本實用新型涉及一種鍍膜機，具體涉及一種合金材料真空濺射鍍膜機。

背景技術(shù)：

真空鍍膜機主要是在較高真空度下進行鍍膜，鍍的材料為靶材，對零件進行鍍膜，傳統(tǒng)的鍍膜機中的靶材都是排列在鍍膜機內(nèi)，不僅減小了內(nèi)部空間，而且使得鍍膜厚度不均勻，而且市場上有些鍍膜機為一體式的，不便于拆卸安裝，并且被鍍器件都是插入鍍膜機內(nèi)，當(dāng)鍍完膜后拔出被鍍器件時，容易對鍍膜層造成磨損，同時鍍膜機的密封性和鍍膜效果不好，鍍膜部分的面積較難控制，所以市場上需要開發(fā)一種新型的鍍膜機裝置。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實用新型提供了一種合金合金材料真空濺射鍍膜機，便于拆卸安裝，提高了鍍膜效果。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型是通過如下的技術(shù)方案來實現(xiàn)：

一種合金材料真空濺射鍍膜機，包括鍍膜機開口端、鍍膜腔體和鍍膜機尾部，所述鍍膜機開口端和鍍膜腔體之間通過連接部件連接，所述鍍膜腔體和鍍膜機尾部之間通過連接部件連接，所述鍍膜機開口端和鍍膜腔體之間設(shè)有橡膠密封圈，所述鍍膜腔體和鍍膜機尾部之間設(shè)有橡膠密封圈，所述鍍膜腔體的環(huán)狀內(nèi)表面鋪設(shè)有濺射靶材，所述鍍膜腔體的中間開口處的內(nèi)側(cè)設(shè)有防濺射環(huán)，所述防濺射環(huán)內(nèi)側(cè)表面鋪設(shè)有橡膠密封圈。

進一步，所述鍍膜機開口端包括軸封、軸封絕緣連接件、濺射擋板一、端部法蘭一和絕緣墊板一，所述軸封內(nèi)部設(shè)有密封圈，所述軸封和端部法蘭一之間通過連接部件連接，所述軸封和端部法蘭一之間設(shè)有密封圈，所述端部法蘭一和絕緣墊板一之間設(shè)有橡膠密封圈。

進一步，所述鍍膜腔體包括防濺射環(huán)、濺射靶材、冷卻水套、磁體組件和外殼，所述防濺射環(huán)的長度為濺射靶材長度的1/4～1/3，所述磁體組件按矩陣等間距排列在外殼的內(nèi)表面上。

進一步，所述鍍膜機尾部包括濺射擋板二、絕緣墊板二、端部法蘭二，所述端部法蘭二上設(shè)有功能接口和抽氣口，所述功能接口位于抽氣口的兩側(cè)，所述絕緣墊板二和端部法蘭二之間設(shè)有密封圈。

進一步，所述的連接部件為螺栓、卡銷或鍵。

進一步，所述外殼的制作材料為不銹鋼材質(zhì)。

進一步，所述濺射靶材的材料為金屬材質(zhì)、非金屬材質(zhì)或合金材質(zhì)。

進一步，所述冷卻水套內(nèi)設(shè)有冷凝水或冷凝氣。

進一步，所述軸封的制作材料為聚四氟乙烯絕緣材料。

本實用新型的有益效果：本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，適用于性廣，便于拆卸安裝，方便安裝和拆卸下鍍膜零部件，防止鍍膜零部件鍍膜層的磨損，提高了鍍膜層的均勻度，便于對鍍膜區(qū)域的控制，實現(xiàn)對單一磁控濺射源非合金材料進行鍍膜，提高了鍍膜器件的硬度、機械特性、抗腐蝕性，有效保證了鍍膜空腔中的氣密性。

附圖說明

圖1為本實用新型一種合金材料真空濺射鍍膜機的內(nèi)部結(jié)構(gòu)剖面圖 。

具體實施方式

為使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體實施方式，進一步闡述本實用新型。

一種合金材料真空濺射鍍膜機，包括鍍膜機開口端100、鍍膜腔體200和鍍膜機尾部300，所述鍍膜機開口端100和鍍膜腔體200之間通過連接部件連接，所述鍍膜腔體200和鍍膜機尾部300之間通過連接部件連接，所述鍍膜機開口端100和鍍膜腔體200之間設(shè)有橡膠密封圈，所述鍍膜腔體200和鍍膜機尾部300之間設(shè)有橡膠密封圈，所述鍍膜腔體200的環(huán)狀內(nèi)表面鋪設(shè)有濺射靶材202，所述鍍膜腔體200的中間開口處的內(nèi)側(cè)設(shè)有防濺射環(huán)201，所述防濺射環(huán)201內(nèi)側(cè)表面鋪設(shè)有橡膠密封圈，所述的連接部件為螺栓、卡銷或鍵，所述濺射靶材202的材料為金屬材質(zhì)、非金屬材質(zhì)或合金材質(zhì)。

所述鍍膜機開口端100包括軸封101、軸封絕緣連接件102、濺射擋板一103、端部法蘭一104和絕緣墊板一105，所述軸封101內(nèi)部設(shè)有密封圈，所述軸封101和端部法蘭一104之間通過連接部件連接，所述軸封101和端部法蘭一104之間設(shè)有密封圈，所述端部法蘭一104和絕緣墊板一105之間設(shè)有橡膠密封圈，所述軸封101的制作材料為聚四氟乙烯絕緣材料。

所述鍍膜腔體200包括防濺射環(huán)201、濺射靶材202、冷卻水套203、磁體組件204和外殼205，所述防濺射環(huán)201的長度為濺射靶材202長度的1/4～1/3，所述磁體組件204按矩陣等間距排列在外殼205的內(nèi)表面上，所述外殼205的制作材料為不銹鋼材質(zhì)，所述冷卻水套203內(nèi)設(shè)有冷凝水或冷凝氣。

所述鍍膜機尾部300包括濺射擋板二301、絕緣墊板二302、端部法蘭二303，所述端部法蘭二303上設(shè)有功能接口304和抽氣口305，所述功能接口304位于抽氣口305的兩側(cè)，所述絕緣墊板二302和端部法蘭二303之間設(shè)有密封圈。

具體操作中，如圖1所示，將清洗的桿狀金屬零部件1首先固定在鍍膜機開口端100的插口內(nèi)，安裝好軸封101和軸封絕緣連接件102，并套上密封圈，安裝上濺射擋板一103、端部法蘭一104和絕緣墊板一105，將固定了桿狀金屬零部件1的鍍膜機開口端100套上橡膠密封圈，將桿狀金屬零部件1插入鍍膜腔體200的防濺射環(huán)201內(nèi)，防濺射環(huán)201內(nèi)側(cè)鋪設(shè)的橡膠圈保證了鍍膜腔體內(nèi)部的氣密性，調(diào)整好桿狀金屬零部件1的鍍膜區(qū)域，然后利用螺栓連接部件將安裝了桿狀金屬零部件1的鍍膜機開口端100固定在鍍膜腔體200上，將鍍膜機尾部300的端部法蘭二303、濺射擋板二301和絕緣墊板二302與鍍膜腔體200利用螺栓連接部件固定安裝，并在絕緣墊板二302和端部法蘭二303之間設(shè)有橡膠密封圈，在絕緣墊板二302和鍍膜腔體200之間設(shè)有橡膠密封圈。

將本實用新型裝置安裝好后，利用鍍膜機尾部300后端的功能接口304或抽氣口305對鍍膜腔體200內(nèi)進行抽真空，將鍍膜腔體200內(nèi)部的氣壓抽到1×10^-2Pa以下，再接口304或抽氣口305向鍍膜腔體200內(nèi)充入氬氣，并將磁控濺射源內(nèi)部氣壓控制在10~20Pa范圍，利用直流或脈沖電源在零件上施加200V~300V的負電壓，利用等離子體輝光放電在對桿狀金屬零部件1表面進行等離子體清洗，清洗時間5~10分鐘，采用磁控濺射源在桿件表面鍍制耐腐蝕合金鍍層，根據(jù)零件不同程度的防腐蝕需要，鍍層可以采取不同的合金材料，通過濺射的形式來實現(xiàn)對零件的防腐蝕保護，所述的磁控濺射源由濺射靶材202、端部法蘭一104、端部法蘭二303、軸封絕緣連接件102、防濺射環(huán)201、冷卻水套203、磁體組件204、濺射擋板二301、絕緣墊板二302和絕緣墊板一105組成。

端部法蘭一104、端部法蘭二303通過橡膠密封圈及絕緣墊板一105、絕緣墊板二302將冷卻水套203及濺射靶材202包含的管狀空間形成封閉的濺射空間。

濺射鍍膜過程中，濺射靶材202、冷卻水套203和磁體組件204共同形成陰極，端部法蘭一104、端部法蘭二303作為陽極，通過絕緣墊板一105、絕緣墊板二302和陰極實現(xiàn)電絕緣，待處理的桿狀金屬零部件1由軸封絕緣連接件102固定在磁控濺射源的軸線上，由于軸封絕緣連接件102使用絕緣材料，例如聚四氟乙烯，待處理的桿狀金屬零部件1和磁控濺射源的陰極及陽極均保持電絕緣，這樣的電結(jié)構(gòu)設(shè)置，可以保證在陰極和陽極之間形成等離子體放電區(qū)域，待處理的桿狀金屬零部件1需要鍍膜的區(qū)域完全浸沒在等離子體放電區(qū)域以內(nèi)，由于待處理的桿狀金屬零部件1和磁控濺射源的陰極及陽極的電絕緣，可以滿足等離子體清洗和濺射過程對于待處理桿狀金屬零部件1施加負偏壓的要求。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。