漏斗(3)壁上的少量四氯化鍺 用1#滴液漏斗(4)中的硼氫化物溶液沖洗。反應(yīng)產(chǎn)物收集在集氣瓶(7)中，用水銀壓力計(jì)
(8)測(cè)量壓力。反應(yīng)結(jié)束后，生成的混合氫化鍺導(dǎo)入浸放在盛有液氮的杜瓦瓶?jī)?nèi)的集氣瓶中(7)。 氫化鍺凝聚于集氣瓶(7)中，而氫氣放入大氣中，反應(yīng)結(jié)束后，把氫化鍺從集氣瓶(7)轉(zhuǎn)入 不銹鋼瓶中，加壓下以液體存儲(chǔ)，工藝合理，制作簡(jiǎn)單，是氫化鍺制備的理想技術(shù)。
權(quán)利要求
一種采用硼氫化鈉或硼氫化鉀還原四氯化鍺反應(yīng)制備氫化鍺的技術(shù)，其特征在于反應(yīng)瓶下連接電磁攪拌器，其上連接2#滴液漏斗、1#滴液漏斗、冷凝器，冷凝器通過(guò)連接管與取樣瓶、水銀壓力計(jì)、集氣瓶、接真空泵連接管順序組裝一體而構(gòu)成。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種采用硼氫化鈉或硼氫化鉀還原四氯化鍺反應(yīng)制備氫化鍺的技術(shù)，主要由反應(yīng)瓶下連接電磁攪拌器，其上連接2號(hào)滴液漏斗、1號(hào)滴液漏斗、冷凝器，冷凝器通過(guò)連接管與取樣瓶、水銀壓力計(jì)、集氣瓶、接真空泵連接管順序組裝一體而構(gòu)成。設(shè)計(jì)合理，使用方便，是理想的高純氫化鍺制備工藝技術(shù)。
文檔編號(hào)C01B6/06GK101955155SQ20101019256
公開(kāi)日2011年1月26日 申請(qǐng)日期2010年6月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月7日
發(fā)明者李中元 申請(qǐng)人:天津市泰源工業(yè)氣體有限公司