技術(shù)總結(jié)
一種卷對卷石墨烯薄膜連續(xù)生長設(shè)備，包括置料真空腔室、加熱真空腔室、和加熱裝置，所述置料真空腔室設(shè)置有兩個，所述加熱真空腔室位于加熱裝置內(nèi)，兩端伸出并與對應(yīng)的置料真空腔室設(shè)置的連通口相連通，所述置料真空腔室內(nèi)安裝有置料輥和輸送輔助裝置，所述輸送輔助裝置位于對應(yīng)置料輥內(nèi)側(cè)，并與連通口對齊，所述輸送輔助裝置為上下相對設(shè)置并且相互嚙合的兩個壓輥。卷對卷石墨烯薄膜連續(xù)生長設(shè)備將位于一端的置料真空腔室的銅箔通過加熱真空腔室輸送到另一端的置料真空腔室中，期間通過加熱和反應(yīng)氣體，在銅箔上生長石墨烯薄膜，無須射頻等離子體發(fā)生器，節(jié)能安全。輸送輔助裝置從兩端將銅箔固定，使其不會受到對應(yīng)置料輥上銅箔粗細的影響，使加熱真空腔室內(nèi)的銅箔始終保持水平，保證其與反應(yīng)氣體充分接觸，提高石墨烯生產(chǎn)質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員：張海林;滕玉鵬
受保護的技術(shù)使用者：青島賽瑞達電子科技有限公司
文檔號碼：201620680005
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.30
技術(shù)公布日：2017.01.04