技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種鈦選擇性雙組份蝕刻液，其包含第一組分和第二組分，所述第一組分為鈦氧化液，所述鈦氧化液包括過氧化氫、過氧化氫穩(wěn)定劑、銅防腐蝕劑和水，所述第二組分為堿性物質(zhì)。本發(fā)明的蝕刻液采用鈦氧化液作為第一組分，堿性物質(zhì)作為第二組分，且鈦氧化液包括過氧化氫、過氧化氫穩(wěn)定劑、銅防腐蝕劑和水，蝕刻劑使用時，只需將鈦氧化液和堿性物質(zhì)現(xiàn)場調(diào)配，不僅方便、安全，且堿性物質(zhì)作為單獨的組分，使用前不與其他物質(zhì)混合制成溶液，不存在存放時間越長，蝕刻液體系中堿量降低而影響蝕刻液使用的現(xiàn)象。另一方面，鈦氧化液的穩(wěn)定性也更加優(yōu)異。

技術(shù)研發(fā)人員：金炳生;高小云;劉兵
受保護的技術(shù)使用者：蘇州晶瑞化學股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.18
技術(shù)公布日：2017.09.26