本發(fā)明涉及一種有機(jī)電致發(fā)光器件技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種蒸鍍用的蒸發(fā)源裝置。

背景技術(shù)：

oled(即有機(jī)電致發(fā)光器件)顯示器是新一代的顯示器，通過(guò)在oled基板上制作有機(jī)薄膜，并且其中的有機(jī)薄膜被包夾設(shè)在陰極和陽(yáng)極金屬或?qū)щ妼又g，給兩電極施加電壓后，有機(jī)薄膜則會(huì)發(fā)光。相對(duì)于液晶顯示器而言，oled顯示器有自發(fā)光、響應(yīng)快、視角廣、色彩飽和等許多優(yōu)點(diǎn)，近幾年oled產(chǎn)業(yè)化速度突飛猛進(jìn)。

目前制備oled顯示器件主流的方式是真空熱蒸鍍，即在真空腔體內(nèi)使用坩堝加熱oled有機(jī)材料?，F(xiàn)有的用于加熱oled材料的坩堝包括坩堝本體及蓋在坩堝本體開(kāi)口端的坩堝蓋子，坩堝蓋子上設(shè)置有蒸鍍孔。坩堝本體用于容納oled有機(jī)材料，以對(duì)oled材料加熱，使之在一定溫度下升華或蒸發(fā)，然后透過(guò)蒸鍍孔沉積在上方的基板上，形成有機(jī)薄膜。

在oled材料蒸鍍過(guò)程中，由于蒸鍍出的有機(jī)物為蓬松結(jié)構(gòu)，很容易在坩堝蓋子的蒸鍍孔部位集結(jié)，直至蒸鍍孔被完全堵住。但由于oled器件制作工藝的特殊性，oled器件的制作需要在持續(xù)的真空環(huán)境下進(jìn)行，直至連續(xù)完成有機(jī)材料的蒸鍍。蒸鍍孔一旦被堵住就無(wú)法繼續(xù)蒸鍍，使蒸鍍工藝無(wú)法繼續(xù)進(jìn)行，會(huì)嚴(yán)重影響生產(chǎn)進(jìn)度。

這種情況下，目前的做法只能先把oled材料降溫至室溫，然后打開(kāi)蒸鍍腔體，待處理完塞孔的蒸鍍?cè)春笤訇P(guān)閉腔體、重新抽真空，并加熱到一定溫度，才能繼續(xù)進(jìn)行蒸鍍工藝，通常這個(gè)過(guò)程需要耗費(fèi)數(shù)十小時(shí)，且打開(kāi)腔體極易導(dǎo)致空氣中灰塵進(jìn)入腔體，嚴(yán)重影響產(chǎn)能及產(chǎn)品質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

鑒于現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明提供了一種蒸鍍用的蒸發(fā)源裝置，可以在不打開(kāi)真空腔體的情況下解決蒸鍍坩堝的蒸鍍孔堵塞的問(wèn)題。

為了實(shí)現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明采用了如下的技術(shù)方案：

一種蒸鍍用的蒸發(fā)源裝置，包括頂面開(kāi)口的加熱容器以及蓋設(shè)于所述加熱容器開(kāi)口的第一擋板和第二擋板，所述第一擋板和所述第二擋板上分別開(kāi)設(shè)有貫穿孔；所述第一擋板和所述第二擋板可相對(duì)滑動(dòng)，使二者上的貫穿孔在至少兩個(gè)不同的配合位置配合形成連通所述加熱容器的蒸鍍通道。

作為其中一種實(shí)施方式，所述第一擋板和所述第二擋板在所述加熱容器的高度方向上層疊設(shè)置，且延伸方向交叉設(shè)置；所述第一擋板和所述第二擋板的至少一個(gè)上的貫穿孔為沿相應(yīng)的擋板的長(zhǎng)度方向延伸的條形孔，所述第一擋板和所述第二擋板沿各自的長(zhǎng)度方向可移動(dòng)，以使得上下設(shè)置的貫穿孔在所述加熱容器的高度方向上連通形成不同的蒸鍍通道。

作為其中一種實(shí)施方式，所述第一擋板上的貫穿孔為沿其長(zhǎng)度方向延伸的條形孔，所述第二擋板上的貫穿孔為在其長(zhǎng)度方向間隔設(shè)置的點(diǎn)狀通孔。

或者，所述第一擋板和所述第二擋板上的貫穿孔均為在相應(yīng)的擋板的長(zhǎng)度方向間隔設(shè)置的點(diǎn)狀通孔。

或者，所述第一擋板和所述第二擋板上的貫穿孔均為沿相應(yīng)的擋板的長(zhǎng)度方向延伸的條形孔。

作為其中一種實(shí)施方式，所述第一擋板和所述第二擋板相互垂直。

作為其中一種實(shí)施方式，所述加熱容器為坩堝。

或者，所述第一擋板和所述第二擋板在所述加熱容器的徑向上相鄰設(shè)置；所述第一擋板上開(kāi)設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)間隔設(shè)置的第一缺口，所述第二擋板上開(kāi)設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)間隔設(shè)置的第二缺口，所述第二擋板可在其長(zhǎng)度方向上相對(duì)于所述第一擋板移動(dòng)，使不同的所述第一缺口與所述第二缺口配合形成不同的蒸鍍通道。

作為其中一種實(shí)施方式，所述第一擋板和所述第二擋板上分別在所述第一缺口、所述第二缺口周?chē)鷮?duì)應(yīng)設(shè)有圍成縮口狀的錐形的半遮蓋部，所述第一缺口周?chē)乃霭胝谏w部與所述第二缺口的所述半遮蓋部尺寸相同。

或者，所述第二擋板設(shè)于所述第一擋板上表面，所述第二擋板的貫穿孔旁圍設(shè)有傾斜的縮口狀的遮蓋部，所述遮蓋部的端面尺寸小于所述第二擋板的貫穿孔的尺寸。

本發(fā)明通過(guò)在裝有有機(jī)發(fā)光電致材料的加熱容器的開(kāi)口處蓋設(shè)有第一擋板和第二擋板，可以通過(guò)第一擋板和第二擋板的移動(dòng)而使二者配合形成不同的蒸鍍通道，可在不打開(kāi)真空腔體的情況下更換蒸鍍通道，很好地解決了蒸鍍過(guò)程中有機(jī)發(fā)光電致材料堵孔的問(wèn)題，提高了產(chǎn)能和產(chǎn)品質(zhì)量。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例1的蒸發(fā)源裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例1的蒸發(fā)源裝置的第一使用狀態(tài)示意圖；

圖3為本發(fā)明實(shí)施例1的蒸發(fā)源裝置的第二使用狀態(tài)示意圖；

圖4為本發(fā)明實(shí)施例1的蒸發(fā)源裝置的局部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明實(shí)施例2的蒸發(fā)源裝置的一個(gè)使用狀態(tài)示意圖；

圖6為本發(fā)明實(shí)施例3的蒸發(fā)源裝置的第一使用狀態(tài)示意圖；

圖7為本發(fā)明實(shí)施例3的蒸發(fā)源裝置的第二使用狀態(tài)示意圖；

圖8為本發(fā)明實(shí)施例3的蒸發(fā)源裝置的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。

本發(fā)明的蒸發(fā)源裝置主要用于加熱蒸鍍oled有機(jī)材料形成有機(jī)薄膜，使用時(shí)被放置在真空腔體內(nèi)，包括頂面開(kāi)口的加熱容器以及蓋設(shè)于加熱容器開(kāi)口的第一擋板和第二擋板，第一擋板和第二擋板上分別開(kāi)設(shè)有貫穿孔；第一擋板和第二擋板可相對(duì)滑動(dòng)，使第一擋板和第二擋板上的貫穿孔在至少兩個(gè)不同的配合位置配合形成連通加熱容器的蒸鍍通道。

這里，以加熱容器的開(kāi)口作為參照進(jìn)行描述，第一擋板與第二擋板形成的蒸鍍通道位于加熱容器的開(kāi)口正上方，第一擋板、第二擋板將加熱容器的開(kāi)口遮擋，僅留出該蒸鍍通道作為有機(jī)材料的沉積通道。初始狀態(tài)下，第一擋板的貫穿孔和第二擋板的貫穿孔在第一配合位置連通形成通孔結(jié)構(gòu)的第一蒸鍍通道，蒸鍍過(guò)程中，有機(jī)材料會(huì)在形成的第一蒸鍍通道部位集結(jié)，直至第一蒸鍍通道被堵?。蝗缓?，第一擋板、第二擋板相對(duì)移動(dòng)而錯(cuò)開(kāi)一定距離，在不同于第一配合位置的第二配合位置連通形成通孔結(jié)構(gòu)的第二蒸鍍通道，如此即可在不打開(kāi)真空腔體的前提下更換蒸鍍通道，提高了蒸鍍效率，也避免了灰塵等進(jìn)入。以下，以幾種不同的蒸鍍通道的形成方式對(duì)本發(fā)明總的構(gòu)思進(jìn)行更具體的描述。

實(shí)施例1

參閱圖1和圖2，本實(shí)施例的蒸發(fā)源裝置包括頂面開(kāi)口的加熱容器10以及蓋設(shè)于加熱容器10開(kāi)口的第一擋板20和第二擋板30，該加熱容器10最好是坩堝，第一擋板20和第二擋板30在加熱容器10的高度方向上(如圖1所示的豎直方向上)層疊設(shè)置且延伸方向交叉設(shè)置，第一擋板20和第二擋板30上的貫穿孔均為沿相應(yīng)的擋板的長(zhǎng)度方向延伸的條形孔，即第一擋板20上開(kāi)設(shè)有第一條形孔201，第二擋板30上開(kāi)設(shè)有第二條形孔301。

當(dāng)安裝到加熱容器10頂面的開(kāi)口后，第一擋板20和第二擋板30沿各自的長(zhǎng)度方向均可移動(dòng)，以使得上下設(shè)置的第一條形孔201、第二條形孔301在豎直方向上依次連通形成不同的蒸鍍通道h，其中，實(shí)施例的第一擋板20和第二擋板30相互垂直，以更方便地控制第一擋板20和第二擋板30的運(yùn)動(dòng)方向和位移。

其中，可以理解的是，用于驅(qū)動(dòng)第一擋板20和第二擋板30平移的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可以是現(xiàn)有技術(shù)中的各種可行的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，例如，利用齒輪齒條傳動(dòng)、皮帶傳動(dòng)、液壓桿推動(dòng)，連桿機(jī)構(gòu)傳動(dòng)等，通過(guò)將驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在真空腔體內(nèi)，可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)蒸鍍。本實(shí)施例的第一條形孔201、第二條形孔301均為規(guī)則的矩形孔，作為一種改進(jìn)，在其他實(shí)施方式中，第一條形孔201、第二條形孔301也可以為不規(guī)則的條形孔，即條形孔的寬度在其長(zhǎng)度方向上并不是始終一致的，可以具有不同的寬度，使得可以通過(guò)調(diào)節(jié)第一條形孔201、第二條形孔301的配合位置改變二者形成的蒸鍍通道h的寬度大小。

第一擋板20和第二擋板30的平移方向相互垂直，第一條形孔201與第二條形孔301在豎直方向上的投影的重疊區(qū)域即為實(shí)際配合形成的蒸鍍通道對(duì)應(yīng)的區(qū)域，隨著第一擋板20與第二擋板30的相對(duì)移動(dòng)，第一條形孔201的不同區(qū)域與第二條形孔301的不同區(qū)域可以組合形成若干個(gè)不同的蒸鍍通道h，可以方便在某一個(gè)蒸鍍通道堵塞后進(jìn)行更換。

具體地，如圖2和圖3，在初始工作時(shí)，第一擋板20和第二擋板30靜止且垂直相交，第一條形孔201的第一端與第二條形孔301的第一端均處于原點(diǎn)位置，第一擋板20、第二擋板30以及加熱容器10三者組成用于放置有機(jī)材料的加熱腔和加熱腔頂部的蒸鍍通道h，其中，第一條形孔201的第一端與第二條形孔301的第一端配合形成第一蒸鍍通道h1；隨著蒸鍍過(guò)程的進(jìn)行，有機(jī)材料會(huì)在形成的第一蒸鍍通道h1部位集結(jié)，當(dāng)?shù)谝徽翦兺ǖ纇1被堵住后，分別沿各自的長(zhǎng)度方向(如圖2、3所示的箭頭方向)推動(dòng)第一擋板20和第二擋板30，兩垂直的第一條形孔201與第二條形孔301可配合形成新的第二蒸鍍通道h2，如此即可通過(guò)該第二蒸鍍通道h2繼續(xù)進(jìn)行蒸鍍過(guò)程，直至新的第二蒸鍍通道h2被堵住后，繼續(xù)移動(dòng)第一擋板20和第二擋板30而形成新的蒸鍍通道；當(dāng)?shù)谝粭l形孔201、第二條形孔301完全堵塞后，才需要打開(kāi)真空腔體進(jìn)行清理。

進(jìn)一步地，本實(shí)施例的加熱容器10還可進(jìn)一步改造，在加熱容器10內(nèi)固定有豎立于其開(kāi)口部的撥針(圖未示)，安裝第一擋板20和第二擋板30時(shí)，該撥針同時(shí)伸入第一條形孔201和第二條形孔301內(nèi)，在第一擋板20和第二擋板30移動(dòng)的過(guò)程中，該撥針始終同時(shí)位于第一條形孔201和第二條形孔301內(nèi)，當(dāng)?shù)谝粭l形孔201和第二條形孔301部分堵塞，可以通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)控制第一擋板20和第二擋板30反向平移，利用該撥針清除堵塞在第一條形孔201和第二條形孔301內(nèi)的有機(jī)材料，這樣，可以實(shí)現(xiàn)無(wú)限時(shí)不間斷蒸鍍。

更進(jìn)一步地，如圖4所示，第二擋板30設(shè)于第一擋板20上表面，第二擋板30的貫穿孔旁圍設(shè)有傾斜的縮口狀的遮蓋部30a，該遮蓋部30a的端面尺寸小于第二擋板30的貫穿孔的尺寸，可以增大經(jīng)蒸鍍通道h排出的有機(jī)材料的噴力，同時(shí)，該傾斜的縮口形構(gòu)造也可以緩解從上方的基板上落下的有機(jī)材料掉落至第二條形孔301周?chē)斐烧翦兺ǖ蓝氯默F(xiàn)象。

實(shí)施例2

如圖5所示，與實(shí)施例1不同，本實(shí)施例的第一擋板20和第二擋板30上的貫穿孔均為在相應(yīng)的擋板的長(zhǎng)度方向間隔設(shè)置的點(diǎn)狀通孔，而并非是一個(gè)整體的條形孔。

在移動(dòng)第一擋板20和第二擋板30的過(guò)程中，第一擋板20的點(diǎn)狀通孔可以和其上方的第二擋板30的相應(yīng)的點(diǎn)狀通孔配合組成蒸鍍通道h，當(dāng)?shù)谝粨醢?0或者第二擋板30的其中一個(gè)點(diǎn)狀通孔堵塞時(shí)，可通過(guò)移動(dòng)堵塞的點(diǎn)狀通孔所在的擋板更換點(diǎn)狀通孔而形成新的蒸鍍通道h。

可以理解的是，在其他實(shí)施方式中，第一擋板20上的貫穿孔可以是沿其長(zhǎng)度方向延伸的條形孔，第二擋板30上的貫穿孔可以是在其長(zhǎng)度方向間隔設(shè)置的點(diǎn)狀通孔。第一擋板20和第二擋板30在移動(dòng)的過(guò)程中，第一擋板20的條形孔的不同部位與第二擋板30上的不同的點(diǎn)狀通孔配合形成不同的蒸鍍通道h。

實(shí)施例3

如圖6和7所示，與實(shí)施例1和2均不同的是，本實(shí)施例的第一擋板20和第二擋板30在加熱容器10的徑向上(即圖1的水平方向上)相鄰設(shè)置，第一擋板20和第二擋板30通過(guò)拼接的方式圍成蒸鍍通道。具體地，第一擋板20上開(kāi)設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)間隔設(shè)置的第一缺口200，第二擋板30上開(kāi)設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)間隔設(shè)置的第二缺口300，第二擋板30可在其長(zhǎng)度方向上相對(duì)于第一擋板20移動(dòng)，使不同的第一缺口200與第二缺口300配合形成不同的蒸鍍通道。

如圖6，在初始工作時(shí)，第一擋板20邊緣的第一缺口200與第二擋板30邊緣的第二缺口300一一對(duì)應(yīng)，每個(gè)第一缺口200與一個(gè)第二缺口300拼接圍成矩形的通孔，其中一對(duì)缺口形成的通孔作為初始的第一蒸鍍通道h1，當(dāng)?shù)谝徽翦兺ǖ纇1堵塞后，第一擋板20與第二擋板30沿反方向移動(dòng)而使第一缺口200與第二缺口300錯(cuò)開(kāi)，當(dāng)?shù)谝蝗笨?00與第二缺口300在加熱容器10開(kāi)口上方重新圍成一個(gè)新的通孔時(shí)，即停止移動(dòng)，該新的通孔即為新的第二蒸鍍通道h2(如圖7)，如此即可繼續(xù)蒸鍍。

另外，結(jié)合圖8所示，本實(shí)施例在第一擋板20和第二擋板30上分別在第一缺口200、第二缺口300周?chē)鷮?duì)應(yīng)設(shè)有圍成縮口狀的錐形的半遮蓋部c，第一缺口200周?chē)陌胝谏w部c與第二缺口300的半遮蓋部c尺寸相同。當(dāng)蒸鍍通道形成后，左右兩個(gè)半遮蓋部c即可圍成一個(gè)完整的遮蓋部，該傾斜的縮口形構(gòu)造也可以緩解從上方的基板上落下的有機(jī)材料掉落至蒸鍍通道周?chē)斐烧翦兺ǖ蓝氯默F(xiàn)象。

可以理解的是，本實(shí)施例的第一擋板20和第二擋板30也可以只有一個(gè)相對(duì)于加熱容器10滑動(dòng)，使第一擋板20和第二擋板30在至少兩個(gè)不同的配合位置配合形成連通加熱容器10的蒸鍍通道即可。

由于第一擋板20和第二擋板30的相對(duì)運(yùn)動(dòng)會(huì)使第一缺口200、第二缺口300相互錯(cuò)開(kāi)，當(dāng)其中一個(gè)蒸鍍通道堵塞時(shí)，第一擋板20和第二擋板30的這種運(yùn)動(dòng)可以使得堵塞的蒸鍍通道內(nèi)的有機(jī)材料破碎，使得該蒸鍍通道重新恢復(fù)暢通狀態(tài)而可以重復(fù)使用。

本發(fā)明通過(guò)在裝有有機(jī)發(fā)光電致材料的加熱容器的開(kāi)口處蓋設(shè)有第一擋板和第二擋板，可以通過(guò)第一擋板和第二擋板的移動(dòng)而使二者配合形成不同的蒸鍍通道，可在不打開(kāi)真空腔體的情況下更換蒸鍍通道，很好地解決了蒸鍍過(guò)程中有機(jī)發(fā)光電致材料堵孔的問(wèn)題，提高了產(chǎn)能和產(chǎn)品質(zhì)量。

以上所述僅是本申請(qǐng)的具體實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本申請(qǐng)?jiān)淼那疤嵯?，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本申請(qǐng)的保護(hù)范圍。