本發(fā)明涉及一種蒸發(fā)制備金屬膜層裝置，尤其是一種蒸鍍復(fù)合金屬膜層用的子母坩堝裝置。

背景技術(shù)：

在材料表面處理應(yīng)用領(lǐng)域，蒸發(fā)鍍膜制備金屬膜層是常采用的方法，通常的蒸發(fā)鍍膜是一個(gè)坩堝內(nèi)放一種蒸發(fā)材料，由一把電子槍控制蒸發(fā)，要想獲得不同金屬+合金材料+不同金屬等的多層復(fù)合涂層，需要多個(gè)坩堝，多把電子槍。由于每個(gè)坩堝都存在一定的有效蒸鍍范圍，多個(gè)坩堝的蒸鍍范圍不同，會(huì)造成膜層的不均勻性。

為此，需要開(kāi)發(fā)一種新型的坩堝電子槍蒸發(fā)制備金屬膜層的設(shè)備。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種制備高效、膜層均勻和人成本低的蒸發(fā)制備金屬膜層的設(shè)備。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

一種蒸鍍復(fù)合金屬膜層用的子母坩堝裝置，包括基座，其特征是：在基座上設(shè)有母坩堝和若干個(gè)子坩堝模塊；所述基座上預(yù)留有母坩堝安裝槽，所述母坩堝安裝在所述母坩堝安裝槽中；所述的若干個(gè)子坩堝模塊是圍繞母坩堝的外輪廓均布在基座上的；每個(gè)所述的子坩堝模塊包括子坩堝底座、子坩堝、電子槍和驅(qū)動(dòng)缸；所述子坩堝底座鉸接在所述基座的表面；所述子坩堝和電子槍均固定在所述子坩堝底座表面，所述驅(qū)動(dòng)缸的推桿連接在所述子坩堝的底部；所述子坩堝可相對(duì)基座在母坩堝的外周上方翻轉(zhuǎn)；每個(gè)所述的子坩堝與母坩堝之間均設(shè)有傾斜于基座的表面設(shè)置的引流槽；所述引流槽的一端傾斜地延伸至母坩堝上方，另一端朝向子坩堝；所述子坩堝可相對(duì)基座翻轉(zhuǎn)至引流槽的上方。

本發(fā)明的工作原理如下：

將所需金屬放置于子堝內(nèi)，通過(guò)控制各個(gè)電子槍預(yù)熱及開(kāi)關(guān)。然后通過(guò)控制驅(qū)動(dòng)裝置，從而控制送料，讓金屬?gòu)淖盂釄逯辛鞒?，通過(guò)引流槽，流向主坩堝，從而在主坩堝內(nèi)形成合金溶液。通過(guò)配合周圍的子坩堝的不同單質(zhì)金屬，最終可獲得多種組合的、膜層均勻性的不同種類合金復(fù)合涂層。

為了保證安裝設(shè)備時(shí)能準(zhǔn)確定位，優(yōu)選的是，所述基座還設(shè)置有供驅(qū)動(dòng)缸的推桿通過(guò)的避空位。

為了確保坩堝內(nèi)的金屬液能順利導(dǎo)入引流槽，優(yōu)選的是，所述引流槽與所述基座形成傾斜度為10°～25°。

為了保證工作過(guò)程中的安全性、運(yùn)輸方便且與達(dá)到設(shè)計(jì)效果，優(yōu)選的是，所述基座外輪廓為扇形；坩堝外輪廓為圓盤狀。

附圖說(shuō)明

圖1是實(shí)施例1中一種蒸鍍復(fù)合金屬膜層用的子母坩堝裝置的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是實(shí)施例1中一種蒸鍍復(fù)合金屬膜層用的子母坩堝裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明：1-基座；2-母坩堝；3-子坩堝模塊；4-母坩堝安裝槽；5-子坩堝底座；6-子坩堝；7-電子槍；8-驅(qū)動(dòng)氣缸；9-避空位；10-引流槽。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說(shuō)明。

如圖1-2所示，一種蒸鍍復(fù)合金屬膜層用的子母坩堝裝置，包括基座1，其特征是：在基座1上設(shè)有1個(gè)母坩堝2和4個(gè)子坩堝模塊3；基座1上預(yù)留有母坩堝安裝槽4，母坩堝2安裝在母坩堝安裝槽4中；4個(gè)子坩堝模塊3是圍繞母坩堝的外輪廓均布在基座上的。

每個(gè)子坩堝模塊3包括子坩堝底座5、子坩堝6、電子槍7和驅(qū)動(dòng)缸8；子坩堝底座5鉸接在基座1的表面；子坩堝6和電子槍7均固定在子坩堝6底座表面，驅(qū)動(dòng)缸8的推桿連接在子坩堝6的底部；子坩堝6可相對(duì)基座1在母坩堝2的外周上方翻轉(zhuǎn)；每個(gè)子坩堝6與母坩堝2之間均設(shè)有傾斜于基座1的表面設(shè)置的引流槽10；引流槽10的一端傾斜地延伸至母坩堝2上方，另一端朝向子坩堝6；子坩堝6可相對(duì)基座2翻轉(zhuǎn)至引流槽10的上方

如圖2所示，基座1外輪廓為扇形，母坩堝2和子坩堝6外輪廓均為圓盤狀；基座1還設(shè)置有供驅(qū)動(dòng)缸8的推桿通過(guò)的避空位9；引流槽10與基座1形成傾斜度為15°。

將所需金屬放置于各子坩堝6內(nèi)，通過(guò)控制各個(gè)電子槍7預(yù)熱及開(kāi)關(guān)。然后通過(guò)控制驅(qū)動(dòng)缸8，從而控制送料，讓金屬?gòu)淖盂釄?中流出，通過(guò)引流槽7，流向母坩堝2，從而在主坩堝2內(nèi)形成合金溶液。通過(guò)配合周圍的子坩堝6的不同單質(zhì)金屬，最終可獲得多種組合的、膜層均勻性的不同種類合金復(fù)合涂層。

雖然本發(fā)明是通過(guò)具體實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明的，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)明白，在不脫離本發(fā)明范圍的情況下，還可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種變換及等同替代。另外，針對(duì)特定情形或應(yīng)用，可以對(duì)本發(fā)明做各種修改，而不脫離本發(fā)明的范圍。因此，本發(fā)明不局限于所公開(kāi)的具體實(shí)施例，而應(yīng)當(dāng)包括落入本發(fā)明權(quán)利要求范圍內(nèi)的全部實(shí)施方式。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明開(kāi)發(fā)了一種蒸鍍復(fù)合金屬膜層用的子母坩堝裝置，包括基座，其特征是：在基座上設(shè)有母坩堝和若干個(gè)子坩堝模塊；所述基座上預(yù)留有母坩堝安裝槽，所述母坩堝安裝在所述母坩堝安裝槽中；所述的若干個(gè)子坩堝模塊是圍繞母坩堝的外輪廓均布在基座上的；每個(gè)所述的子坩堝模塊包括子坩堝底座、子坩堝、電子槍和驅(qū)動(dòng)缸；所述子坩堝底座鉸接在所述基座的表面；所述子坩堝和電子槍均固定在所述子坩堝底座表面，所述驅(qū)動(dòng)缸的推桿連接在所述子坩堝的底部；所述子坩堝可相對(duì)基座在母坩堝的外周上方翻轉(zhuǎn)；每個(gè)所述的子坩堝與母坩堝之間均設(shè)有傾斜于基座的表面設(shè)置的引流槽。該發(fā)明具有制備高效、膜層均勻和人成本低等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：應(yīng)世強(qiáng);尹忠樂(lè);李術(shù)杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：佛山市南海區(qū)晶鼎泰機(jī)械設(shè)備有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.08.15
技術(shù)公布日：2017.10.20