技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了陰極旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括：陰極源總成，安裝在真空濺射腔室內(nèi)壁上；陰極靶筒，一端連接至所述陰極源總成并可沿所述陰極源總成旋轉(zhuǎn)；穿設(shè)在所述陰極靶筒內(nèi)的循環(huán)水回水管，其連接至設(shè)置在所述陰極源總成上的供水管，且連通至所述循環(huán)水回水管與所述陰極靶筒之間的密閉空間，所述密閉空間連通至設(shè)置在所述陰極源總成上的出水管；設(shè)置在所述循環(huán)水回水管外壁上的多個(gè)磁鐵；及設(shè)置在所述陰極靶筒另一端的驅(qū)動(dòng)裝置，以用于驅(qū)動(dòng)所述陰極靶筒旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明提供的陰極旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安全性能好，便于維護(hù)。

技術(shù)研發(fā)人員：朱安秋
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州勝利精密制造科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.07.10
技術(shù)公布日：2017.10.17