技術編號：12393940
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種石墨烯生產設備，具體地說，是一種卷對卷石墨烯薄膜連續(xù)生長設備。背景技術石墨烯是由碳原子構成的只有一層原子厚度的二維晶體，是目前自然界最薄、強度最高的一種新材料。而石墨烯薄膜生產方法是將含有構成薄膜元素的氣態(tài)反應劑或液態(tài)反應劑的蒸汽及反應所需其它氣體引入反應室，在襯底表面發(fā)生化學反應生長薄膜。目前常用的石墨烯薄膜生產設備是將襯底材料放入其中，在沉底材料上生長出石墨烯薄膜后，將其取出，然后再放入新的沉底材料，進行下一次的石墨烯薄膜生長。這種生產方式工作效率低，需要多次取放，而且由于...
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