本實用新型涉及一種平面陰極。

背景技術(shù)：

目前，在真空鍍膜領(lǐng)域中，通常把磁控濺射作為濺射技術(shù)的主流技術(shù)，其主要原因是磁控濺射的“高速”、“低溫”、“膜厚可控”特點，它可以在任何基材上沉積任何膜層的薄膜，目前普通圓形平面靶技術(shù)已經(jīng)相對成熟。

但在實際使用過程中，需要濺射的產(chǎn)品是多樣的，因此對應(yīng)的濺射工藝也不同，普通圓形平面靶工藝性能單一，只能滿足某種特定的工藝，濺射不同的鍍膜材料，需要切換不同結(jié)構(gòu)的小圓靶，無疑會增加小圓靶的數(shù)量及種類，增加生產(chǎn)成本。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的之一是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種可適用于多種場合的平面陰極。

為實現(xiàn)以上目的，本實用新型通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：

平面陰極，包括陽極、靶材及中心磁鐵；其特征在于，還包括磁鐵基座和環(huán)形磁鐵，所述環(huán)性磁鐵環(huán)繞所述中心磁鐵設(shè)置；所述環(huán)形磁鐵和所述中心磁鐵設(shè)置于所述磁鐵基座上；

所述靶材與所述磁鐵基座接觸；

還包括墊片；所述墊片設(shè)置于所述靶材與所述磁鐵基座之間。

根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述墊片為環(huán)形。

根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述磁鐵基座設(shè)置有容納槽，所述墊片設(shè)置于所述容納槽內(nèi)。

根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述墊片為導(dǎo)磁墊片。

根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述墊片為導(dǎo)熱墊片。

根據(jù)本實用新型的一個實施例，所述靶材與所述磁鐵基座可拆卸連接。

根據(jù)本實用新型的一個實施例，還包括壓環(huán)，所述壓環(huán)壓靠在所述靶材邊緣，螺釘穿過所述壓環(huán)與所述磁鐵基座螺紋連接。

本實用新型中，靶材作為陰極使用。采用在靶材與磁鐵組件之間設(shè)置一墊片，墊片采用不同材料可實現(xiàn)兩種不同功能要求的濺射，如采用導(dǎo)磁材料制成導(dǎo)磁墊片，可拉平耙面磁力線分布，增加耙面濺射均勻區(qū)域的分布，提高耙材的利用率，耙材利用率高達40％以上。如采用無磁導(dǎo)熱材料制成導(dǎo)熱墊片，可增加耙面的磁場強度，降低濺射電壓，提高濺射效率和穩(wěn)定性。本實用新型中的平面陰極實現(xiàn)不同功能濺射，其他結(jié)構(gòu)及材料不變，只是變更墊片的材料，因此操作方便，減少小圓形濺射平面陰極的數(shù)量及種類，節(jié)約生產(chǎn)成本。

附圖說明

圖1為本實用新型中的旋轉(zhuǎn)陰極結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為圖1中的A-A剖視示意圖。

圖3為圖1中的B-B剖視示意圖。

圖4為采用導(dǎo)磁墊片的平面陰極靶面磁場強度分布圖。

圖5為采用導(dǎo)熱墊片的平面陰極靶面磁場強度分布圖。

具體實施方式

以下結(jié)合實施例和附圖對本實用新型進一步說明。

如圖1、圖2和圖3所示，平面陰極100，包括陽極，在如圖所示的示例中，陽極包括頂部陽極6、側(cè)部陽極11和底部陽極13，三者環(huán)繞形成凹槽狀。槽內(nèi)設(shè)置有安裝底板10。安裝底板10與底部陽極13之間設(shè)置有絕緣墊板12，將兩者絕緣。

本實用新型還包括有磁鐵基座7，磁鐵基座7與安裝底板10連接。磁鐵基座7上安裝有中心磁鐵2和環(huán)形磁鐵1。環(huán)形磁鐵1環(huán)繞中心磁鐵2設(shè)置。

靶材4為圓形，通過壓環(huán)5及螺釘26與磁鐵基座7可拆卸地連接。所述壓環(huán)5壓靠在所述靶材4邊緣，螺釘26穿過所述壓環(huán)5與所述磁鐵基座7螺紋連接。所述靶材4與所述磁鐵基座7接觸。

本實用新型還包括墊片3；所述墊片3設(shè)置于所述靶材4與所述磁鐵基座7之間。在如圖所示的示例中，所述墊片3為環(huán)形。所述磁鐵基座7設(shè)置有容納槽(圖中未標(biāo)出)，所述墊片3設(shè)置于所述容納槽內(nèi)。根據(jù)具體使用要求，所述墊片4可以設(shè)置為導(dǎo)磁墊片，也可以設(shè)置為導(dǎo)熱墊片。

本實用新型是采用在圓靶材與磁鐵組件之間設(shè)置一墊片，墊片采用不同材料可實現(xiàn)兩種不同功能要求的濺射。如圖4所示，如采用導(dǎo)磁材料制成導(dǎo)磁墊片，可拉平耙面磁力線分布，增加耙面濺射均勻區(qū)域的分布，提高耙材的利用率，耙材利用率高達40％以上。如圖5所示，如采用無磁導(dǎo)熱材料制成導(dǎo)熱墊片，可增加耙面的磁場強度，降低濺射電壓，提高濺射效率和穩(wěn)定性。本實用新型中的平面陰極實現(xiàn)不同功能濺射，其他結(jié)構(gòu)及材料不變，只是變更墊片的材料，因此操作方便，減少小圓形濺射平面陰極的數(shù)量及種類，節(jié)約生產(chǎn)成本。

本實用新型中的實施例僅用于對本實用新型進行說明，并不構(gòu)成對權(quán)利要求范圍的限制，本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員可以想到的其他實質(zhì)上等同的替代，均在本實用新型保護范圍內(nèi)。