技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種LPCVD系統(tǒng)冷阱裝置，包括套筒法蘭組件和盤管法蘭組件，套筒法蘭組件包括筒體、設(shè)于筒體一端的出氣口、設(shè)于筒體一側(cè)的進氣口以及軸向設(shè)于筒體內(nèi)且一端與出氣口相連通的導流管，盤管法蘭組件包括法蘭盤、設(shè)于法蘭盤上的冷卻水進、出口、分別與冷卻水進、出口相連通的冷卻水盤管，法蘭盤與筒體另一端相對接密封，導流管另一端套設(shè)于冷卻水盤管上。本裝置結(jié)構(gòu)簡單、冷卻快速高效，在LPCVD系統(tǒng)反應室內(nèi)反應產(chǎn)生的可凝華氣態(tài)副產(chǎn)物進入冷阱，氣流通過導流管時與冷卻水盤管和散熱片進行充分熱交換，氣體因為溫度急速降低凝華成固體，冷阱裝置可拆卸后進行清理，既保證了真空管道不被堵塞，同時也避免了氣體在真空泵內(nèi)凝華導致真空泵卡死。

技術(shù)研發(fā)人員：丁波;陳瀚;李軼;侯金松;徐偉濤;張文亮;杭海燕
受保護的技術(shù)使用者：上海微世半導體有限公司
文檔號碼：201720122912
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.10
技術(shù)公布日：2017.08.29