靶材191固定。第二靶材壓條182通過第二緊固件15固定在支撐座192上。第一革E材壓條181與第二革E材壓條182相配合，將十塊革E材191完全固定。
[0038]靶材191在受到等離子體轟擊時濺射出涂層粒子。靶材191的材質(zhì)根據(jù)鍍膜需要而選擇。靶材191可以呈平板狀、塊狀等。靶材191的規(guī)格、材質(zhì)選擇都為本領(lǐng)域技術(shù)人員所習(xí)知的技術(shù)，在此就不再贅述。
[0039]所述磁體設(shè)置在所述陰極體基座14的容腔141內(nèi)且與靶材191平行設(shè)置，以約束電子，形成等離子體。所述磁體包括磁軛22、第一磁鐵211和第二磁鐵212。第一磁鐵211與第二磁鐵212間隔設(shè)置，并均設(shè)置在該磁軛22上與磁軛22相接觸。第二磁鐵212環(huán)繞第一磁鐵211設(shè)置。所述第一磁鐵211與第二磁鐵212形成閉合磁力線，所述磁力線用于約束位于靶材一側(cè)的電子使之形成等離子體。所述磁軛22傳輸對應(yīng)第一磁鐵211和第二磁鐵212輸出的磁力線并形成回路?？梢韵氲降氖?，所述磁軛22可以采用導(dǎo)磁率較高的軟鐵、軟磁合金以及鐵氧材料等制造。所述第一磁鐵211與第二磁鐵212起到提供磁場以對進入該磁場的電子進行約束以延長該電子的運動軌跡。所述磁軛22、第一磁鐵211與第二磁鐵212的規(guī)格及相應(yīng)配合都為本命領(lǐng)域技術(shù)人員所習(xí)知的技術(shù)，在此不再贅述。所述支撐梁23用于支撐所述磁體，并給所述移位機構(gòu)提供設(shè)置結(jié)構(gòu)。所述磁軛22、第一磁鐵211與第二磁鐵212均安裝在支撐梁23上。所述支撐梁23的結(jié)構(gòu)只要能夠滿足支撐對應(yīng)磁體的功能，并符合移位機構(gòu)的設(shè)置需要即可。在本實施例中，所述支撐梁23設(shè)置成平板狀以便于與所述磁軛22、第一磁鐵211與第二磁鐵212貼合設(shè)置。在本實施例中，為了提高所述磁路組件的穩(wěn)固性及提高所述移位機構(gòu)移動該磁路組件的精準(zhǔn)度，所述磁體與所述支撐梁23固定連接。進一步地，第三緊固件24將所述磁軛22與所述支撐梁23固定連接。所述第三緊固件24可以為螺栓、螺釘或螺柱。所述第三緊固件24可以從所述支撐梁23穿設(shè)直至緊固在所述磁軛22上即可。所述第三緊固件24的數(shù)量及規(guī)格都為本領(lǐng)域技術(shù)人員所習(xí)知的技術(shù)。
[0040]所述陰極體基座14用于容置所述的磁體并且承載靶材191，使得靶材191與磁體設(shè)置為相互平行。所述陰極體基座14設(shè)置成具有容腔141。所述陰極體基座14的容腔141容置有所述磁體。所述陰極體基座14的容腔141的側(cè)壁的頂端上設(shè)置靶材191。所述陰極體基座14的容腔141的形狀、大小只要使得對應(yīng)磁體能夠在該容腔141內(nèi)移動即可。在本實施例中，所述陰極體基座14的容腔141內(nèi)灌注有冷卻水以冷卻靶材191。
[0041]請繼續(xù)參閱圖1至圖5，根據(jù)密封要求，所述平面陰極100還可以包括第一密封圈29，兩個第二密封圈11、密封圈9、16、30，以及密封板壓條17。該第一密封圈29設(shè)置在下述移位機構(gòu)的調(diào)整桿28與所述陰極體基座14之間。所述兩個第二密封圈11分別設(shè)置在所述陰極體基座14和絕緣板12之間，及絕緣板12與蓋板1之間，將陰極體基座14和絕緣板12之間、及絕緣板12與蓋板1之間密封。但是，密封結(jié)構(gòu)的設(shè)置不是本實用新型重點，在此就不再贅述。
[0042]所述蓋板1設(shè)置在所陰極體基座14的另一側(cè)以隔離所述平面陰極100的內(nèi)部與外部大氣之間的交流。蓋板1還可以作為陽極使用，也可以作為支撐的底座，其功能根據(jù)實際使用場合要求確定。如前述，所述平面陰極100的具體氣密結(jié)構(gòu)及實現(xiàn)為本領(lǐng)域技術(shù)人員所習(xí)知的技術(shù)且不為本實用新型重點，在此就不在贅述。所述蓋板1可以采用符合氣密性要求的材料制成相應(yīng)的形狀。在本實施例中，所述蓋板1與所述陰極體基座14固定連接。進一步地，所述平面陰極100包括第一絕緣體。該第一絕緣體可以為絕緣薄膜、絕緣板或絕緣涂層等。所述第一絕緣體設(shè)置在所述蓋板1和所述陰極體基座14之間，在如圖所示的示例中，第一絕緣體為絕緣板12。優(yōu)選地，所述平面陰極100包括第五緊固件13。所述第五緊固件13依次穿過所述蓋板1和所述絕緣板12且固定設(shè)置在所述陰極體基座14上。所述第五緊固件13可以為相應(yīng)的螺釘、螺栓或螺柱。優(yōu)選地，所述平面陰極100還包括第五緊固件絕緣套10。所述第五緊固件絕緣套10設(shè)在所述第五緊固件13上，以在該第五緊固件13為導(dǎo)體材質(zhì)時使得所述陰極體基座14與所述蓋板1絕緣。所述第五緊固件13為絕緣體時，所述第五緊固件絕緣套10不是必需的。絕緣板12設(shè)置在陰極體基座14與蓋板1之間，使兩者絕緣，避免兩者電導(dǎo)通。
[0043]所述移位機構(gòu)包括調(diào)整桿28、限位柱8和調(diào)節(jié)螺母4。所述支撐梁23對應(yīng)開設(shè)有設(shè)置孔(圖中未標(biāo)示)。所述調(diào)整桿28的一端設(shè)置在所述支撐梁23上以移動該支撐梁23，從而改變設(shè)置在該支撐梁23上的磁體相對于靶材191的距離。所述調(diào)整桿28可以固定設(shè)置或活動設(shè)置在所述支撐梁23上，只要該調(diào)整桿28能夠移動所述支撐梁23即可。優(yōu)選地，所述調(diào)整桿28的一端固定設(shè)置在所述支撐梁23上。所述限位柱8對應(yīng)開設(shè)有第一管腔(圖中未標(biāo)示)，限位柱8—端與陰極體基座14連接，另一端延伸穿過蓋板1。調(diào)整桿28 一端與支撐梁23連接，并穿過陰極體基座14，自限位柱8的第一管腔伸出，延伸至所述蓋板1的大氣側(cè)，以便于所述平面陰極100保持內(nèi)部真空狀態(tài)時在大氣側(cè)通過所述移位機構(gòu)改變所述磁體相對靶材191的距離。所述調(diào)整桿28延伸至大氣中的另一端開設(shè)有與所述調(diào)節(jié)螺母4配合的外螺紋。
[0044]下面具體說明所述調(diào)整桿28如何固定設(shè)置在所述支撐梁23上。所述平面陰極100包括第四緊固件25。該第四緊固件25具有頭部和桿部。可以想到的是，所述頭部設(shè)置在所述桿部上。所述頭部與所述桿部同軸設(shè)置且具有大于桿部的橫截面積。所述支撐梁23開設(shè)有相應(yīng)與第四緊固件25配合的第四緊固孔(圖中未標(biāo)示)。優(yōu)選地，所述支撐梁23的設(shè)置孔為通孔。所述第四緊固孔圍繞該設(shè)置孔開設(shè)且與該設(shè)置孔相連通。所述調(diào)整桿28的一端的徑向側(cè)壁上設(shè)置有突出部。所述支撐梁23具有抵頂部。該抵頂部沿與所述調(diào)整桿28的軸向平行的方向延伸且設(shè)置為與所述調(diào)整桿28的突出部相正對。所述第四緊固件25的桿部穿設(shè)在對應(yīng)第四緊固孔內(nèi)，以使頭部將所述調(diào)整桿28的突出部沿與該調(diào)整桿28的軸向平行方向抵壓在所述支撐梁23的抵頂部上，從而使得所述調(diào)整桿28固定設(shè)置在所述支撐梁23上。調(diào)整桿28與支撐梁23的連接還可以采用現(xiàn)有技術(shù)中的其他連接方式。所述支撐梁23與調(diào)整桿28也可以設(shè)置為一體件。
[0045]另外，所述支撐梁23上的第四緊固孔還可以開設(shè)為與所述設(shè)置孔相交，即第四緊固孔與設(shè)置孔部分重疊。所述第四緊固件25與對應(yīng)第四緊固孔螺紋配合，使該第四緊固件25沿所述調(diào)整桿28的徑向抵緊容置在所述設(shè)置孔中的調(diào)整桿28，從而使得該調(diào)整桿28固定設(shè)置在所述支撐梁23上。此時，所述調(diào)整桿28上的突出部和所述支撐梁23上的抵頂部都不是必需的。
[0046]所述限位柱8固定設(shè)置在所述陰極體基座14上且穿過所述蓋板1而延伸至大氣中。限位柱8設(shè)置有第一管腔(圖中未示出)。優(yōu)選地，所述平面陰極100包括第六緊固件26。所述第六緊固件26依次穿過所述限位柱8和所述蓋板1且固定在所述陰極體基座14上。所述限位柱8可以與所述調(diào)整桿28同軸設(shè)置。
[0047]請一并參閱圖5，調(diào)節(jié)螺母4可轉(zhuǎn)動地安裝在限位柱8端部，并與調(diào)整桿28螺紋配合。所述調(diào)節(jié)螺母4螺接在所述調(diào)整桿28延伸至大氣中的另一端的外螺紋上。所述旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺母4，可使調(diào)整桿28沿軸向移動，從而推拉所述支撐梁23以調(diào)節(jié)所述磁體相對于靶材191的距離。優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)螺母4開設(shè)有刻度線41，通過讀取刻度線41，可以精確調(diào)節(jié)所述磁體相對于靶材191的距離從而獲得極高的場強精度的磁場?？梢岳斫獾氖?，所述距離刻度可以依據(jù)所述調(diào)整桿28上的外螺紋的螺紋間距而對應(yīng)設(shè)置。調(diào)整桿28上設(shè)置有標(biāo)志線