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一種拋光機的壓力調(diào)節(jié)器的制作方法

文檔序號:12162577閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種拋光機的壓力調(diào)節(jié)器,其特征在于:包括設(shè)置在拋光機機架上的氣缸(1)以及與氣缸(1)配合使用的活塞桿(2),所述氣缸(1)通過活塞桿(2)與拋光上盤(6)連接,所述活塞桿(2)上設(shè)有稱量器(3),所述活塞桿(2)的下端與微調(diào)器(5)連接;

其特征在于:還包括控制系統(tǒng),所述控制系統(tǒng)包括控制中心以及與控制中心輸入端連接的壓力傳感器(7)和位移傳感器,所述控制中心的輸出端與微調(diào)器(5)和安裝在稱量器(3)上的顯示器(9)連接。

2.如權(quán)利要求1所述的拋光機的壓力調(diào)節(jié)器,其特征在于:所述微調(diào)器(5)的支柱(4)延伸出拋光上盤架(8)與活塞桿(2)連接。

3.如權(quán)利要求2所述的拋光機的壓力調(diào)節(jié)器,其特征在于:所述支柱(4)通過內(nèi)螺紋與活塞桿(2)的外螺紋連接。

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