本實(shí)用新型涉及一種石墨舟，特別涉及一種卡點(diǎn)位置可調(diào)的石墨舟。

背景技術(shù)：

太陽能電池的制造需要經(jīng)過制絨、擴(kuò)散、刻蝕、鍍膜、絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)這六大工序。其中，鍍膜工序是采用等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的方法在硅片正面鍍氮化硅膜，以減少太陽光反射以及對硅片表面起鈍化作用。硅片進(jìn)行其表面鍍膜工序時(shí)，需要將未鍍膜的硅片插入PECVD真空鍍膜設(shè)備的載片器上，目前，載片器通常采用石墨舟，一般是操作人員將花籃中的硅片插入專門的石墨舟或者通過自動上下料機(jī)將硅片插入專門的石墨舟，具體操作過程是：將硅片插入石墨舟并通過固定卡點(diǎn)定位于其上，然后，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設(shè)備中，采用PECVD工藝對硅片進(jìn)行鍍膜。

現(xiàn)有的石墨舟一般采用3個(gè)固定卡點(diǎn)卡住硅片的三條邊，將硅片固定住。其中兩個(gè)卡點(diǎn)對應(yīng)位于硅片的一個(gè)角附近，另外一個(gè)卡點(diǎn)對應(yīng)位于硅片的另外一條邊的中心點(diǎn)附近。但是，這種卡點(diǎn)的設(shè)置方式存在著以下缺陷：在鍍膜過程中，由于卡點(diǎn)對應(yīng)于硅片的三條邊分布不均勻，而且卡點(diǎn)位置是固定不可調(diào)節(jié)的，從而導(dǎo)致硅片鍍膜不均勻，形成色差，同時(shí)降低電池的光電轉(zhuǎn)換效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種能夠提高電池外觀良品率、提高電池的光電轉(zhuǎn)換效率的卡點(diǎn)位置可調(diào)的石墨舟，可以克服傳統(tǒng)鍍膜石墨舟卡點(diǎn)位置固定的缺點(diǎn)。

本實(shí)用新型的目的通過以下的技術(shù)措施來實(shí)現(xiàn)：一種卡點(diǎn)位置可調(diào)的石墨舟，它主要由絕緣棒和在水平方向上排列的數(shù)個(gè)單元舟片組成，所述單元舟片為豎向設(shè)置的片狀體，相鄰的單元舟片之間具有間隙，所述絕緣棒于各單元舟片的周緣貫穿而將全部的單元舟片連接固定在一起，位于兩外側(cè)的單元舟片的內(nèi)外表面上設(shè)有若干與硅片形狀相同且其尺寸小于硅片尺寸的凹槽，位于每個(gè)外側(cè)單元舟片內(nèi)外表面上的凹槽相對應(yīng)，在凹槽的槽底面上設(shè)有貫通該對應(yīng)凹槽的用于抽真空的細(xì)孔，位于中間的單元舟片上設(shè)有若干與硅片形狀相同且其尺寸小于硅片尺寸的通孔，在所述凹槽和通孔的外圍設(shè)有用于固定硅片的卡點(diǎn)和用于安裝卡點(diǎn)的卡孔，所述凹槽和通孔的口緣形狀為正方形四個(gè)邊角圓弧過渡的形狀，主要由頂邊、底邊和兩條側(cè)邊組成，所述卡點(diǎn)位于凹槽和通孔的周邊區(qū)域中并分別靠近底邊和側(cè)邊，所述卡孔靠近底邊和側(cè)邊的每一條邊側(cè)至少設(shè)置兩個(gè)，所述卡點(diǎn)可拆卸安裝不同的卡孔中以便調(diào)節(jié)卡點(diǎn)的位置。

本實(shí)用新型的卡點(diǎn)的位置是可以調(diào)節(jié)的，不同于傳統(tǒng)鍍膜石墨舟的位置固定的卡點(diǎn)，由于本實(shí)用新型可以根據(jù)硅片的鍍膜狀況通過將卡點(diǎn)安裝在不同的卡孔中來靈活調(diào)整卡點(diǎn)的位置，因此，可以改善鍍膜均勻性，提升太陽能電池的外觀合格率和光電轉(zhuǎn)換效率。另外，本實(shí)用新型由在水平方向上排布的若干個(gè)單元舟片組成，在單元舟片上設(shè)有呈陣列排布的若干個(gè)凹槽和通孔，可以根據(jù)鍍膜工藝的實(shí)際情況和需要，調(diào)整待鍍膜硅片在單元舟片上的陣列分布，從而提高硅片鍍膜的均勻性。

作為本實(shí)用新型的一種改進(jìn)，所述單元舟片的數(shù)量為2～50，相鄰單元舟片之間的間距為5～50mm。

作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式，位于外側(cè)的單元舟片每一面上的凹槽的數(shù)量為2～20，位于每個(gè)中間的單元舟片上的通孔的數(shù)量為2～20，所述凹槽和通孔在單元舟片上呈陣列均勻分布，陣列形狀是正方形、長方形、圓形或六邊形等。

作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式，所述卡孔在所述凹槽和通孔的周邊區(qū)域中均勻分布，所述卡孔為圓形孔，其直徑為2～10mm。

作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式，相鄰卡孔的間距為5～50mm。

作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式，位于每個(gè)凹槽和通孔周邊區(qū)域中的卡點(diǎn)的數(shù)量為3～10個(gè)。

作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式，所述卡點(diǎn)主要由用于安裝在單元舟片安裝孔中的圓柱形安裝部、一對卡塊和安裝軸組成，所述安裝軸連接安裝部和卡塊，在安裝部和卡塊之間形成用于卡合硅片的卡口，所述卡塊為中空的三角形塊狀體或中空的圓柱形塊狀體，所述安裝軸連接在卡塊的內(nèi)頂面上，在所述安裝軸與卡塊的內(nèi)壁之間設(shè)有連接桿，所述卡塊不遮擋硅片表面相對應(yīng)的區(qū)域以便鍍膜均勻。

作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式，所述卡點(diǎn)的總厚度為2～6mm。

作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式，所述卡點(diǎn)橫截面的最大直徑為2～8mm。

作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式，所述絕緣棒采用陶瓷棒，也可以采用其它絕緣材料制成。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下顯著的優(yōu)點(diǎn)：

⑴本實(shí)用新型卡點(diǎn)的位置是可調(diào)的，不同于傳統(tǒng)鍍膜石墨舟位置固定的卡點(diǎn)，由于本實(shí)用新型可以根據(jù)硅片的鍍膜狀況通過將卡點(diǎn)安裝在不同的卡孔中來靈活調(diào)整卡點(diǎn)的位置，因此，可以改善鍍膜均勻性，提升太陽能電池的外觀合格率和光電轉(zhuǎn)換效率。

⑵本實(shí)用新型由在水平方向上排布的若干個(gè)單元舟片組成，在單元舟片上設(shè)有呈陣列排布的若干個(gè)凹槽和通孔，可以根據(jù)鍍膜工藝的實(shí)際情況和需要，調(diào)整待鍍膜硅片在單元舟片上的陣列分布，從而提高硅片鍍膜的均勻性。

⑶本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，容易實(shí)現(xiàn)，實(shí)用性強(qiáng)，適于廣泛推廣和適用。

附圖說明

以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。

圖1是本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型位于中間的單元舟片的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的卡點(diǎn)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本實(shí)用新型另一個(gè)實(shí)施例的卡點(diǎn)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖1和2所示，是本實(shí)用新型一種卡點(diǎn)位置可調(diào)的石墨舟1，它主要由絕緣棒和在水平方向上排列的數(shù)個(gè)單元舟片組成，單元舟片的數(shù)量為2～50，在本實(shí)施例中，單元舟片為四個(gè)，絕緣棒采用陶瓷棒3。單元舟片為豎向設(shè)置的矩形片狀體，相鄰的單元舟片之間具有間隙，相鄰單元舟片之間的間距為5～50mm。陶瓷棒3于各單元舟片的周緣貫穿而將全部的單元舟片連接固定在一起，陶瓷棒3的兩端由固定部件9固定在位于兩外側(cè)的單元舟片21的外表面上。位于兩外側(cè)的單元舟片21的內(nèi)外表面上設(shè)有若干與硅片形狀相同且其尺寸小于硅片尺寸的凹槽4，位于外側(cè)的單元舟片21每一面上的凹槽4的數(shù)量為2～20，位于每個(gè)外側(cè)單元舟片21內(nèi)外表面上的凹槽4相對應(yīng)，在凹槽4的槽底面上設(shè)有貫通該對應(yīng)凹槽4的用于抽真空的細(xì)孔8，位于中間的單元舟片22上設(shè)有若干與硅片形狀相同且其尺寸小于硅片尺寸的通孔10，位于每個(gè)中間的單元舟片22上的通孔10的數(shù)量為2～20，凹槽4和通孔10在單元舟片上呈陣列均勻分布，陣列形狀是正方形、長方形、圓形或六邊形等。在凹槽4和通孔10的周邊區(qū)域中設(shè)有用于固定硅片的卡點(diǎn)6和用于安裝卡點(diǎn)的卡孔7，卡孔7在凹槽4和通孔10的周邊區(qū)域中均勻分布，位于每個(gè)凹槽4和通孔10周邊區(qū)域中的卡點(diǎn)7的數(shù)量為3～10個(gè)?？?為圓形孔，其直徑為2～10mm。凹槽4和通孔10的口緣形狀為正方形四個(gè)邊角圓弧過渡的形狀，主要由頂邊、底邊和兩條側(cè)邊組成，卡點(diǎn)6位于凹槽4和通孔5的周邊區(qū)域中并分別靠近底邊和側(cè)邊，卡孔7靠近底邊和側(cè)邊的每一條邊側(cè)至少設(shè)置兩個(gè)，相鄰卡孔7的間距為5～50mm?？c(diǎn)6可拆卸安裝不同的卡孔7中以便調(diào)節(jié)卡點(diǎn)的位置。

卡點(diǎn)6主要由用于安裝在單元舟片安裝孔中的圓柱形安裝部61、一對卡塊62和安裝軸63組成，安裝軸63連接安裝部61和卡塊62，在安裝部61和卡塊62之間形成用于卡合硅片的卡口，卡塊62的一個(gè)實(shí)施例是中空的三角形塊狀體，參見圖4，安裝軸63連接在卡塊62的內(nèi)頂面上，在安裝軸63與卡塊62的內(nèi)壁之間設(shè)有連接桿64，卡塊不遮擋硅片表面相對應(yīng)的區(qū)域以便鍍膜均勻；卡塊62的另一實(shí)施例是中空的圓柱形塊狀體，參見圖3。卡點(diǎn)6的總厚度為2～6mm?？c(diǎn)6橫截面的最大直徑為2～8mm。

本實(shí)用新型的實(shí)施方式不限于此，根據(jù)本實(shí)用新型的上述內(nèi)容，按照本領(lǐng)域的普通技術(shù)知識和慣用手段，在不脫離本實(shí)用新型上述基本技術(shù)思想前提下，本實(shí)用新型還可以做出其它多種形式的修改、替換或變更，均落在本實(shí)用新型權(quán)利保護(hù)范圍之內(nèi)。