技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種合金材料真空濺射鍍膜機(jī),包括鍍膜機(jī)開口端、鍍膜腔體和鍍膜機(jī)尾部,所述鍍膜機(jī)開口端和鍍膜腔體之間通過連接部件連接,所述鍍膜腔體和鍍膜機(jī)尾部之間通過連接部件連接,所述鍍膜機(jī)開口端和鍍膜腔體之間設(shè)有橡膠密封圈,所述鍍膜腔體和鍍膜機(jī)尾部之間設(shè)有橡膠密封圈,所述鍍膜腔體的環(huán)狀內(nèi)表面鋪設(shè)有濺射靶材,所述鍍膜腔體的中間開口處的內(nèi)側(cè)設(shè)有防濺射環(huán),所述防濺射環(huán)內(nèi)側(cè)表面鋪設(shè)有橡膠密封圈。本實(shí)用新型公開了一種適用于各種材料的鍍膜裝置,使鍍膜厚度更加均勻、快捷,便于鍍膜工具的拆卸和組裝,防止由于抽取時(shí)磨損導(dǎo)致鍍膜層的磨損。
技術(shù)研發(fā)人員:姚華光
受保護(hù)的技術(shù)使用者:安徽普威達(dá)真空科技有限公司
文檔號碼:201720030416
技術(shù)研發(fā)日:2017.01.12
技術(shù)公布日:2017.08.29