本實(shí)用新型涉及光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，具體地說一種能夠?qū)ぜM(jìn)行雙面研磨拋光的雙面研磨拋光機(jī)。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有的光學(xué)工件加工中，一般采用單面的研磨拋光機(jī)，無論是研磨工序還是拋光工序，光學(xué)工件都要先加工一面后再加工另一面，費(fèi)時(shí)費(fèi)力且生產(chǎn)成本高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，提供一種能夠?qū)ぜM(jìn)行雙面研磨拋光的雙面研磨拋光機(jī)。

本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)方案解決的：

一種雙面研磨拋光機(jī)，包括上盤，其特征在于：所述上盤的正下方設(shè)有與之對應(yīng)的下盤，上盤和下盤采用不同的電機(jī)驅(qū)動(dòng)且兩者的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反，所述下盤的外緣側(cè)設(shè)有內(nèi)齒圈且下盤的中部設(shè)有太陽輪，在下盤上放置有作為工裝夾具的行星輪，行星輪的兩側(cè)分別與內(nèi)齒圈和太陽輪嚙合且內(nèi)齒圈和太陽輪采用不同的電機(jī)驅(qū)動(dòng)，使得行星輪在內(nèi)齒圈和太陽輪的作用下既能自轉(zhuǎn)又能圍繞太陽輪公轉(zhuǎn)。

所述內(nèi)齒圈和太陽輪的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反且內(nèi)齒圈和行星輪的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相同。

所述的太陽輪從下盤中部的太陽輪安裝孔中伸出。

所述的下盤能夠在升降機(jī)構(gòu)的作用下上升取件或落位裝件。

所述太陽輪中部的驅(qū)動(dòng)安裝孔中安裝有上盤驅(qū)動(dòng)件，上盤驅(qū)動(dòng)件凸出太陽輪且上盤驅(qū)動(dòng)件上設(shè)有用于固定上盤的定位溝槽。

所述的上盤、下盤、內(nèi)齒圈和太陽輪采用四個(gè)不同的電機(jī)驅(qū)動(dòng)。

本實(shí)用新型相比現(xiàn)有技術(shù)有如下優(yōu)點(diǎn)：

本實(shí)用新型通過采用不同的電機(jī)驅(qū)動(dòng)且兩者轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反的上盤和下盤對工件進(jìn)行研磨拋光，且通過內(nèi)齒圈、太陽輪和行星輪的設(shè)置，使得工件在載體內(nèi)作既公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的游星運(yùn)動(dòng)，磨削阻力小不損傷工件，而且兩面均勻磨削生產(chǎn)效率高，需要雙面研磨拋光的工件用雙面機(jī)進(jìn)行研磨拋光比單面機(jī)的效率要快一倍；該雙面研磨拋光機(jī)的誕生和發(fā)展為很多行業(yè)的生產(chǎn)效率帶來了改良，適用于光學(xué)玻璃行業(yè)的硅片、藍(lán)寶石襯底以及外延片等。

本實(shí)用新型的雙面研磨拋光機(jī)能夠使得工件在載體內(nèi)形成至少三個(gè)方向的速度相互協(xié)調(diào)的磨削運(yùn)動(dòng)，工件的上下表面能同時(shí)均勻研磨且由于上盤、下盤同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，游星輪運(yùn)動(dòng)阻力小，加工工件特別是加工薄、脆性材質(zhì)的工件不易破損。

本實(shí)用新型的雙面研磨拋光機(jī)設(shè)有變速換向裝置，能夠獲得游星輪正反兩個(gè)方向的自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，產(chǎn)生的磨削運(yùn)動(dòng)軌跡的均衡補(bǔ)償而使得上盤、下盤在較長時(shí)間的研磨后，其平面度基本不變，另外配有的修正輪用來修復(fù)上盤、下盤的平面度誤差。

本實(shí)用新型的雙面研磨拋光機(jī)采用無極調(diào)速電機(jī)，起動(dòng)及停車平穩(wěn)、無沖擊，能有效地防止薄脆工件破碎，也能使各種不同材質(zhì)的工件加工時(shí)，得到理想的研磨速度；采用了計(jì)數(shù)自動(dòng)控制，當(dāng)機(jī)器達(dá)到預(yù)置的研磨量（轉(zhuǎn)數(shù)或厚度）時(shí)即自動(dòng)停機(jī)，因此可以實(shí)現(xiàn)多臺機(jī)床同時(shí)操作；另外備有對工件加壓的可變加壓機(jī)構(gòu)，當(dāng)加工不同材質(zhì)、尺寸的工件時(shí)，可根據(jù)需要任意選擇輕、中、重等不同壓力。

附圖說明

附圖1為本實(shí)用新型的雙面研磨拋光機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。

其中：1—下盤；2—內(nèi)齒圈；3—太陽輪；4—行星輪；5—太陽輪安裝孔；6—驅(qū)動(dòng)安裝孔；7—上盤驅(qū)動(dòng)件；8—定位溝槽。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖與實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明。

如圖1所示：一種雙面研磨拋光機(jī)，包括上盤，在上盤的正下方設(shè)有與之對應(yīng)的下盤1，上盤和下盤1采用不同的電機(jī)驅(qū)動(dòng)且兩者的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反，下盤1的外緣側(cè)設(shè)有內(nèi)齒圈2且下盤1的中部設(shè)有太陽輪3，在下盤1上放置有作為工裝夾具的行星輪4，行星輪4的兩側(cè)分別與內(nèi)齒圈2和太陽輪3嚙合且內(nèi)齒圈2和太陽輪3采用不同的電機(jī)驅(qū)動(dòng)，內(nèi)齒圈2和太陽輪3的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反且內(nèi)齒圈2和行星輪4的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相同，使得行星輪4在內(nèi)齒圈2和太陽輪3的作用下既能自轉(zhuǎn)又能圍繞太陽輪3公轉(zhuǎn)。具體到安裝結(jié)構(gòu)，太陽輪3從下盤1中部的太陽輪安裝孔5中伸出且下盤1能夠在升降機(jī)構(gòu)的作用下上升取件或落位裝件；在太陽輪3中部的驅(qū)動(dòng)安裝孔6中安裝有上盤驅(qū)動(dòng)件7，上盤驅(qū)動(dòng)件7凸出太陽輪3且上盤驅(qū)動(dòng)件7上設(shè)有用于固定上盤的定位溝槽。另外需要說明的是：上盤、下盤1、內(nèi)齒圈2和太陽輪3采用四個(gè)不同的電機(jī)驅(qū)動(dòng)。

下面通過具體操作過程來對本實(shí)用新型的雙面研磨拋光機(jī)進(jìn)行進(jìn)一步的說明。具體過程如下：

1、按下空氣開關(guān)按鈕，轉(zhuǎn)數(shù)指示燈亮，表示不同工作內(nèi)容的停止按鈕信號燈亮；

2、主機(jī)啟動(dòng)和停止，由主機(jī)啟動(dòng)按鈕和停止按鈕控制；

3、砂泵啟動(dòng)和停止，由砂泵啟動(dòng)按鈕和停止按鈕控制；

4、上盤的升降分別由控制上升和下降的點(diǎn)動(dòng)按鈕來控制，具體上升和下降時(shí)沖擊工件，在上盤與工件距離20毫米處，按下緩降按鈕，使其緩緩接觸工件，當(dāng)確實(shí)接觸工件后，按一下快降按鈕，使其完全接觸后，便可啟動(dòng)主機(jī)；

5、主機(jī)啟動(dòng)前，應(yīng)將速度調(diào)節(jié)電位器擰到零位置，啟動(dòng)后，緩慢調(diào)節(jié)調(diào)速電位器，使其獲得研磨所需的速度，這時(shí)主軸的速度由轉(zhuǎn)速表顯示，研磨的轉(zhuǎn)速是無極調(diào)速的；

6、研磨量由計(jì)數(shù)方式控制，開機(jī)前把所需研磨數(shù)預(yù)置（預(yù)置前將計(jì)數(shù)繼電器復(fù)位為零）。工作時(shí)，當(dāng)運(yùn)行的轉(zhuǎn)數(shù)與預(yù)置數(shù)一致時(shí)，便自動(dòng)停機(jī)，若下次研磨量與前次相同則不需重新預(yù)置轉(zhuǎn)數(shù)，只需按一下計(jì)數(shù)繼電器復(fù)位按鈕即可；

7、研磨壓力，本機(jī)在研磨開始到研磨完畢的一個(gè)周期內(nèi)，可自動(dòng)提供三種不同的研磨壓力，依次分四個(gè)階段，即輕壓、中壓、重壓和研磨（輕壓），研磨力的選擇，應(yīng)根據(jù)工件的材質(zhì)、數(shù)量、研磨面的尺寸形狀，研磨量及磨料的配方等因素來決定。各種壓力階段所持續(xù)的時(shí)間也是由計(jì)數(shù)器的預(yù)置的轉(zhuǎn)速相應(yīng)控制，某種壓力需要的時(shí)間長，其預(yù)置的轉(zhuǎn)數(shù)就多，需要的時(shí)間短，其預(yù)置的轉(zhuǎn)數(shù)就少，當(dāng)不需要某種壓力時(shí)，只需將繼電器預(yù)置零位即可；

8、在機(jī)器需要空轉(zhuǎn)時(shí)，將轉(zhuǎn)換按鈕置于停止位置，此時(shí)主機(jī)已啟動(dòng)，再調(diào)節(jié)調(diào)速電位器，得到空轉(zhuǎn)所需速度，在進(jìn)行研磨工作時(shí)，必須將轉(zhuǎn)換按鈕置于工作位置，否則，無輕、中、重壓力；

9、研磨液供給，可直接按下砂泵啟動(dòng)按鈕，砂泵啟動(dòng)運(yùn)行，研磨液即從導(dǎo)管自行導(dǎo)入；

10、研磨結(jié)束后，請段開電源和氣源，并將速度調(diào)節(jié)電位器擰到零位置；

11、該機(jī)作為雙面拋光時(shí)，請?jiān)谏稀⑾卵心ケP上粘貼好拋光布，加入拋光液即可進(jìn)行表面拋光。

本實(shí)用新型通過采用不同的電機(jī)驅(qū)動(dòng)且兩者轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反的上盤和下盤1對工件進(jìn)行研磨拋光，且通過內(nèi)齒圈2、太陽輪3和行星輪4的設(shè)置，使得工件在載體內(nèi)作既公轉(zhuǎn)又自轉(zhuǎn)的游星運(yùn)動(dòng)，磨削阻力小不損傷工件，而且兩面均勻磨削生產(chǎn)效率高，需要雙面研磨拋光的工件用雙面機(jī)進(jìn)行研磨拋光比單面機(jī)的效率要快一倍；該雙面研磨拋光機(jī)的誕生和發(fā)展為很多行業(yè)的生產(chǎn)效率帶來了改良，適用于光學(xué)玻璃行業(yè)的硅片、藍(lán)寶石襯底以及外延片等。該雙面研磨拋光機(jī)能夠使得工件在載體內(nèi)形成至少三個(gè)方向的速度相互協(xié)調(diào)的磨削運(yùn)動(dòng)，工件的上下表面能同時(shí)均勻研磨且由于上盤、下盤1同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，游星輪4運(yùn)動(dòng)阻力小，加工工件特別是加工薄、脆性材質(zhì)的工件不易破損。

本實(shí)用新型的雙面研磨拋光機(jī)設(shè)有變速換向裝置，能夠獲得游星輪4正反兩個(gè)方向的自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，產(chǎn)生的磨削運(yùn)動(dòng)軌跡的均衡補(bǔ)償而使得上盤、下盤1在較長時(shí)間的研磨后，其平面度基本不變，另外配有的修正輪用來修復(fù)上盤、下盤1的平面度誤差。該雙面研磨拋光機(jī)采用無極調(diào)速電機(jī)，起動(dòng)及停車平穩(wěn)、無沖擊，能有效地防止薄脆工件破碎，也能使各種不同材質(zhì)的工件加工時(shí)，得到理想的研磨速度；采用了計(jì)數(shù)自動(dòng)控制，當(dāng)機(jī)器達(dá)到預(yù)置的研磨量（轉(zhuǎn)數(shù)或厚度）時(shí)即自動(dòng)停機(jī)，因此可以實(shí)現(xiàn)多臺機(jī)床同時(shí)操作；另外備有對工件加壓的可變加壓機(jī)構(gòu)，當(dāng)加工不同材質(zhì)、尺寸的工件時(shí)，可根據(jù)需要任意選擇輕、中、重等不同壓力。

以上實(shí)施例僅為說明本實(shí)用新型的技術(shù)思想，不能以此限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍，凡是按照本實(shí)用新型提出的技術(shù)思想，在技術(shù)方案基礎(chǔ)上所做的任何改動(dòng)，均落入本實(shí)用新型保護(hù)范圍之內(nèi)；本實(shí)用新型未涉及的技術(shù)均可通過現(xiàn)有技術(shù)加以實(shí)現(xiàn)。