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卷對(duì)卷石墨烯薄膜連續(xù)生長設(shè)備的制作方法

文檔序號(hào):12393940閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種卷對(duì)卷石墨烯薄膜連續(xù)生長設(shè)備,其特征在于,包括置料真空腔室(1)、加熱真空腔室(2)、和加熱裝置(3),

所述置料真空腔室(1)設(shè)置有兩個(gè),

所述加熱真空腔室(2)位于加熱裝置(3)內(nèi),兩端伸出并與對(duì)應(yīng)的置料真空腔室(1)設(shè)置的連通口(2-1)相連通,

所述置料真空腔室(1)內(nèi)安裝有置料輥(1-1)和輸送輔助裝置(1-2),所述輸送輔助裝置(1-2)位于對(duì)應(yīng)置料輥(1-1)內(nèi)側(cè),并與連通口(2-1)對(duì)齊,

所述輸送輔助裝置(1-2)為上下相對(duì)設(shè)置并且相互嚙合的兩個(gè)壓輥,

一個(gè)置料真空腔室(1)連接有抽真空裝置(4)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷對(duì)卷石墨烯薄膜連續(xù)生長設(shè)備,其特征在于,所述置料真空腔室(1)中的置料輥(1-1)和輸送輔助裝置(1-2)之間安裝有輔助支撐板(1-3),所述輔助支撐板(1-3)傾斜設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷對(duì)卷石墨烯薄膜連續(xù)生長設(shè)備,其特征在于,所述置料真空腔室(1)內(nèi)側(cè)壁上安裝有隔熱裝置(1-4),所述隔熱裝置(1-4)與連通口(2-1)對(duì)齊。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的卷對(duì)卷石墨烯薄膜連續(xù)生長設(shè)備,其特征在于,所述隔熱裝置(1-4)為片狀且間隔設(shè)置的多個(gè)隔熱反射屏,所述隔熱反射屏設(shè)置有通過口(1-5),所述通過口(1-5)與連通口(2-1)對(duì)齊。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷對(duì)卷石墨烯薄膜連續(xù)生長設(shè)備,其特征在于,所述置料真空腔室(1)的連通口(2-1)上設(shè)置有環(huán)形彌散腔(2-2),所述環(huán)形彌散腔(2-2)位于置料真空腔室(1)的殼體中,并與其同軸,所述環(huán)形彌散腔(2-2)的內(nèi)壁周向設(shè)置有多個(gè)通氣孔(2-3),外壁設(shè)置有流通口(2-4)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷對(duì)卷石墨烯薄膜連續(xù)生長設(shè)備,其特征在于,所述加熱真空腔室(2)內(nèi)安裝有支撐導(dǎo)軌(2-5),所述支撐導(dǎo)軌(2-5)兩端分別于對(duì)應(yīng)置料真空腔室(1)的連通口(2-1)平齊。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的卷對(duì)卷石墨烯薄膜連續(xù)生長設(shè)備,其特征在于,所述支撐導(dǎo)軌(2-5)放置在加熱真空腔室(2)內(nèi)壁設(shè)置的支承座(2-6)上,所述支撐導(dǎo)軌(2-5)兩側(cè)的邊緣與對(duì)應(yīng)加熱真空腔室(2)的內(nèi)壁之間設(shè)有流通間隙(2-7),所述支承座(2-6)設(shè)有流通通道(2-8),所述流通通道(2-8)一端與對(duì)應(yīng)的流通間隙(2-7)相連,另一端位于支撐導(dǎo)軌(2-5)下方。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的卷對(duì)卷石墨烯薄膜連續(xù)生長設(shè)備,其特征在于,所述支撐導(dǎo)軌(2-5)兩側(cè)相對(duì)設(shè)置有限位槽(2-9),位于支撐導(dǎo)軌(2-5)端部的限位槽(2-9)高度由外向內(nèi)逐漸增大。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷對(duì)卷石墨烯薄膜連續(xù)生長設(shè)備,其特征在于,所述抽真空裝置(4)包括依次相連的冷凝器(4-1)、閥門(4-2)和真空泵(4-3),所述冷凝器(4-1)與對(duì)應(yīng)置料真空腔室(1)相連。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卷對(duì)卷石墨烯薄膜連續(xù)生長設(shè)備,其特征在于,置料輥(1-1)外壁設(shè)置有固定槽(1-6),所述固定槽(1-6)內(nèi)安裝有固定壓塊(1-7),所述固定壓塊(1-7)一側(cè)與置料輥(1-1)鉸接,另一側(cè)中安裝有鐵塊(1-8),所述固定槽(1-6)槽底安裝有吸引鐵塊(1-8)的磁鐵(1-9)。

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