一種真空鍍膜生產(chǎn)線用的可調(diào)式裝片裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空鍍膜生產(chǎn)線領(lǐng)域，具體說，是涉及一種真空鍍膜生產(chǎn)線用的可調(diào)式裝片裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]鍍膜生產(chǎn)線中磁控濺射是為了再低氣壓下進(jìn)行高速濺射，必須有效地提高氣體的離化率。通過在粑陰極表面引入磁場(chǎng)，利用磁場(chǎng)對(duì)帶電粒子的約束來提高等離子體密度以提高濺射率的方法，而在鍍膜中就需要特殊的裝片裝置固定基片。
[0003]基片的大小不定，通常需要依據(jù)基片的大小建立基片架。目前市場(chǎng)上使用的裝片裝置為一種基片架，基片預(yù)設(shè)安裝在基片架上，如專利號(hào)為201320051676.4的一種可調(diào)基片架，包括第一外橫桿、第二外橫桿、第一豎桿、第二豎桿、第一調(diào)節(jié)橫桿、第二調(diào)節(jié)橫桿、彈性壓條和彈性壓片；所述第一外橫桿、第一豎桿、第二外橫桿和第二豎桿兩兩聯(lián)組成一個(gè)長方形的框架，框架四個(gè)角用螺釘連接，第一、二豎桿上設(shè)有凹槽和通孔，第一、二調(diào)節(jié)橫桿通過通孔安裝在豎桿上。但是該可調(diào)節(jié)基片架中，孔的位置固定，只能將第一、二調(diào)節(jié)橫桿依據(jù)孔的位置調(diào)節(jié)。然而，基片的大小是不固定的，并且每個(gè)基片的大小會(huì)有偏差，有可能第一、二調(diào)節(jié)橫桿依據(jù)孔的位置調(diào)節(jié)位置時(shí)，不滿足基片的大小。并且該彈性元件的位置固定，不能移動(dòng)，也不能依據(jù)需要固定基片的數(shù)量，設(shè)置彈性元件。
[0004]為了解決上述固定，市場(chǎng)上又出現(xiàn)了一種基片架，該基片架在調(diào)節(jié)橫桿后再增加了一輔助桿，輔助桿輔助基片在基片架上固定，但這種基片架使基片架架體的橫截面積增大，這樣導(dǎo)致真空鍍膜室的基片架進(jìn)出口都必須加寬，這樣造成真空鍍膜室加工工藝復(fù)雜。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題，本發(fā)明的目的是提供一種真空鍍膜生產(chǎn)線用的可調(diào)式裝片裝置，將基片穩(wěn)固安裝，以方便鍍膜生產(chǎn)，其橫截面積小，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，適合安裝各種不同規(guī)格的基片。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下:
[0007]—種真空鍍膜生產(chǎn)線用的可調(diào)式裝片裝置，包括:一固定組件和一調(diào)節(jié)組件，調(diào)節(jié)組件安裝在固定組件上，通過調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)組件的位置安裝不同規(guī)格的基片。
[0008]優(yōu)選地，固定組件包括第一支撐桿、第二支撐桿、第一擋板和第二擋板，第一支撐桿、第一擋板、第二支撐桿和第二擋板兩兩連接形成一方形框架，第一支撐桿和第二支撐桿上分別設(shè)有至少兩個(gè)導(dǎo)槽區(qū)域；調(diào)節(jié)組件安裝在固定組件上，調(diào)節(jié)組件包括至少兩個(gè)調(diào)節(jié)梁和至少一組定位件，定位件可拆卸的安裝在調(diào)節(jié)梁上，調(diào)節(jié)梁安裝在第一支撐桿和第二支撐桿的導(dǎo)槽區(qū)域上。
[0009]優(yōu)選地，第一支撐桿、第一擋板、第二支撐桿和第二擋板兩兩連接形成一長方形框架，以增大安裝面積。
[0010]優(yōu)選地，導(dǎo)槽區(qū)域進(jìn)一步包括一導(dǎo)槽和一安置區(qū)，導(dǎo)槽設(shè)置在安置區(qū)內(nèi)，導(dǎo)槽呈豎直方向。
[0011]更優(yōu)選地，安置區(qū)的長度不小于導(dǎo)槽的長度，安置區(qū)的寬度不小于導(dǎo)槽的寬度。
[0012]優(yōu)選地，導(dǎo)槽區(qū)域包括第一導(dǎo)槽區(qū)域和第二導(dǎo)槽區(qū)域，第一導(dǎo)槽區(qū)域的面積大于第二導(dǎo)槽區(qū)域。
[0013]更優(yōu)選地，第一導(dǎo)槽區(qū)域設(shè)置在第一支撐桿和第二支撐桿的兩端部，第二導(dǎo)槽區(qū)域設(shè)置在第一支撐桿和第二支撐桿中間部位，第一導(dǎo)槽區(qū)域進(jìn)一步包括一第一導(dǎo)槽和第一安置區(qū)，第一導(dǎo)槽呈豎直方向設(shè)置在所述第一安置區(qū)內(nèi)，第一安置區(qū)的長度不小于所述第一導(dǎo)槽的長度，第一安置區(qū)的寬度不小于第一導(dǎo)槽的寬度；第二導(dǎo)槽區(qū)域進(jìn)一步包括一第二導(dǎo)槽和一第二安置區(qū)，第二導(dǎo)槽呈豎直方向設(shè)置在第二安置區(qū)內(nèi)，第二安置區(qū)的長度不小于第二導(dǎo)槽的長度，第二安置區(qū)的寬度不小于第二導(dǎo)槽的寬度，第一安置區(qū)的面積大于第二安置區(qū)，第一導(dǎo)槽的長度長于第二導(dǎo)槽。
[0014]優(yōu)選地，固定組件的第一支撐桿和第二支撐桿上進(jìn)一步分別設(shè)有中心安置區(qū)域，中心導(dǎo)位區(qū)域設(shè)置在第一支撐桿和第二支撐桿中間，中心導(dǎo)位區(qū)域進(jìn)一步包括一中心安置孔和一中心安置區(qū)，中心安置孔設(shè)置在中心安置區(qū)的中心，中心安置區(qū)自第一支撐桿和第二支撐桿上去除材料形成，中心安置區(qū)的深度與安置區(qū)一致。
[0015]優(yōu)選地，調(diào)節(jié)梁安裝在第一支撐桿和第二支撐桿的導(dǎo)槽區(qū)域和/或中心安置區(qū)域，調(diào)節(jié)梁包括一第一端部、一第二端部和一橫梁，橫梁的兩端連接第一端部和第二端部，第一端部和第二端部的厚度小于橫梁的厚度，第一端部和第二端部的厚度一致。
[0016]更優(yōu)選地，第一端部和第二端部的厚度與安置區(qū)的深度一致，這樣減小整個(gè)裝置的橫截面積，方便裝置進(jìn)入真空鍍膜腔。
[0017]更優(yōu)選地，第一端部上設(shè)置有調(diào)節(jié)孔，調(diào)節(jié)孔的直徑與導(dǎo)槽的寬度一致。
[0018]更優(yōu)選地，第二端部上設(shè)置有調(diào)節(jié)槽，調(diào)節(jié)槽的長度大于調(diào)節(jié)孔的直徑，調(diào)節(jié)槽的寬度與導(dǎo)槽的寬度一致，這樣防止調(diào)節(jié)梁在真空鍍膜腔室中出現(xiàn)熱變形現(xiàn)象，導(dǎo)致裝片裝置上基片不能穩(wěn)固安裝。
[0019]優(yōu)選地，調(diào)節(jié)梁進(jìn)一步包括一第一凹槽、一第二凹槽和一間隔柱，第一凹槽和第二凹槽分列在間隔柱的兩側(cè)，第一凹槽和第二凹槽去除材料形成，第一凹槽和第二凹槽的深度與安置區(qū)的深度一致。
[0020]優(yōu)選地，定位件包括一第一定位元件和一第二定位元件，第一定位元件拆卸安裝在一調(diào)節(jié)梁上，第二定位元件可拆卸安裝在另一調(diào)節(jié)梁上，第一定位元件的安裝位置高于第二定位元件。
[0021]更優(yōu)選地，第一定位元件和第二定位元件通過螺釘安裝在調(diào)節(jié)梁上。
[0022]更優(yōu)選地，第一定位元件為一彈性元件；第二定位元件為一卡槽。
[0023]更優(yōu)選地，一組定位件可拆卸安裝在調(diào)節(jié)梁上時(shí)，第一定位元件安裝在一調(diào)節(jié)梁的第二凹槽上，第二定位元件安裝在另一調(diào)節(jié)梁的第一凹槽上；換句話說，一個(gè)調(diào)節(jié)梁上可同時(shí)安裝第一定位元件和第二定位元件，第一定位元件安裝在第二凹槽上，第二定位元件安裝在第一凹槽上；在同一調(diào)節(jié)梁上，第二定位元件安裝位置高于第一定位元件，然而在一組定位件時(shí)，第一定位元件的安裝位置高于第二定位元件。
[0024]優(yōu)選地，第一擋板和第二擋板與第一支撐桿和第二支撐桿之間通過螺栓連接。
[0025]優(yōu)選地，第一擋板上活動(dòng)設(shè)置有裝片導(dǎo)向件，裝片導(dǎo)向件進(jìn)一步包括第一導(dǎo)向元件、第二導(dǎo)向元件和第三導(dǎo)向元件，第二導(dǎo)向元件與第一擋板連接，第一導(dǎo)向元件與第二導(dǎo)向元件活動(dòng)連接，第三導(dǎo)向元件設(shè)置在第一導(dǎo)向元件和第二導(dǎo)向元件之間。
[0026]更優(yōu)選地，裝片導(dǎo)向件與鍍膜生產(chǎn)線中的定位導(dǎo)向件配合。
[0027]更優(yōu)選地，第三導(dǎo)向元件為磁條。
[0028]更優(yōu)選地，鍍膜生產(chǎn)線中的定位導(dǎo)向件為磁條。
[0029]更優(yōu)選地，定位導(dǎo)向件與第三導(dǎo)向元件相排斥，定位導(dǎo)向件與第三導(dǎo)向元件同為磁性元件且同磁極。
[0030]更優(yōu)選地，定位導(dǎo)向件與第三導(dǎo)向元件相吸弓丨，定位導(dǎo)向件與第三導(dǎo)向元件同為磁性元件且磁極相異。
[0031 ] 更優(yōu)選地，定位導(dǎo)向件與第三導(dǎo)向元件相吸引，第三導(dǎo)向元件為磁性元件，定位導(dǎo)向件為鐵制材料制成。
[0032]更優(yōu)選地，定位導(dǎo)向件與第三導(dǎo)向元件相吸引，定位導(dǎo)向件為磁性元件，第三導(dǎo)向兀件為鐵制材料制成。
[0033]優(yōu)選地，第二擋板上設(shè)置有移動(dòng)軸，移動(dòng)軸與第二擋板活動(dòng)連接。
[0034]更優(yōu)選地，移動(dòng)軸的長度不小于第二擋板的長度。
[0035]更優(yōu)選地，移動(dòng)軸的長度與第二擋板的長度一致。
[0036]與現(xiàn)有技術(shù)