技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種微波環(huán)境下鋁和氣體反應(yīng)制取膜裝置，包括箱體，所述箱體內(nèi)固定設(shè)有微波發(fā)生器、波導(dǎo)、反應(yīng)室和氣體壓力推進(jìn)器，所述微波發(fā)生器的一端連接所述波導(dǎo)，所述波導(dǎo)的一側(cè)設(shè)有三鞘釘調(diào)配器，所述波導(dǎo)內(nèi)固定設(shè)有模式轉(zhuǎn)換天線，所述模式轉(zhuǎn)換天線下方設(shè)有石英窗口，所述石英窗口下方連接所述反應(yīng)室，所述波導(dǎo)的一側(cè)所述波導(dǎo)的一側(cè)設(shè)有反應(yīng)氣體進(jìn)入口，所述反應(yīng)氣體進(jìn)入口通過管道連接所述氣體壓力推進(jìn)器，所述反應(yīng)室的內(nèi)部固定設(shè)有基片加熱器，所述基片加熱器的上端固定設(shè)有基片，所述基片的上端固定設(shè)有等離子體，所述排氣管穿過所述反應(yīng)室連接箱體，該種實(shí)用新型能智能控制氣體的比例，提高了制取鋁薄膜的效率。

技術(shù)研發(fā)人員：張忠帆
受保護(hù)的技術(shù)使用者：張忠帆
文檔號(hào)碼：201720355622
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.07
技術(shù)公布日：2017.11.14